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【課題】解像性、感度、及び経時安定性に優れ、かつ良好な形状のパターン形成を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性樹脂膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する基およびプロトンアクセプター基をともに有する繰り返し単位(A)を備えた樹脂(P)を含有している。 (もっと読む)


【課題】室温付近で液晶相を示し、溶媒溶解性に優れる重合性組成物であって、硬化させると、均一な膜状態を維持し、配向制御及び光学特性に優れ、且つ基材への密着性に優れる重合膜が得られる重合性組成物を提供すること。
【解決手段】下記一般式(1)で表される化合物(A)並びに(メタ)アクリレート基及びカルボキシル基を各々少なくとも一つ有する化合物(B)を含有する重合性組成物。下記式中、R1及びR2は、各々独立に水素原子又はメチル基を表し、環A1〜A3は、各々独立にベンゼン環、ナフタレン環等を表し、X、Y及びZは、各々独立にC1〜8アルキル基等を表し、L1〜L4は、各々独立に単結合、−COO−、−OCO等を表し、a、b及びcはそれぞれ環A1〜A3における置換基の数であって、環A1〜A3に含まれる6員環の数をvとすると、a、b及びcは各々独立に2v+2以下の整数を表す。
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【課題】相溶性が良好で、各種電気化学デバイスにも好適に用いられ、持続的に優れる帯電防止効果を有する、塩素イオン且つ金属塩フリ−の不飽和第4級アンモニウム塩、該不飽和第4級アンモニウム塩からなる帯電防止剤の提供。
【解決手段】3級アミン化合物とトリフルオロメタンスルホン酸エステルを有機溶媒の存在下で反応させた後、有機溶媒を不活性ガスバブリングで除去することにより、一般式(1)(式中、Rは水素原子またはメチル基を、R及びRは各々独立に炭素数1〜3のアルキル基で互いに同一であっても異なっていてもよく、Rは炭素数1〜3のアルキル基又はアリール基を表し、Zは炭素数1〜3のアルキレン基を表す。)で示される不飽和第4級アンモニウム塩化合物を高純度、高収率で合成し、当該化合物からなるオリゴマー又は/及びポリマーを帯電防止の有効成分として帯電防止層を形成させる。
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【課題】解像度及び密着性に優れ、且つめっき耐性が良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造方法、プリント配線板の製造方法及びプリント配線板を提供する。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(A)成分が、(a1)ベンジル(メタ)アクリレート誘導体由来の構成単位を50〜80質量%、(a2)スチレン誘導体由来の構成単位を5〜40質量%、(a3)(メタ)アクリル酸アルキルエステル由来の構成単位を1〜20質量%、及び(a4)(メタ)アクリル酸由来の構成単位を5〜30質量%含む、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】 露光時の重合硬化性に優れ、露光感度が高く、短い加熱処理時間でもプロファイル特性に優れる着色パターン、断面形状の均一性および高さ均一性に優れるフォトスペーサー、均一性や硬度に優れる保護膜を形成できる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】少なくとも側鎖に、酸性基を有する基および2種以上の互いに異なる重合性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)、ならびに、光重合開始剤(C)を含む感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】密着性と解像度が優れ、レジストの微少な欠損が少なく、断面形状が矩形に近いレジストパターンを形成可能な感光性エレメント、並びに、これを用いたレジストパターンの形成及びプリント配線板の製造方法の提供。
【解決手段】支持フィルム10と、その上に形成された感光層20と、保護フィルムを備える感光性エレメント1であって、支持フィルムのヘーズが、0.01〜1.5%であり、かつ、該支持フィルムに含まれる直径5μm以上の粒子及び直径5μm以上の凝集物の総数が5個/mm以下であり、また、バインダーポリマーとエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する感光層の厚さT(μm)と365nmにおける吸光度Aとが、0.005≦A/T≦0.020で表される関係を満足し、更に、保護フィルムの酸素透過率が、5×10−2/m・日・MPa以下である感光性エレメント。 (もっと読む)


【課題】パターン形状、ラフネス性能、及び、オーバー露光マージンに優れたパターンを形成することができる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いたレジスト膜及びパターン形成方法の提供。
【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、(B)カチオン部に窒素原子を含み、かつ、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生するオニウム塩化合物、(C)下記一般式(C−I)により表される化合物、又は、下記一般式(C−I)により表される化合物の複数が連結基を介して結合された構造を有する化合物、及び、(G)溶剤を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
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【課題】形成されるパターン上において異物の発生が少ない着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】着色剤、樹脂、光重合性化合物及び光重合開始剤を含み、着色剤が、キサンテン染料を含む着色剤であり、樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも一種に由来する構造単位と、N−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位とを有する共重合体である着色感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】1液処理が可能であり、耐刷性能が優れた感光層の形成を可能とする感光性組成物、サーマルネガ版用平版印刷版原版、および画像形成方法を提供すること。
【解決手段】下記式(I)〜(III)


で表される繰り返し単位を少なくとも含有し、式(I)、(II)および(III)で表される繰り返し単位の含有量が、それぞれ3〜20質量%、15〜45質量%、および15〜35質量%であるアルカリ可溶性樹脂を少なくとも含有する感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】 空気下で高温で加熱しても良好なパターンが維持可能なインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式(I)で表される部分構造を有する化合物(Ax)、および、光重合開始剤(B)を含有するインプリント用硬化組成物。
一般式(I)


(一般式(I)中、Rxはアルキル基またはアリール基を示す。mは1〜3の整数であり、nは0〜2の整数である。但し、m+n=3である。) (もっと読む)


【課題】リソグラフィー特性及びレジストパターン形状に優れ且つ高感度なレジストパターンを形成できるレジスト組成物、及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】式(a5−1)で表される構成単位と、酸分解させるための活性化エネルギーの差が1〜50kJ/molである、少なくとも2種のアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)を有し、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するレジスト組成物。
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【課題】
塗布後及び現像後の樹脂膜の濁りを充分に抑制することが可能であり、かつ低温での硬化が可能で、アルカリ水溶液で現像可能であるポジ型感光性樹脂組成物、並びに、該ポジ型感光性樹脂組成物を用いたレジストパターンの製造方法、かかる方法により形成されたレジストパターンを有する半導体装置、及び該半導体装置を備える電子デバイスを提供すること。
【解決手段】
(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂と、(B)光により酸を生成する化合物と、(C)熱架橋剤と、(D)所定の構造単位を有するアクリル樹脂と、を含有するポジ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】優れたフォーカスマージンで、欠陥が少ないレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂、(B)酸発生剤及び(D)式(IA)で表されるアニオンを有する塩を含有するレジスト組成物。


[式中、R1は、水素原子又はメチル基;A1は、−(CHm1−、−(CHm2−O−(CHm3−又は−(CHm4−CO−O−(CHm5−、m1〜m5はそれぞれ1〜6の整数;R2は、フッ素原子を有する炭化水素基。] (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、湿式現像処理工程を経ることなくネガ型画像を形成することを可能とする感光性組成物と、該感光性組成物用いた平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】 (A)下記式(I)
【化1】


(式中、Rは、水素原子又はメチル基を表す。)
の構造を有する繰り返し単位を共重合成分として60〜95モル%含有する高分子化合物を提供する。 (もっと読む)


【課題】 各種性能に総合的に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 ブトキシメチルアクリルアミド等を含むアルカリ可溶性樹脂と感放射線酸発生剤を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】平版印刷における高い耐刷性を実現し、しかも露光部の良好な現像性をも達成する平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】親水性表面を有する支持体上側に、下層及び上層をこの順に配設した記録層を有してなる赤外線感光性ポジ型平版印刷版原版であって、前記上層および/または下層が、特定のマレイミド樹脂Aと、両性界面活性剤および/またはアニオン性界面活性剤と、赤外線吸収剤とを、同じ層に、あるいはそれぞれ別々に層に含有する平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】樹脂絶縁層の形成に用いる光硬化性熱硬化性組成物であって、インクジェットプリンターを用いて、プリント配線板用の基板上に直接パターンを描画することができる光硬化性熱硬化性組成物を提供すること。
【解決手段】分子内に(メタ)アクリロイル基とグリシジル基を有し25℃での粘度が10mPa・s以下のモノマーと、3官能以上のアクリレートモノマーと、熱硬化触媒と、光重合開始剤を含むことを特徴とするインクジェット用光硬化性熱硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】経時安定性に優れ、経時によっても塗布膜厚の変化が生じにくい感光性樹脂組成物、及びその感光性樹脂組成物から形成されたスペーサを有する液晶パネルを提供する。
【解決手段】本発明に係る感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、光重合開始剤(C)、及び溶剤(S)を含有する。このうち、アルカリ可溶性樹脂(A)は、不飽和カルボン酸(a1)と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物(a2)とを少なくとも重合させた共重合体(A1)を含む。また、溶剤(S)は、(ポリ)アルキレングリコールジアルキルエーテル系溶剤を含み、溶剤(S)に占める(ポリ)アルキレングリコールジアルキルエーテル系溶剤の割合が56質量%以上である。 (もっと読む)


【課題】高い顔料濃度であっても、保護膜及び支持体との密着性に優れたカラーフィルター基板を提供する。
【解決手段】 少なくとも(A)光重合開始剤、(B)有機系着色剤、(C)アクリル系ポリマー、(E)光重合性モノマー、および(D)溶媒を含有するカラーフィルター用感光性着色組成物において、(E)光重合性モノマーが少なくとも(E−1)下記一般式(1)で表される光重合性モノマーを含有し、かつ(E)光重合性モノマーの含有量が、(C)アクリル系ポリマーと(E)光重合性モノマーの質量の総和に対して50〜75質量%であることを特長とするカラーフィルター用感光性着色組成物。 (もっと読む)


【課題】ラインウィズスラフネス等のラフネス性能、局所的なパターン寸法の均一性、露光ラチチュード及びドライエッチング耐性に優れ、かつ露光により形成されるパターン部の膜厚低下、いわゆる膜べりを抑制するパターン形成方法、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、電子デバイスの製造方法及び電子デバイスを提供する。
【解決手段】(ア)下記一般式(I)で表される繰り返し単位(a)、及び酸の作用により分解してアルコール性水酸基を生じる基と多環の脂環式炭化水素基とを有する繰り返し単位(b)を有する樹脂(P)並びに活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(B)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物によって膜を形成する工程、(イ)該膜を露光する工程、及び(ウ)有機溶剤を含む現像液を用いて現像してネガ型のパターンを形成する工程を含む、パターン形成方法。
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