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Fターム[4J246BB07]の内容

珪素重合体 (47,449) | 隣接Si間の連結 (3,832) | Siの次位にN原子のある連結 (52)

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(a)少なくとも1つの硬化性オリゴマー又はポリマーポリシラザンと、(b)少なくとも1つのフルオロケミカル化合物と、を含む、硬化性有機フッ素変性ポリシラザンを調製するための組成物であって、前記少なくとも1つの硬化性オリゴマー又はポリマーポリシラザンは、少なくとも1つの化学的反応性部位を含み、
(b)前記少なくとも1つのフルオロケミカル化合物は、
(1)少なくとも1つの有機フッ素又はヘテロ有機フッ素部分、及び
(2)少なくとも1つの前記化学的反応性部位を通して前記硬化性オリゴマー又はポリマーポリシラザンと反応することができる少なくとも1つの官能基、を含む、組成物。
硬化性有機フッ素変性ポリシラザンは、前記組成物の成分を組み合わせる工程、及び前記成分を反応させるか又は反応を誘導する工程によって調製することができる。 (もっと読む)


【課題】高分子量を有しながらも溝の充填力が優れたポリシラザンおよびその合成方法、ポリシラザンを含む半導体素子製造用組成物およびその半導体素子製造用組成物を用いた半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】ポリシラザンは、反応溶媒内に反応物として添加されたジクロロシラン、トリクロロシラン、およびアンモニアを触媒存在下で反応させることによって合成することができ、ポリスチレン換算重量平均分子量が2000〜30000であり、下記化学式(1)で示される。
【化1】


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