【課題】面内均一性に極めて優れたＡｇ系薄膜を形成するのに有用なＡｇ系スパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】Ａｇ系スパッタリングターゲットのスパッタリング面の平均結晶粒径ｄ_aveを下記手順（１）〜（３）によって測定したとき、平均結晶粒径ｄ_aveは１０μｍ以下を満足する。（手順１）スパッタリング面の面内に任意に複数箇所を選択し、選択した各箇所の顕微鏡写真（倍率：４０〜２０００倍）を撮影する。（手順２）各顕微鏡写真について、井桁状または放射線状に４本以上の直線を引き、直線上にある結晶粒界の数ｎを調べ、各直線ごとに下式に基づいて結晶粒径ｄを算出する。ｄ＝Ｌ／ｎ／ｍ式中、Ｌは直線の長さ、ｎは直線上の結晶粒界の数、ｍは顕微鏡写真の倍率を示す。（手順３）全選択箇所の結晶粒径ｄの平均値をスパッタリング面の平均結晶粒径ｄ_aveとする。 （もっと読む）

【課題】膜の成分組成の均一性（膜均一性）に優れたＣｕ−Ｇａスパッタリング膜を形成でき、かつ、スパッタリング中のアーキング発生を低減できると共に、強度が高くスパッタリング中の割れを抑制できるＣｕ−Ｇａ合金スパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】Ｇａを含むＣｕ基合金からなるスパッタリングターゲットであって、その平均結晶粒径が１０μｍ以下であり、かつ気孔率が０．１％以下であることを特徴とするＣｕ−Ｇａ合金スパッタリングターゲット。 （もっと読む）

比較的高温の流体の液滴を噴射得するための噴射装置において、流体チャンバ本体が耐熱材料で作製され、流体チャンバ本体の内表面、即ち、噴射装置の流体チャンバを定める内表面は、流体によって湿潤可能である。この構造は、流体をオリフィス、即ち、ノズルに導く狭い管内に流体を押し入れるために追加的な力が適用される必要がないことをもたらす。

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造粒機であって、溶融材料を受け取って該溶融材料の液滴を噴射するロータリーアトマイザーと、液滴の軌道内に配置されて該液滴が衝突する衝突面であって、ロータリーアトマイザーから、（ｉ）液滴の全部又は実質的に全部が該衝突面に衝突し、（ｉｉ）液滴の大部分が該衝突面との接触前に完全に凝固しないような距離及び角度にある、衝突面とを備える、造粒機。 （もっと読む）

【課題】低コストで均一な中空磁性球体、及びその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】磁性成分が溶解した溶液を微粒子液滴とし、前記微粒子液滴を不活性ガス、又は不活性ガスと水素又は酸素との混合ガスによりプラズマ炎中に導入し、熱分解により生成する。ここで得られる中空磁性球体は、平均粒径が10μｍ以下で、球体外表面の厚さが数10nｍであり、球体となる殻の表層に磁性成分が分布していることから、密度が小さく軽量であり、樹脂等との混合性にも優れている。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、また電池の耐漏液性も損なわず、電池性能とくに電気容量の大幅な向上を可能にした電池用亜鉛合金粉末およびアルカリ電池を提供する。
【解決手段】アルミニウム（Ａｌ）０．００１ｗｔ％〜０．０３ｗｔ％、ビスマス（Ｂｉ）０．００１ｗｔ％〜０．０２ｗｔ％、インジウム（Ｉｎ）０．０１ｗｔ％〜０．０７ｗｔ％がそれぞれ合金成分として添加された亜鉛合金粉末であって、その亜鉛合金粉末が遠心噴霧法で造紛された粉末体であるとともに、粒度２５０μm以下の亜鉛合金粉末が８５％以上存在する。 （もっと読む）

【課題】一定のサイズの微小球体を形成することにより、安定した性能を発揮させることのできる多孔質膜形成装置及び多孔質膜形成方法を提供する。
【解決手段】液体有機金属化合物または液体有機ケイ素化合物を含む微小球体原料１１を微粒子化して液状微粒子１５とする。そして、前記液状微粒子１５を加熱して前記液体有機化合物または前記液体有機ケイ素化合物を分解したのち、冷却して微小球体１５ｂを形成する。これを半導体ウエハ１８に付着させて、微小球体１５ｂからなる多孔質膜１７を形成する。 （もっと読む）

合金粉末又はプレフォームを形成するための装置の一つの非限定的な実施形態は、溶融アセンブリ、噴霧アセンブリ、場発生アセンブリ及び収集器を備えている。溶融アセンブリは、溶融合金の流れ及び溶融合金の連続する液滴のうちの少なくとも１つを形成し且つ溶融合金が接触する領域に実質的にセラミックを含まない。噴霧アセンブリは、電子を発生し且つ溶融アセンブリからの溶融合金に電子を衝突させて溶融合金粒子を形成する。場発生アセンブリは、噴霧アセンブリと収集器との間に静電場及び電磁場のうちの少なくとも１つを形成する。溶融合金粒子は、少なくとも１つの場と相互作用して、溶融合金粒子の加速度、速度及び方向のうちの少なくとも１つに影響を及ぼす。関連する方法もまた開示されている。
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【課題】 微細な配線形成用途に適し、かつ低温焼結性が良好な高分散性の銀粒子粉末を高い収率で得る。
【解決手段】沸点が８０℃〜２００℃のアルコール中もしくは沸点が１５０〜３００℃
のポリオール中で、銀化合物を、８０℃〜２００℃の温度で且つレイノルズ数が３．７０×１０⁴を超えない流れを維持しながら還流下で還元処理する、極性の低い液状有機媒体への分散性に優れた銀粒子粉末の製造法である。ここで、レイノルズ数３．７０×１０⁴を超えない流れは、撹拌動力５．６８×１０⁸Ｗ以下の攪拌下において維持することができる。 （もっと読む）

【課題】 １）加圧振動噴射造粒装置で、無粉砕で球状及び鱗片状の超微粒子を得ることができ、２）篩別工程無しに、シャープな球形粒度分布を有する球状超微粒子を得ることができ、３）極めて真円に近似し、粒子径が目的用途により１００ｎｍ〜５００００ｎｍの大きさの球状超微粒子を得ることができ、４）しかも低コストでの工業的生産を可能にする方法を提供する。
【解決手段】 加圧振動噴射造粒装置で、無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴とする球状超微粒子を提供する。該球状超微粒子は、特殊な貫通孔と貫通孔密度を有する基盤をノズルに用いることにより製造できる。この基盤ノズルには、貫通孔の穴径が０．０５μｍ〜５０μｍで、貫通孔のアスペクト比（穴径と貫通孔の長さの比）が、５〜２００で有し、貫通孔の密度が１００〜７０００個／ｃｍ２の貫通孔密度を有する基盤をノズルに用いる。 （もっと読む）

【課題】酸素含有量が少ない金属粉末を低コストで製造可能な水アトマイズ法による金属粉末の製造方法を提供する。
【解決手段】不活性ガス供給室１６と金属粉末回収用のチャンバ１８とを通孔２０を介して連通させ、該不活性ガス供給室１６への不活性ガスの供給によりチャンバ１８内を不活性ガス雰囲気下に保持した状態で、通孔２０を介してタンディッシュ１２に貯留した溶融金属３０の垂下流３２をチャンバ１８内に流下させると共に、該溶融金属３０の垂下流３２に対して高圧水を噴射する。このとき、不活性ガス供給室１６への不活性ガスの流量(ｍ³／ｍｉｎ)と、該不活性ガス供給室１６への溶融金属３０の流量(ｋｇ／ｍｉｎ)との比を、０．１≦不活性ガスの流量／溶融金属３０の流量≦０．４の範囲となるよう設定した。 （もっと読む）

アノードは、亜鉛粒子を含む。少なくとも約30重量％の亜鉛粒子が球状である。 （もっと読む）