Fターム[4J246BA16]の内容
珪素重合体 (47,449) | Si周りの酸素原子配置による分類 (3,467) | T単位が主量 (1,319) | D単位又はQ単位を含む (515) | T単位とQ単位とからなる (128)
Fターム[4J246BA16]に分類される特許
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ポジ型感放射線性組成物、表示素子用硬化膜、表示素子用硬化膜の形成方法及び表示素子
【課題】本発明は、表示素子用硬化膜の一般的特性である放射線感度等を十分満足する表示素子用硬化膜を形成することができ、かつ表示素子用硬化膜形成の際の加熱工程において、人体に有害なベンゼン等のアウトガスの発生を低減することができるポジ型感放射線性組成物、このポジ型感放射線性組成物から形成された表示素子用硬化膜、この表示素子用硬化膜の形成方法及び表示素子を提供することを目的とする。
【解決手段】[A]シロキサンポリマー、及び[B]キノンジアジド化合物を含有するポジ型感放射線性組成物であって、[A]シロキサンポリマーが、下記式(1)で表される化合物及び下記式(2)で表される化合物を含む加水分解性シラン化合物の加水分解縮合物であり、かつ[A]シロキサンポリマーにおける下記式(2)で表される化合物に由来する構造単位の含有率が、5モル%以上60モル%以下であることを特徴とするポジ型感放射線性組成物。
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保護膜溶液組成物、薄膜トランジスター表示板及び薄膜トランジスター表示板の製造方法
【課題】保護膜溶液組成物を提供すること。
【解決手段】下記の化学式1で表わされる有機シロキサン樹脂を含む保護膜溶液組成物:
・・・化学式1
(式中、Rは1乃至25個の炭素を有する飽和炭化水素または不飽和炭化水素から選ばれた少なくとも一つの置換基であり、x、yはそれぞれ1乃至200であり、各波線は水素原子、xシロキサン単位またはyシロキサン単位との結合を示すか、あるいは、xシロキサン単位、yシロキサン単位またはこれらの組み合わせを含む他の有機シロキサン鎖のxシロキサン単位またはyシロキサン単位との結合を示す)。
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フォトリソグラフィのための組成物および反射防止コーティング
【課題】フォトリソグラフィのための組成物および反射防止コーティングの提供。
【解決手段】少なくとも下記の:A)式1:
(式中、Raは、1つまたは複数の多重結合を含み、ただし、Raが、2つ以上の多重結合を含む場合、これらの多重結合は、共役配置にはなく;R1、R2、およびR3は、各々独立して、アルコキシル、ヒドロキシル、ハライド、OC(O)R、またはOC(O)OR(式中、Rは、アルキルまたは置換アルキルである)から選択される)から選択される化合物F1;およびその他3種類の特定ケイ素含有化合物を含む第一組成物。
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フォトリソグラフィのための組成物および反射防止コーティング
【課題】フォトリソグラフィのための組成物を提供する。
【解決手段】下記のAを含むポリマーとシランから形成されるポリマーを含む組成物。A)下記の構造単位1:
(式中、Lは、C−C結合でありであり;Mは2価の結合基、Si上に酸素含有基、ハライドから選択される基を持つ。)
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ケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物、及びパターン形成方法
【課題】ネガ現像において得られる親水性有機化合物で形成されるレジストパターンに適用できるだけでなく、従来のポジ現像で得られる疎水性化合物からなるレジストパターンにも適用できるレジスト下層膜形成用組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)成分:下記繰り返し単位を有するフェノール性水酸基発生可能な重合体、該重合体の加水分解物、及び前記重合体の加水分解縮合物のうち少なくとも一つ以上、及び
(B)成分:特定の加水分解性ケイ素化合物を含有する混合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物を含むものであることを特徴とするケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物。
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シロキサン系樹脂組成物およびその製造方法、それを硬化してなる硬化膜ならびにそれを有する光学物品および固体撮像素子
【課題】低屈折率微粒子を含有しているシロキサン系樹脂組成物において、塗布ムラなく塗布可能な、塗膜性および塗液安定性に優れたシロキサン系樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】
(A)(a−1)溶剤の存在下で(a−2)特定の一般式(1)ならびに特定の一般式(2)および/または一般式(3)のシラン化合物を加水分解後に縮合反応させたシロキサン系樹脂、(B)溶剤を含有するシロキサン系樹脂組成物であって、シロキサン系樹脂組成物中の(B)溶剤が(B−1)特定の一般式(4)で表される化合物であって1気圧での沸点が130〜180℃である溶剤および(B−2)特定の一般式(4)で表される化合物であって沸点が190〜300℃である溶剤を含有することを特徴とするシロキサン系樹脂組成物。
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トレンチ埋め込み用樹脂組成物
【課題】基体に形成されたトレンチ内に酸化シリコンを埋め込むために使用するのに好適なトレンチ埋め込み用樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】本発明に係るトレンチ埋め込み用樹脂組成物は、酸化シリコン粒子をトレンチ埋め込み用樹脂組成物全体に対して0.35重量%以上2.20重量%以下で、並びに、一般式(1)〜(3)で表される化合物の合計に対して、一般式(1):Si(OR1)4で表されるテトラアルキシキシラン化合物を45mol%以上87mol%以下で、一般式(2):R2Si(OR1)3で表されるトリアルコキシシラン化合物を10mol%以上50mol%以下で、そして一般式(3):R22Si(OR1)2で表されるジアルコキシシラン化合物を1.5mol%以上3.6mol%以下で含有する。
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新規シルセスキオキサン誘導体及びそれから構成されるプロトン伝導膜
【課題】プロトン伝導膜の材料に用いられる新規なシルセスキオキサン誘導体、及び該誘導体から構成されるプロトン伝導膜を提供する。
【解決手段】ダブルデッカー型のシルセスキオキサン構造と、その末端に導入されているポリオキシエチレン構造と、その末端に導入されているリン酸基とを有する特定のシルセスキオキサン誘導体を用い、該誘導体から構成されるプロトン伝導膜を形成する。
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感放射線性組成物、並びに硬化膜及びその形成方法
【課題】保護膜や層間絶縁膜に対する要求特性を高水準でバランスよく両立させた硬化膜を形成可能であり、かつ無機アルカリ現像液でも現像可能な感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】[A1]テトラエトキシシラン又はその部分加水分解物と、下記式(1)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物と、下記式(2)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物とを加水分解縮合させて得られるポリシロキサン[B]エチレン性不飽和基を2個以上有する化合物(但し、成分[A1]を除く)[C]光ラジカル重合開始剤を含有する感放射線性組成物。
〔式中、R1及びR3は炭素数1〜6のアルキル基を示し、R2は炭素数1〜20のアルキル基等を示し、mは1〜3の整数を示し、nは0〜6の整数を示し、xは1〜3の整数を示し、yは1〜6の整数を示し、zは0〜3の整数を示す。〕
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パターン形成方法及びこれに用いるケイ素含有膜形成用組成物
【課題】有機溶剤現像によるネガ型レジストパターンの形成方法として最適なパターン形成方法、及び該プロセスで使用されるケイ素含有膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】(A)下記一般式(A−1)、下記一般式(A−2−1)、及び下記一般式(A−2−2)で表される反応性化合物及び/又はこれらの加水分解物、縮合物、加水分解縮合物の各々からなる群から選ばれる各々の1種以上の化合物、からなる混合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、(R2)m2(OR3)(3−m2)Si−R1−Si(R4)m4(OR5)(3−m4)(A−1)R11m11R12m12R13m13Si(OR14)(4−m11−m12−m13)(A−2−1)U(OR21)m21(OR22)m22(O)m23/2(A−2−2)(B)有機溶剤を含む組成物によるケイ素含有膜上に、有機溶剤現像のフォトレジストでネガ型パターンを得る。
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耐摩耗性コーティング組成物およびコーティングされた物品
【課題】アルコキシド、ならびにシリカナノ粒子および重合可能な(メタ)アクリレート結合剤を含むシリカゾルよりなるコーティング組成物、このようなコーティング組成物から堆積されるハードコートで少なくとも部分的にコーティングされた物品、プラスチック基材の少なくとも一部の上にハードコートを堆積するための方法、およびコーティング組成物の接着性および耐摩耗性の改善のための方法を提供する。
【解決手段】アルコキシド、ならびにシリカナノ粒子および重合可能な(メタ)アクリレート結合剤を含み、シリカゾルを含む重合可能な(メタ)アクリレート結合剤が硬化されてハードコートを形成した後に実質的に架橋されないままであるコーティング組成物。
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感光性樹脂組成物、シリカ系被膜の形成方法及び電子部品
【課題】長期の室温放置安定性に優れ、精度よくパターン形成でき、密着性に優れた硬化物を得ることができる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、下記一般式(1)で表される化合物を含むシロキサン化合物を加水分解縮合して得られる重量平均分子量3000以上のシロキサン樹脂と、光酸発生剤及び光塩基発生剤からなる群より選択される少なくとも1種と、シロキサン樹脂を溶解可能な溶媒と、オニウム塩とを含有する。
R1nSiX4−n (1)
[式中、R1は、アセトキシ基、チオール基、エポキシ基及びアミノ基からなる群より選択される少なくとも1種の官能基を含む有機基を示し、Xは加水分解性基を示し、nは1又は2の整数を示し、4−n個のXは同一でも異なっていてもよく、nが2のとき、2個のR1は同一でも異なっていてもよい。]
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ポリシロキサン縮合反応物ワニスの製造方法
【課題】半導体素子に形成されたトレンチの埋め込み用途に好適なポリシロキサン縮合反応物ワニスの製造方法の提供。
【解決手段】(i)一般式:R1nSiX14-n (1)(式中、nは0〜3の整数であり、R1は水素原子又は炭素数1〜10の炭化水素基であり、X1はハロゲン原子、炭素数1〜6のアルコキシ基又はアセトキシ基である)で表される1種類以上のシラン化合物に由来し重量平均分子量が300以上1000未満であるポリシロキサン化合物を得る工程と、(ii)該ポリシロキサン化合物とシリカ粒子とを溶媒中で反応させてポリシロキサン縮合反応物溶液を得る工程と、(iii)該ポリシロキサン縮合反応物溶液に、少なくとも1種類の沸点100℃以上200℃以下の溶媒を加えた後に、蒸留により沸点100℃以下の成分を留去する工程と、を含むポリシロキサン縮合反応物ワニスの製造方法。
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シリカ系絶縁膜形成用塗布液
【課題】ポットライフが長く、焼成してシリコン酸化物としたときの硬化収縮率が小さく、更にクラック耐性に優れかつ耐電圧のばらつきが小さい絶縁膜を形成できる縮合反応物溶液の提供。
【解決手段】(I)(i)下記一般式(1):R1nSiX14-n (1){式中、nは0〜3の整数であり、R1は水素原子又は炭素数1〜10の炭化水素基であり、X1はハロゲン原子、炭素数1〜6のアルコキシ基又はアセトキシ基である}で表されるシラン化合物に由来するポリシロキサン化合物と、(ii)シリカ粒子と、を少なくとも含有する縮合成分を縮合反応させて得られる縮合反応物、及び(II)溶媒を含み、該一般式(1)で表されるシラン化合物が4官能シラン化合物及び3官能シラン化合物を少なくとも含有し、該シリカ粒子中の炭素量が0.05質量%以上0.65質量%未満である、縮合反応物溶液。
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難燃性樹脂組成物並びにこれを用いたプリプレグ及び積層板
【課題】多量の水酸化物や低融点ガラスを使用することなく、絶縁性や耐熱性などを有すると共に、特に難燃性に優れ、電子部品等に好適に用いられる熱硬化性樹脂組成物並びにこれを用いたプリプレグ及び積層板を提供する。
【解決手段】芳香環を有する樹脂(A)と、シリコーン縮合体(B)を必須成分とする樹脂組成物であって、シリコーン縮合体(B)が、フェニル基とアルコキシ基とを有する化合物で、縮合反応率が90%以上であり、且つ、70℃で固体である難燃性樹脂組成物並びにこれを用いたプリプレグ及び積層板である。
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難燃性樹脂組成物並びにこれを用いたプリプレグ及び積層板
【課題】多量の水酸化物や低融点ガラスを使用することなく、絶縁性や耐熱性などを有すると共に、特に難燃性に優れ、電子部品等に好適に用いられる熱硬化性樹脂組成物並びにこれを用いたプリプレグ及び積層板を提供する。
【解決手段】芳香環を有する樹脂(A)と、シリコーン縮合体(B)を必須成分とする樹脂組成物であって、シリコーン縮合体(B)が、フェニル基とアルコキシ基とを有する化合物で、縮合反応率が50%以上であり、且つ、20℃で液体である難燃性樹脂組成物並びにこれを用いたプリプレグ及び積層板である。
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難燃性樹脂組成物並びにこれを用いたプリプレグ及び積層板
【課題】多量の水酸化物や低融点ガラスを使用することなく、絶縁性や耐熱性などを有すると共に、特に難燃性に優れ、電子部品等に好適に用いられる熱硬化性樹脂組成物並びにこれを用いたプリプレグ及び積層板を提供する。
【解決手段】芳香環を有する樹脂(A)と、シリコーン縮合体(B)を必須成分とする樹脂組成物であって、シリコーン縮合体(B)が、フェニル基とアルコキシ基とを有する化合物で、縮合反応率が75%以上であり、且つ、20℃で固体である難燃性樹脂組成物並びにこれを用いたプリプレグ及び積層板である。
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保護被膜を有する積層体
【課題】耐候性、基材との密着性に優れた保護被膜を有する積層体を提供すること。
【解決手段】基材表面に、以下の第1層および第2層からなる二層構造の保護被膜を有する積層体。(第1層)前記基材上に形成される層であって、(A)多官能(メタ)アクリレートを成分(A)及び成分(B)の合計100質量%中35〜95質量%、(B)表面修飾無機微粒子を成分(A)及び成分(B)の合計100質量%中5〜65質量%及び、(C)活性エネルギー線感応性ラジカル重合開始剤を含む組成物に活性エネルギー線を照射して得られる層。(第2層)第1層上に形成される層であって、(D)アルキルシリケート類及び一般式(2)で示されるオルガノシラン類
の少なくとも一方を加水分解縮合して得られるシロキサン化合物を含む硬化性組成物を硬化して得られる層。
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シロキサンポリマー組成物、硬化膜及び硬化膜の形成方法
【課題】本発明の課題は吐出ノズル式塗布法に好適であって、塗布ムラがなく外観に優れ、また高度な平坦性(膜厚均一性)及び高速塗布を達成でき、かつ透明性、耐擦傷性に優れる保護膜及び層間絶縁膜としての硬化膜を形成可能なシロキサンポリマー組成物を提供することである。
【解決手段】[A]ラジカル反応性官能基を有するシロキサンポリマー、[B]ラジカル重合開始剤、及び[C]有機溶媒を含有し、固形分濃度が5質量%以上30質量%以下であり、25℃における粘度が2.0mPa・s以上10mPa・s以下であり、かつ[C]有機溶媒として、少なくとも(C1)20℃における蒸気圧が0.1mmHg以上1mmHg未満の有機溶媒を含むシロキサンポリマー組成物。
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表面に微細な凹凸構造を有するフィルムおよびその製造方法
【課題】表面に50nm以上の深さの微細凹凸構造を有し、耐溶剤性にも優れたフィルムを提供すること。
【解決手段】光の作用により変形を誘起する光応答性部位を含む3官能のシラン化合物(A)1〜25モル%と、芳香環を1つ以上有し且つ前記光応答性部位を含まない3官能のシラン化合物(B)70〜98モル%と、4官能のシラン化合物(C)1〜25モル%とを混合して調製したゾル溶液を用いて前駆体フィルムを作製し、該前駆体フィルムの表面に微細凹凸構造を形成し、該微細凹凸構造を有する前駆体フィルムに加熱処理を施すことによって得られるフィルムであり、
前記加熱処理後のフィルムの微細凹凸構造の深さが50nm以上であり、
前記加熱処理後のフィルムをアセトンに室温で5分間浸漬した場合に、波長480nmにおける、前記加熱処理を施す前の前駆体フィルムの吸光度に対する浸漬後のフィルムの吸光度の残存率が90%以上である、
ことを特徴とする表面に微細な凹凸構造を有するフィルム。
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