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【課題】レジストパターンを形成する際の露光マージン(EL)及びフォーカスマージン(DOF)に優れるレジスト組成物用の重合体を提供する。
【解決手段】式(I)で表される基及び式(II)で表される基を有する重合体。[Rは炭素数1〜6のフッ化アルキル基を表す。Rは置換基を有してもよい炭素数6〜12の芳香族炭化水素基を表す。Rは置換基を有してもよい炭素数1〜12の炭化水素基を表す。Bは単結合、−(CH)m−SO−O−*1又は−(CH)m−CO−O−*1を表す。]
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【課題】屈折率の分散特性(アッペ数(νd))が高く、かつ2次分散特性(θg,F)が高い、色収差補正機能の高い特性を有する(メタ)アクリレート化合物および光学材料を提供する。
【解決手段】下記一般式(1)で示される(メタ)アクリレート化合物およびそれの化合物を含有する光学材料。
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【課題】記録層の形態を安定的に維持でき、高い回折効率が達成されるホログラム記録材料及びホログラム記録媒体を提供する。
【解決手段】光ラジカル重合性化合物(A)と光重合開始剤(B)と前記(A)及び(B)を分散する分散媒(C)とを含むホログラム記録材料。前記化合物(A)は、分子中に芳香環と(メタ)アクリロイル基とを有する。前記分散媒(C)は、一般式(I)(R11:炭素数2〜4の2価の炭化水素基、R12及びR13:炭素数1〜10の炭化水素基、k、l、m及びnは、互いに独立して0以上5以下の数)で表される化合物から選ばれる。
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【課題】パターン倒れマージンやブリッジマージンに優れ、かつ基板上にレジスト組成物の残渣が残らず、更には散乱(フレア)光に対する耐性に優れた、X線、電子線又はEUV光露光用の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物並びに該組成物を用いたレジスト膜及びパターン形成方法の提供。
【解決手段】(a)活性光線又は放射線の照射により、下記一般式(I)で表される酸を発生する化合物、及び
(b)側鎖にアリール基を有する(メタ)アクリル酸エステル構造単位を含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂を含有することを特徴とする、X線、電子線又はEUV光露光用の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
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【課題】 本発明の課題は、感光性を有するため微細加工が可能であり、希アルカリ水溶液で現像可能であり、低温(200℃以下)で硬化可能であり、得られる硬化膜が柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、ハンダ耐熱性、耐有機溶剤性、難燃性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい感光性樹脂組成物を提供することにある。
【解決手段】 少なくとも(A)バインダー樹脂と、(B)感光性樹脂と、(C)光重合開始剤とを含み、上記(A)バインダー樹脂が、少なくとも(a)(メタ)アクリル酸と、(b)下記一般式(1)で示されるホスフィンオキサイド化合物とを共重合させたものであることを特徴とする感光性樹脂組成物を用いることで上記課題を解決しうる。
【化1】
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【課題】表面硬度及び耐溶剤性に優れ、充分な透過率及び電圧保持率も有する層間絶縁膜を形成可能であり、かつ保存安定性に優れ、充分な放射線感度を有するポジ型感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】[A]同一又は異なる重合体分子中にアセタール基を含む構造単位(1)とエポキシ基含有構造単位と下記式(II)で表される構造が窒素原子に結合した基を含む構造単位(2)とを有する重合体、及び[B]酸発生体を含有するポジ型感放射線性組成物である。
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【課題】変色劣化に起因した反射率の低下を防止し、かつ、高反射率で高解像度のソルダーレジスト組成物、及びそれを用いてソルダーレジストを形成して得られるプリント配線板を提供する。
【解決手段】(A)芳香環を有さないカルボキシル基含有樹脂、(B)ビスアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、(C)モノアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、(D)光重合性モノマー、(E)ルチル型酸化チタン、(F)エポキシ当量170以下、常温で液状、かつ、粘度2000mPa・s以上であるエポキシ化合物、および(G)有機溶剤を含むソルダーレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、硬度が高く基材や下地などとの密着性が良好であり、誘電率と誘電正接が低く良好な電気特性を示し、かつ透過率が高く、特に波長400nm付近の透過率が高い感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】樹脂(A)と、光重合開始剤(B)と、酸化防止剤(C)とを含有する感光性樹脂組成物であって、樹脂(A)が下記一般式(1)で表される化合物(a1)と、化合物(a1)と共重合可能な他の化合物(a2)とを共重合してなる樹脂(A1)を含む感光性樹脂組成物によって解決される。
一般式(1):
【化1】
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【課題】従来技術と比較して、セメント混和剤における各種の性能をより一層改善しうる手段を提供する。
【解決手段】本発明の親水性重合体の製造方法は、化学式1で表される不飽和酸系化合物と、化学式2で表される不飽和(ポリ)エーテル化合物とを反応器中で反応させることを含む。そして、反応器に不飽和酸系化合物を投入する工程Aと、反応器に不飽和(ポリ)エーテル化合物を投入する工程Bと、反応器内の内容物を昇温させる工程Xとを有し、工程Aおよび/または工程Bを行うとき、工程Xを同時に行う(ただし、内容物が不飽和酸系化合物のみであるときに、工程Xを開始する場合を除く)点に特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】保存安定性及び感度に優れ、且つ、透明性、耐溶剤性及びパターン形状に優れた硬化膜を形成しうる感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】酸分解性基で保護されたカルボキシ基及び酸分解性基で保護されたフェノール性水酸基から選択された少なくとも一つを有する構造単位(1)と、エポキシ基及びオキセタニル基から選択された少なくとも一つを有する構造単位(2)と、を含有する共重合体、オキシムスルホネート基を有する特定構造の光酸発生剤、増感剤、及び溶剤を含有する感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】硬化させた後も加工性に優れ、かつ、硬化膜の耐擦傷性に優れた加飾積層フィルム及びその製造方法の提供、及び当該加飾積層フィルム用の光硬化型組成物の提供。
【解決手段】2個以上のエチレン性不飽和基及びイソシアヌレート環を有する化合物(A)及び光重合開始剤(B)を含む組成物であって、エチレン性不飽和基濃度が0.1〜4.0meq/gである光硬化型加飾積層フィルム用組成物。さらに、2個以上のアクリロイル基を有する(A)成分以外の化合物(C)を含むものが好ましい。 (もっと読む)


【課題】レジストパターン形成における液浸露光プロセスに好適で、かつ有機溶剤による現像にも適している感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】有機溶剤(X)で現像を行うレジストパターン形成方法に用いられる感放射線性樹脂組成物であって、重合体(A)と、感放射線性酸発生剤(B)と、溶剤(C)とを含有し、上記重合体(A)は、側鎖にラクトン構造もしくはカーボネート構造を有する特定のアクリル系繰り返し単位を含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】感放射線性組成物の放射線感度を高いレベルに保ちつつ、ラジカルや過酸化物の発生を抑制することで、優れた耐光性及び耐熱性を有し、かつ透過率及び電圧保持率の低下を抑えた層間絶縁膜等を形成可能なポジ型感放射線性組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、[A]同一又は異なる重合体分子中に下記式(1)で表される基を含む構造単位とエポキシ基含有構造単位とを有する重合体、[B]光酸発生体、並びに[C]ヒンダードフェノール構造を含む化合物、ヒンダードアミン構造を含む化合物、アルキルホスファイト構造を含む化合物、及びチオエーテル構造を含む化合物からなる群より選ばれる1種又は2種以上の化合物を含有するポジ型感放射線性組成物である。

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【課題】パターニングが可能で硬化後も粘着性を示す感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(1)側鎖にカルボキシル基および反応性二重結合を有し、酸価が65〜180KOHmg/gであり、かつ、反応性二重結合の含有量がポリマー中の全モノマー単位の含有量を100mol%として0.5〜18mol%である(メタ)アクリル系ポリマー100質量部と、(2)光重合開始剤0.5〜10質量部と、を含む感光性樹脂組成物である。 (もっと読む)


【課題】洗浄溶剤に対する溶解性に優れ、スリットノズルの汚染および基板の異物発生率を最小化することができるアルカリ可溶性樹脂およびこれを含む感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】上記アルカリ可溶性バインダー樹脂は次の式で代表される。


b=10〜90モル%、c=10〜90モル%。 (もっと読む)


【課題】基板との密着性及び貯蔵安定性に優れ、感度を維持しつつポストベークの際の熱流れ性を低減することで、微細パターン形成時、位置による光学密度差を生じにくい黒色感光性樹脂組成物、これを用いて製造されたブラックマトリクス及び上記ブラックマトリクスを備えるカラーフィルターの提供。
【解決手段】下記一般式(1)で表される化合物及びイソボルニルメタアクリレート類を含む単量体の重合反応により得られるアルカリ可溶性樹脂(B)を含有する、黒色感光性樹脂組成物。


(式中、nは2〜4の整数である。) (もっと読む)


【課題】 ソルダレジスト等の表面樹脂層を備える回路形成基板の回路等に金めっきを行うときに用いるめっきレジストで、表面樹脂層上にレジストを形成させる際、十分な形状追従性やはく離性を得ることが可能な感光性樹脂組成物、感光性エレメント、プリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】 (A)成分:バインダーポリマー(B)成分:光重合性化合物、及び(C)成分:光開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(A)成分として、(メタ)アクリル酸20〜30質量%及び(メタ)アクリル酸アルキルエステル70〜80質量%からなる重量平均分子量80,000〜120,000のバインダーポリマーを含み、かつ、上記(B)成分として、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物、アルコキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート化合物、及びノニルフェニルポリアルキレングリコール(メタ)アクリレート化合物を含む、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】透明性、耐光性など光学特性、耐熱性、機械物性に優れた優れた硬化物を与えるアダマンタン誘導体、その製造方法、当該誘導体を含む樹脂組成物及び当該誘導体を使用する硬化物を提供する。
【解決手段】下式で示されるアダマンタン誘導体。


[式中、R1はアルキル基等を表し、kは0〜4の整数を表し、Xはアルキレン基等を表し、Yはオキシラニルメチル基、オキセタニルメチル基等を表し、jは1〜4の整数を表す。] (もっと読む)


【課題】本発明は、上記実情に鑑みて、工業的なスケールで適用でき、親水性有機溶媒やポリマー合成時に発生した親水性の反応副生成物などの親水性化合物などの除去性が高く、ポリマーの回収率も高く、塗布液としても使用可能なポリマー溶液の製造方法、及びポリマーの精製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】一般式(A)で表されるユニット及び一般式(B)で表されるユニットを含有するポリマーと、炭素数とOH基数との比(炭素数/OH基数)が4〜7のアルコールとを含有するポリマー溶液の製造方法であって、
前記ポリマーを溶解し、前記アルコールと相溶する有機溶媒と、前記ポリマーとを含むポリマー溶液Aに、前記アルコールを加えて、ポリマー溶液Bを得る添加工程と、
前記ポリマー溶液Bに水を用いた抽出処理を施す抽出工程とを備える、とを備える、ポリマー溶液の製造方法。 (もっと読む)


【課題】塗布性に優れ、現像ムラ及び画像欠陥が少なく、平面性に優れる硬化膜が得られるポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜の形成方法を提供すること。
【解決手段】(成分A)式(1)で表される構成単位A及び構成単位Bを含み、重量平均分子量が1,000以上10,000以下である共重合体、(成分B)酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、(成分C)光酸発生剤、並びに、(成分D)溶剤を含有し、前記成分Aを0.001〜1.00重量%含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
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