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【課題】ラインウィズスラフネス等のラフネス性能、局所的なパターン寸法の均一性及び露光ラチチュードに優れ、かつ露光により形成されるパターン部の膜厚低下、いわゆる膜べりを抑制するパターン形成方法、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及びレジスト膜を提供する。
【解決手段】(ア)下記一般式(I)で表される繰り返し単位(a)を有する樹脂(P)及び活性光線又は放射線の照射により有機酸を発生する化合物(B)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物によって膜を形成する工程、
(イ)該膜を露光する工程、及び
(ウ)有機溶剤を含む現像液を用いて現像してネガ型のパターンを形成する工程
を含む、パターン形成方法。


上記一般式(I)中、Rは、水素原子又はメチル基を表す。
、R及びRは、各々独立に、直鎖状又は分岐状のアルキル基を表す。 (もっと読む)


【課題】高感度な化学増幅型レジストとして有用な新規な酸分解性をもつ重合性単量体、これを用いて重合または共重合された重合体、およびそれを用いたレジストおよびそのパターン形成方法の提供。
【解決手段】下記一般式(1)で表される重合性単量体、およびその重合体。


(式(1)中、R〜R14は、水素、炭化水素基。) (もっと読む)


【課題】スピンコート法の実施条件を変更することにより、膜厚が大きく異なる樹脂膜を形成することが可能なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)酸により解離して酸性官能基を生じる酸解離性官能基を有する構造単位を有する重合体、(B)感放射線性酸発生剤、および(C)20℃、1気圧での飽和蒸気圧が3.0mmHg以下のエチレングリコール系有機溶媒を含む有機溶媒類を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】KrF光、電子線及びEUV光を用い、高解像かつ高エッチング耐性を有し、更に現像残渣欠陥が低減されたネガ型のパターンを形成可能なパターン形成方法、その方法に用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及び感活性光線性又は感放射線性膜を提供すること。
【解決手段】(A)酸の作用により分解して極性基を生じる基を有する繰り返し単位を含有し、且つ、芳香族基を含有する、酸の作用により有機溶剤に対する溶解度が減少する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する非イオン性化合物、及び、(C)溶剤を含む感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて、膜を形成する工程、該膜を露光する工程、露光された膜を、有機溶剤を含む現像液を用いて現像することによりネガ型パターンを形成する工程を含むパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】 パターン形成性および耐熱性に優れたインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】マレイミド構造を有する重合性化合物(Ax)をインプリント用硬化性組成物に配合する。 (もっと読む)


【課題】透明性および分散性に優れた顔料組成物の提供。
【解決手段】(A)顔料と、(B)一般式(b−1)で表される構造単位と一般式(b−2)で表される構造単位とを含む共重合体と、(C)溶剤とを含む顔料組成物。




[式中、R1は、水素原子またはメチル基を表す。Lは、−アルキレン基−O−で表される基である。Wは、アルキレン基であり、nは1〜12の整数である。] (もっと読む)


【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)で、欠陥の発生数も少ないレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、式(II)で表される化合物に由来する構造単位を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)及び酸発生剤を含有するレジスト組成物。
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【課題】高速硬化が可能で硬化反応が停止しにくい活性光線硬化組成物の提供。
【解決手段】下記一般式(1)で表される塩基反応性化合物及び光塩基発生剤を含む活性光線硬化組成物。


上記式中、Aは脂環式構造又は複素環式構造を表し、置換基を有していても良い。前記複素環式構造が環構成原子として酸素原子を含む活性光線硬化組成物。更に光ラジカル重合開始剤を含む活性光線硬化組成物。更に、ラジカル重合性化合物を含む活性光線硬化組成物。前記ラジカル重合性化合物が多官能モノマーである活性光線硬化組成物。前記活性光線硬化組成物を含む活性光線硬化型インクジェット用インク。 (もっと読む)


【課題】耐熱性が良好で変色がなく、現像性に優れ、基板上、および他色の画素上に現像残渣のない着色感放射線性組成物を提供しうる着色組成物を提供する、
【解決手段】(A)色素骨格を有する重合体、および(B)有機溶剤を含み、前記(A)色素骨格を有する重合体を形成しうる未反応の色素骨格を有するモノマー成分が、前記(A)色素骨格を有する重合体に対して、1質量%以下含有するカラーフィルタ用着色組成物。 (もっと読む)


【課題】リソグラフィー特性に優れたレジスト組成物、該レジスト組成物用として有用な新規な重合体、該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】主鎖の少なくとも一方の末端に露光により酸を発生するアニオン部位を有し、酸の作用により極性が増大する酸分解性基を含む構成単位(a1)を有し、該構成単位(a1)として、前記酸分解性基の活性化エネルギーが3.0kJ/mol以上異なる2種を含む重合体。該重合体を含有するレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】パターン形成時の露光マージンが広い感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】樹脂、重合性化合物及び重合開始剤を含み、樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する構造単位を有する重合体であり、重合開始剤が式(1)で表される化合物を含む重合開始剤である感光性樹脂組成物。


[式(1)中、Ra1及びRa2は、Ra11、ORa11、CORa11、SRa11、CONRa12a13又はCNを表し、Ra11、Ra12及びRa13は、水素原子又は炭素数1〜20のアルキル基等を表し、Ra3及びRa4は、Ra11等を表し、s及びtは、0〜4の整数を表し、Lは、酸素原子、硫黄原子、セレン原子、CRa31a32、CO、NRa33又はPRa34を表し、Ra5は、ヒドロキシ基又はカルボキシ基等を表す。] (もっと読む)


【課題】高価な試薬や工業的に入手しにくい試薬を使用しないだけでなく、多段階に渡る非効率的な反応スキームにもよらずに、容易に(メタ)アクリロイル末端ポリイソブチレン系重合体の製造方法を提供すること。
【解決手段】リビングカチオン重合によって得られるハロゲン末端ポリイソブチレン系重合体と、(メタ)アクリロイル基および炭素−炭素二重結合を有する化合物との1ステップの反応を用いて、(メタ)アクリロイル末端ポリイソブチレン系重合体を得る製造方法により達成される。 (もっと読む)


【課題】リソグラフィー特性及びパターン形状に優れたレジスト組成物、該レジスト組成物用として有用な新規重合体、及び該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】主鎖の少なくとも一方の末端に露光により酸を発生するアニオン部位を有し、かつ、−SO−含有環式基を含む構成単位(a0)を有する重合体;該重合体を含有するレジスト組成物、及び該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】重合体に含まれる残存単量体を効率良く低減できる、電子材料用重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】重合溶媒の存在下に、重合開始剤を使用して、単量体をラジカル重合させて重合反応溶液を得る工程と、得られた重合反応溶液を減圧濃縮して、未反応の単量体を除去する工程を有する、電子材料用重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】高解像性で良好な形状の孤立ラインパターンを形成することができ、且つ、ドライエッチング耐性を含む他のレジスト性能にも優れる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、これを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、及びパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも1つのフェノール性水酸基と、フェノール性水酸基の水素原子が下記一般式(1)で表される基によって置換されている基を少なくとも1つ含む化合物(P)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【化1】
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【課題】露光光源として電子線、X線又はEUV光を用いるリソグラフィーにおいて、高解像性であり、且つ、ラフネス特性及びパターン形状が良好な感放射線性樹脂組成物の提供。
【解決手段】活性光線又は放射線の照射により分解して酸アニオンを発生するイオン性構造部位を備えた繰り返し単位(A)と、プロトンアクセプター基を有する繰り返し単位(B)と、酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する基を有する繰り返し単位(C)を含み、且つ、繰返し単位(A)として、下記一般式(I)〜(III)で表される少なくとも1つの繰返し単位を有する樹脂(P)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
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【課題】本発明は、ガラス基板に対する密着性や弾性回復力に優れた柱状スペーサーの提供を前提として、このような柱状スペーサーを得ることのできるフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物の提供を課題としている。
【解決手段】液晶セルの柱状スペーサーの製造のために用いられるフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物であって、酸基を導入し得るモノマーと、アミド基含有モノマーとを必須成分として含むモノマー成分から合成された酸基含有ポリマーの酸基に、ラジカル重合性不飽和二重結合と酸基と反応し得る官能基を有する化合物を反応させることによって得られる感光性ポリマーと、多官能モノマーと、光重合開始剤とを有することを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】解像性、感度、及び経時安定性に優れ、かつ良好な形状のパターン形成を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性樹脂膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する基およびプロトンアクセプター基をともに有する繰り返し単位(A)を備えた樹脂(P)を含有している。 (もっと読む)


【課題】組成物の保存時におけるパーティクル発生の抑制能に優れ、且つ、経時による線幅変動が抑制されたパターン形成を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及びこの組成物の製造方法を提供することにある。更に、本発明の目的は、この組成物を用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】(A)酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する第1樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(C)溶剤として少なくともアルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレートを含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、該組成物中に溶存する酸素の濃度と窒素の濃度の合計が0.180μg/μl以下である組成物。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ガラス基板に対する密着性や弾性回復力に優れた硬化物を得ることのできるアルカリ可溶型硬化性樹脂組成物の提供を課題としている。
【解決手段】アルカリ可溶型硬化性樹脂組成物であって、酸基を導入し得るモノマーを必須モノマーとして含むモノマー成分を、ポリシロキサン結合を有し、かつ、チオール基を2個以上有するメルカプト変性ポリシロキサンの存在下で重合して得られる酸基含有ポリマーの酸基に、ラジカル重合性不飽和二重結合と酸基と反応し得る官能基とを有する化合物を反応させることによって得られる感光性ポリマーと、多官能モノマーと、光重合開始剤とを有することを特徴としている。 (もっと読む)


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