【課題】誘電率が低く、半導体装置の製造に適用した際に絶縁不良等の問題を生じにくい絶縁膜を提供すること。
【解決手段】本発明の絶縁膜は、分子内に、アダマンタン型のかご型構造を含む部分構造と、重合反応に寄与する重合性反応基とを有する重合性化合物および／または当該重合性化合物が部分的に重合した重合体を含む組成物を用いて形成されたものであって、フッ素系ガスでエッチングした際のエッチングレートが、ＳｉＯ膜の０．７５倍以下であることを特徴とする。前記重合性反応基は、芳香環と、当該芳香環に直接結合するエチニル基またはビニル基とを有するものであり、前記重合性化合物において、前記芳香環由来の炭素の数は、当該重合性化合物全体の炭素の数に対して、１５％以上、３８％以下であるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】光照射や加熱等によって速やかに硬化可能で、かつ、表面硬度の高い硬化物を形成可能な新規（メタ）アクリロイル基含有オキセタン化合物、及びそれを含む硬化性組成物の提供。
【解決手段】下記一般式（I）で示される（メタ）アクリロイル基含有オキセタン化合物。


（一般式（I）中のＲ_１はメチル基または水素原子を表し、Ｒ_２及びＲ_３はそれぞれ独立してアルキル基または水素原子を表し、Ｒ_４及びＲ_５はそれぞれ独立してアルキレン基を表し、Ｒ_６は水素原子またはメチル基を表す。） （もっと読む）

【課題】ＩＴＯスパッタ適性、硬度、耐熱透明性に優れる硬化膜が得られるポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法を提供すること。
【解決手段】（成分Ａ）酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、及び、（成分Ｂ）下記式（１）で表される酸発生剤、を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。


Ｒ₁〜Ｒ₅はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アミノ基、アシル基、ハロゲン原子、アリール基、又は、ヘテロアリール基を表し、隣接するＲ₁〜Ｒ₅が互いに連結して環を形成してもよく、Ｘ^-は共役塩基を表す。 （もっと読む）

【課題】導波路構造、並びにコア領域およびその横に隣接するクラッド領域からなる当該構造を形成するための方法を提供する。本発明の実施例の導波路構造は、コア領域がその横に隣接するクラッド領域およびクラッド層によって共同的に取り囲まれている。そのような構造を形成するための方法も提供する。
【解決手段】光誘発熱現像性フィルムであって：第一の屈折率を有するポリマーマトリックスと；前記ポリマーマトリックスと相溶性があり、前記第一の屈折率と異なる第二の屈折率を有する少なくとも１種のモノマーと；プロカタリストと；コカタリストとを含み、前記コカタリストは、化学線の照射に伴い、前記プロカタリストを潜在活性形態に変換し、前記潜在活性形態は、第一の温度での加熱に伴い、活性形態に変換する光誘発熱現像性フィルム。 （もっと読む）

【課題】高屈折率の硬化物を形成できる新規な硬化性組成物を提供する。
【解決手段】フルオレン骨格を有するエチレン性不飽和化合物（１）と、脂肪族ポリチオ（メタ）アクリレート化合物などのチオ（メタ）アクリレート化合物（２）とで硬化性組成物を構成する。ポリチオ（メタ）アクリレート化合物は、通常、常温で液状の化合物で構成してもよい。このような液状の化合物（２）は、化合物（１）に対する相溶性に優れている場合が多く、液状の化合物（２）を使用すると、効率よく低粘度化して、ハンドリング性に優れた硬化性組成物を効率よく得ることができる。 （もっと読む）

【課題】特に白色ソルダーレジストの場合、加熱時に着色が起こり光反射率が低下するという問題が起きており、又、従来の感光性樹脂による組成物では耐光性に関しても問題となっており、それらの解決が求められていた。。
【解決手段】シクロヘキシルメタクリレート、カルボキシル基と不飽和結合を有する化合物を含む組成物を熱重合して得られる共重合体に、エポキシ基と不飽和結合を有する化合物を反応させて得られる樹脂であって、該樹脂のシクロヘキシル当量が６００ｇ／ｅｑ．以下、（メタ）アクリル当量が６００ｇ／ｅｑ．以下、酸価が１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることを特徴とする感光性樹脂、とそれを含む感光性樹脂組成物を提供する （もっと読む）

【解決手段】一般式（１）で表される繰り返し単位を含有し、アルカリ現像液の作用によりアルカリ現像液溶解性が増大する高分子化合物。


（Ｒ¹はＨ、Ｆ、メチル基、又はトリフルオロメチル基。Ｒ²はＣ１〜１０のフッ素化１価炭化水素基。Ａ_nはＣ１〜１５の（ｎ＋１）価の炭化水素基又はフッ素化炭化水素基。ｎは１〜３の整数。）
【効果】本発明により、繰り返し単位内に含フッ素アルキルカルボニルオキシ基を有し、アルカリ現像液の作用によりアルカリ現像液溶解性が増大する新規高分子化合物及びそれを添加剤として用いたレジスト材料が提供される。この高分子材料は波長２００ｎｍ以下の放射線に対して優れた透明性を有し、樹脂の構造の選択により撥水性、滑水性、脂溶性、酸分解性、加水分解性など各種性能の調整が可能で、入手及び取り扱いが容易な原料から製造可能である。 （もっと読む）

【課題】ノンハロゲン化による環境面が考慮され、優れた難燃性を備え、難燃成分の染み出しや析出を抑制することのできるリン含有ビニル系モノマーおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】置換または無置換の９，１０−ジヒドロ−９−オキサ−１０−ホスファフェナントレン−１０−オキサイドと、末端不飽和アルコールのα，β−不飽和カルボン酸エステルとを反応させることにより得られるリン含有ビニル系モノマー。 （もっと読む）

【課題】高解像度であり、微細空孔を形成でき、弾性率が良好であり、且つ低比誘電率な硬化パターンを形成することができるネガ型感放射線性組成物、並びに、それを用いてなる硬化パターン及びその形成方法を提供する。
【解決手段】本発明のネガ型感放射線性組成物は、ポリシロキサンと、感放射線性酸発生剤と、下記一般式（ＣＩ）で表される繰り返し単位を有する重合体と、溶剤と、を含有する。


〔一般式（ＣＩ）において、Ｒ^１は水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基を示す。Ｒ^２は単結合、メチレン基、炭素数２〜５のアルキレン基、アルキレンオキシ基又はアルキレンカルボニルオキシ基を示す。Ｘはラクトン構造又は環状カーボネート構造を有する１価の基を示す。〕 （もっと読む）

【課題】パターンエッジの形成性、分散性および保存安定性に優れた遮光性硬化性組成物、並びにそれを使用して作成された遮光部を有するウエハレベルレンズおよび遮光性カラーフィルタを提供すること。
【解決手段】（Ａ）無機顔料、（Ｂ）ポリエステル構造を有する分散剤、（Ｃ）ポリエステル構造を有する重合性化合物、（Ｄ）重合開始剤、及び（Ｅ）溶媒を含む遮光性硬化性組成物、並びにこの組成物を硬化して作成されたれ遮光部を有するウエハレベルレンズおよび遮光性カラーフィルタ。 （もっと読む）

【課題】感光性、アルカリ現像性、密着性、製版性に優れ、かつ、有機系顔料に対する分散性にも優れているために、カラーフィルターや液晶パネル等の製造において好適に使用することができる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】有機系顔料及びアルカリ可溶性樹脂を含む感光性樹脂組成物であって、該有機系顔料は、一次粒子径が２０〜１００ｎｍであり、該アルカリ可溶性樹脂は、炭素数８〜２０の炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル及び（メタ）アクリル酸を必須として含む単量体成分を重合させて得られる重合体を含み、該重合体は、酸価が６０〜２００であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】パターン上の現像欠陥を低減できる化学増幅型レジスト組成物の製造方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｂ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が変化する樹脂、（Ｃ）塩基性化合物、（Ｄ）界面活性剤、（Ｅ）溶剤を含有する化学増幅型レジスト組成物の製造方法において、（Ａ）成分の溶液と（Ｂ）成分の溶液を準備し、（Ｂ）成分の溶液をフィルターでろ過する工程、（Ａ）成分の溶液と（Ｂ）成分の溶液を混合する工程を含むことを特徴とする化学増幅型レジスト組成物の製造方法及びその方法により得られた化学増幅型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】経時及び熱履歴による反射率の低下を防止しつつ、柔軟性、低反り性を有するソルダーレジスト膜を形成できる硬化性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】（A‐１）一般式（Ｉ）の化合物と、一般式（ＩＩ）及び／若しくは一般式（ＩＩＩ）の化合物を反応させて得られる共重合樹脂、または、（A‐２）一般式（Ｉ）の化合物と、一般式（ＩＩ）及び／若しくは一般式（ＩＩＩ）の化合物を反応させて得られる共重合体のカルボキシル基の一部に、オキシラン環とエチレン性不飽和結合を有する化合物を付加させた共重合樹脂、（B）硬化剤、並びに（C）希釈剤を含むことを特徴とする硬化性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントプロセス法において、中間スタンパの作製に有利に使用することができる光硬化性転写シートであって、その際に使用される微細凹凸パターンを有する金型との離型性、及び中間スタンパから凹凸パターンが転写される光硬化性樹脂との離型性が良好であり、且つ凹凸パターンの転写性に優れた光硬化性転写シートを提供する。更に、上記光硬化性転写シートを用いて微細な凹凸パターンを形成する方法を提供する。
【解決手段】加圧により変形可能で、ポリマーと反応性希釈剤を含む光硬化性組成物からなる光硬化性転写層１１を有する光硬化性転写シート１０であって、前記ポリマーが、フッ素含有基を有する（メタ）アクリレート繰り返し単位を含むアクリル樹脂からなることを特徴とする光硬化性転写シート１０。更に、これを用いた凹凸パターンを形成する方法。 （もっと読む）

【課題】比較的低ｐＨのアルカリ現像液を使用した場合であっても、現像性に優れ、経時的な現像カスの発生が抑制された平版印刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、（Ａ）尿素結合とフェノール性水酸基とを側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂と、（Ｂ）光を吸収して熱を発生する化合物と、を含有する画像記録層を備えるポジ型平版印刷版原版を画像露光する露光工程、及び、画像露光したポジ型平版印刷版原版を、アニオン性界面活性剤を含有するｐＨ８．５〜１０．８のアルカリ水溶液を用いて現像する現像工程を、この順で含む平版印刷版の作製方法。 （もっと読む）

【課題】エッチングレジスト又はめっきレジスト等のレジスト材料として優れた解像度及び密着性を有する感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】（Ａ）バインダーポリマー：２０〜９０重量％、（Ｂ）光重合性化合物：５〜７５重量％、及び（Ｃ）光重合開始剤：０．０１〜３０重量％を含有する感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）バインダーポリマーは、カルボン酸又はカルボン酸無水物である第一単量体と重合性不飽和基を１個有し、かつ非酸性である第二単量体とを共重合することにより得られた重量平均分子量５，０００〜１００，０００の共重合体であり、前記（Ｂ）光重合性化合物は、付加重合性モノマーであり、かつ、前記感光性樹脂組成物に露光を行い、次いで現像を行った後に得られた感光性樹脂層の水接触角が６０°以上、かつ、ヤングモジュラスが１．５ＧＰａ以上４ＧＰａ未満である感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】ハードコート材の基材とハードコート層との間に設けられるプライマー層を形成する際に好適に用いられ、かつ、実質的に溶剤を含有しない感光性組成物、その感光性組成物を用いて形成されたプライマー層を有するハードコート材、及びそのハードコート材を備えた画像表示装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る感光性組成物は、トリアセチルセルロースに対して相溶性である単官能の重合性化合物（Ａ）と、カルボキシ基、水酸基、イミド基、及びアミド基の少なくとも１種を有し、かつ、トリアセチルセルロースに対して非相溶性である単官能の重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、を含有し、実質的に溶剤を含有しない。（Ａ）の含有量は、（Ａ）と（Ｂ）との合計に対して２５モル％以上である。また、該感光性組成物中の重合性化合物に占める単官能の重合性化合物の割合は９０モル％以上である。 （もっと読む）

【課題】塗布方法としてスリット塗布法を採用した場合であっても、塗膜に微小な凹凸からなるムラを発生させることなく液晶表示素子のスペーサーを形成しうる感放射線性樹脂組成物、液晶表示素子のスペーサーとして要求される諸性能（例えば高回復率と柔軟性とが両立された圧縮性能ならびにラビング耐性）を維持しつつ、特に高度の膜厚均一性を有する液晶表示素子のスペーサーを提供すること。
【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）重合性不飽和化合物、（Ｃ）感放射線性重合開始剤および（Ｄ）シリコーン鎖を有する特定の重合体を含有する。液晶表示素子のスペーサーは、上記の感放射線性樹脂組成物から形成される。 （もっと読む）

【課題】優れた形状のパターンを得ることができるパターン形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】（１）樹脂及び溶剤を含む組成物を基板上に塗布する工程、（２）基板上に塗布した層から溶剤を除去して組成物層を形成する工程、（３）組成物層を水に浸漬しながら、組成物層にモールドのパターン面を圧着して、モールドのパターンを転写する工程、（４）モールドのパターンが転写された組成物層を乾燥する工程及び（５）得られた組成物層をモールドから離脱させる工程を含むパターン形成方法。 （もっと読む）

本発明は、偏光板、その製造方法およびこれを用いた画像表示装置に関し、より詳しくは、ａ）偏光子、およびｂ）前記偏光子の少なくとも一方の面に備えられ、光硬化性組成物１００重量部に対し（Ａ）光硬化性アクリル系重合体４から９５重量部、（Ｂ）多官能アクリル系単量体４から９５重量部および（Ｃ）光重合開始剤１から２０重量部を含む光硬化性組成物から形成される硬化樹脂層を含むことを特徴とする偏光板、その製造方法およびこれを用いた画像表示装置に関する。本発明によれば偏光特性および耐久性に優れて表面硬度が高く、薄型化できる偏光板を提供することができる。 （もっと読む）