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Fターム[4K029AA04]の内容

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 (1)
Si (1,129)
Al2O3 (296)
SiO2、シリカ (228)
ガラス (2,160)

Fターム[4K029AA04]に分類される特許

201 - 220 / 1,103



【課題】本発明は、形成された膜の特性を向上させることができる半導体装置の製造方法および半導体製造装置を提供する。
【解決手段】スパッタリング法を用いて被処理物に膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法であって、前記被処理物とターゲットとが平面視において重ならない第1の位置において、前記ターゲットの主面と交差する方向に向かう第1のスパッタ粒子により、前記被処理物に第1の膜を形成する工程と、前記被処理物と前記ターゲットとの少なくとも一部が平面視において重なる第2の位置において、前記ターゲットの主面と略直交する方向に向かう第2のスパッタ粒子により、前記第1の膜上に第2の膜を形成する工程と、を備え、前記第1の膜が形成されていない前記被処理物が前記第2の位置にある場合には、前記第2のスパッタ粒子が遮蔽されることを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】薄膜抵抗と配線部との接触抵抗が高抵抗化することを抑制できる薄膜抵抗を備えた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】スパッタ装置内において事前にチタンの表面を窒化させておくことで窒化チタンを形成しておき、その後、窒素の導入を停止した状態で窒化チタンをターゲットとしたスパッタにより、窒化チタン膜によって構成される第1金属層5を形成する。これにより、薄膜抵抗Rと接触する第1金属層5を形成する際に、スパッタ装置内に窒化ラジカルが基本的には存在していない条件で第1金属層5の成膜を行うことができるため、薄膜抵抗Rの露出部分に窒化物が形成されないようにできる。したがって、薄膜抵抗Rと配線部の一部を構成する第1金属層5との接触抵抗が高抵抗化することを抑制することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】長期の駆動に耐えることのできる圧電体膜とその製造方法、圧電素子および液体吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板に略平行であり、積層に起因するグレインバウンダリのない、基板上に気相成長法により成膜された圧電体膜であり、構成する結晶の(100)面方位の結晶軸方向が前記基板面の法線方向から6°以上45°以下傾いていることを特徴とする圧電体膜とその製造方法である。さらに、該圧電体膜を備える圧電素子および液体吐出装置である。 (もっと読む)


【課題】大規模、均一かつ高品質のグラフェン膜およびその作成方法を提供する。
【解決手段】結晶質基板100上に触媒薄膜101を形成し、この触媒薄膜を加熱処理して高秩序で選択的に配向した結晶質触媒薄膜を形成し、ガス状炭素源を加熱し触媒薄膜を冷却することで、触媒薄膜上にグラフェン膜102が形成される。前記触媒薄膜の触媒材料はNi、Pt、Co、Fe、Al、Cr、Cu、Mg、Mn、Rh、Ti、Pd、Ru、Ir及びReからなる群から選択された1つまたは複数の元素を含み、厚さは約1nmから約2mmの範囲である。 (もっと読む)


【課題】スパッタリングによる成膜レートを低くし、被処理体の表面に形成されたアスペクト比が3以上の孔または溝の内壁面および内底面に被覆性が良好な金属薄膜を形成し、少ない電力でも、ターゲットにおける自己保持放電を発生させる成膜方法を提供する。
【解決手段】ターゲット3に電圧Vおよび電流Iを印加しチャンバ2内でターゲットから放電が発生した後、スパッタガスの導入を止めてターゲットのイオンにより自己保持放電を発生させ、被処理体Wの表面の孔または溝内を含む被処理体の表面全面に金属薄膜を形成する工程において、ターゲットに印加する電流Iを一定とし、放電が不安定になった時に電圧Vを増大させるとともに、関係式(1)および(2)を満たすことを特徴とする。I>I・・・(1)、P>P・・・(2)(I:自己保持放電を開始する電流の最小値、P:ターゲットの電力、P:自己保持放電を開始する電力の最小値) (もっと読む)


【課題】Ti合金、高硬度ステンレス鋼、Ni基耐熱合金などの高硬度難削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐熱性および耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、(a)組成式:(Al1−αCrα)Nあるいは組成式:(Al1−α−βCrαβ)N(但し、Mは、Al、Crを除く周期律表4a,5a,6a族の元素、Si、B、Yのうちから選ばれた1種又は2種以上の添加成分を示し、原子比で、0.45≦α≦0.75、0.01≦β≦0.25)を満足するAlとCr(とM)の複合窒化物層からなるAlCr(M)N薄層、(b)組成式:(V1−γγ)N(但し、原子比で、0.01≦γ≦0.1)を満足するVとYの複合窒化物層からなるVYN薄層、前記(a)、(b)の交互積層からなる硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】高硬度難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐熱性および耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、(a)組成式:(Al1−α−βCrαβ)N(但し、Mは、Alを除く周期律表4a,5a,6a族の元素、Si、B、Yのうちから選ばれた1種又は2種以上の添加成分を示し、原子比で、0.45≦α≦0.75、0.01≦β≦0.25)を満足するAlとCr(とM)の複合窒化物層からなる下部層、(b)組成式:(V1−γγ)N(但し、原子比で、0.01≦γ≦0.1)を満足するVとYの複合窒化物層からなる上部層、以上(a)、(b)で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】Ti合金、ステンレス鋼等の難削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐熱性および耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、前記硬質被覆層が、(a)組成式:(Ti1−αAlα)Nあるいは組成式:(Ti1−α−βAlαβ)N(但し、Mは、Tiを除く周期律表4a,5a,6a族の元素、Si、B、Yのうちから選ばれた1種又は2種以上の添加成分を示し、原子比で、0.45≦α≦0.75、0.01≦β≦0.25)を満足するTiとAl(とM)の複合窒化物層からなるTiAl(M)N薄層、(b)組成式:(V1−γγ)N(但し、原子比で、0.01≦γ≦0.1)を満足するVとYの複合窒化物層からなるVYN薄層、前記(a)、(b)の交互積層からなることを特徴とする表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】Ti合金、ステンレス鋼等の難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐熱性及び耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、組成式:(V1−γγ)N(但し、原子比で、0.01≦γ≦0.1)を満足するVとYの複合窒化物層の単層から構成するか、または、組成式:(Ti1−αAlα)Nで表されるTiとAlの複合窒化物層からなる下部層、あるいは、組成式:(Ti1−α−βAlαβ)Nで表されるTiとAlとMの複合窒化物層からなる下部層(但し、Mは、Tiを除く周期律表4a,5a,6a族の元素、Si、B、Yのうちから選ばれた1種又は2種以上の添加成分を示し、原子比で、0.45≦α≦0.75、0.01≦β≦0.25)と上記(V1−γγ)N層からなる上部層との2層構造として構成する。 (もっと読む)


【課題】耐摩耗性、耐欠損性、および密着性を兼ね備えた被覆膜を表面に有する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材とその上に形成された被覆膜とを備え、該被覆膜は、1μm以上15μm以下の膜厚でありかつAlaTibSicdN(式中、0.35≦a≦0.7、0<c≦0.1、0<d≦0.3)からなるA層と、TieSifMegN(式中、0<f≦0.1、0<g≦0.3)からなるB層とが交互に各2層以上積層された積層体を含み、式中MおよびMeは、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、およびWからなる群より選ばれる1種以上の元素を示し、A層およびB層はそれぞれ、20nm以下の層厚であり、A層を構成するSiの原子比cと、B層を構成するSiの原子比fとは、以下の式(I)を満たすことを特徴とする。
|c−f|≦0.05 ・・・(I) (もっと読む)


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、1〜50nmの層厚の薄層Aと1〜50nmの層厚の薄層Bとが交互に積層された複層領域と、100〜500nmの層厚の単一層にて構成された単層領域との交互積層構造からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、薄層Aは、[Ti1−XSi]N(Xは原子比で0.01〜0.30)層、薄層Bは、[Ti1−Y]N(Yは原子比で0.40〜0.70)層であって、単一層は、上記薄層Aまたは薄層Bと同一種の層で構成する。 (もっと読む)


【課題】密着性が良好でc−BN相を高い割合で有する極めて実用性に秀れた窒化ホウ素皮膜の提供。
【解決手段】c−BN相を含む窒化ホウ素皮膜であって、c−BN相の平均結晶粒径が5〜100nmであり、各々の結晶の周りが厚さ1〜20nmのsp結合相で囲まれた組織を有する窒化ホウ素皮膜。 (もっと読む)


【課題】2層構造を有する硬質皮膜層1、2において、硬質皮膜層1は残留圧縮応力により亀裂の伝播抑制を図り、硬質皮膜層2は残留圧縮応力の低減化により厚膜化を可能とし、基材との密着強度を改善して硬質皮膜被覆切削工具の長寿命化を図る。
【解決手段】超硬合金を基材とする切削工具に硬質皮膜を被覆した硬質皮膜被覆切削工具において、表面側に硬質皮膜層1、基材側に硬質皮膜層2が被覆され、硬質皮膜層1は(AlCr1−a)N、但し、0.5≦a≦0.75、0.9≦x≦1.1であり、硬質皮膜層2は(TiAl1−b)N、但し、0.4≦b≦0.6、0.9≦y≦1.1であり、X線回折における硬質皮膜層1の(111)面の格子定数をa1(nm)、硬質皮膜層2の(200)面の格子定数をa2(nm)としたとき、0.990≦a1/a2≦0.999であることを特徴とする硬質皮膜被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、1〜50nmの層厚の薄層Aと1〜50nmの層厚の薄層Bとが交互に積層された複層領域と、100〜500nmの層厚の単一層にて構成された単層領域との交互積層構造からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、薄層Aは、[Ti1−XSi]N(Xは原子比で0.01〜0.30)層、薄層Bは、[Ti1−YAl]N(Yは原子比で0.40〜0.70)層であって、単一層は、上記薄層Bと同一種の層で構成する。 (もっと読む)


【課題】耐摩耗性、耐欠損性、および密着性を兼ね備えた被覆膜を表面に有する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材とその上に形成された被覆膜とを備え、該被覆膜は、1μm以上15μm以下の膜厚であり、かつAlaTibSicN(ただし式中、0.35≦a≦0.7、0<c≦0.1、a+b+c=1)からなるA層と、TidSieN(ただし式中、0<e≦0.1、d+e=1)からなるB層とが交互に各2層以上積層された積層体を含み、A層およびB層はそれぞれ、20nm以下の層厚であり、A層を構成するSiの原子比cと、B層を構成するSiの原子比eとは、以下の式(I)を満たすことを特徴とする。
|c−e|≦0.05 ・・・(I) (もっと読む)


【課題】マスク母材にダメージを与えることなくデポジション膜の洗浄除去が可能であり、洗浄作業性にも優れた成膜用マスクを提供する。
【解決手段】成膜用マスク11は、基板Wの成膜面に対向配置され成膜領域を制限する一つの開口部20が形成されたマスク本体2と、このマスク本体の表面の開口部の外側を被覆するカバー部材とを備え、このカバー部材3は、マスク本体に対して着脱自在に取り付けられた複数のカバー分割片3A、3B、3C、3Dの集合体で構成されている。マスク本体の表面の所定領域をカバー部材で被覆することにより、マスク本体へのデポジション膜の付着を抑え、マスク洗浄時におけるマスク母材のダメージを防ぐ。カバー部材に付着したデポジション膜の除去は、個々のカバー分割片に個片化した状態で行うことにより、洗浄作業が簡単になり、マスクの大型化にも容易に対応できるようになる。 (もっと読む)


【課題】2層構造を有する硬質皮膜層1、2において、硬質皮膜層1は結晶組織の微細粒状化と密着強度の改善を図り、硬質皮膜層2は結晶組織の粒状化と高硬度化による耐摩耗性の改善を図って硬質皮膜被覆切削工具の長寿命化を実現する。
【解決手段】超硬合金を基材とする切削工具に硬質皮膜を被覆した硬質皮膜被覆切削工具において、表面側に硬質皮膜層1、基材側に硬質皮膜層2が被覆され、硬質皮膜層1は(AlCr1−a1−x、但し、0.5≦a≦0.75、0.45≦x≦0.55、硬質皮膜層2は(TiAl1−b1−y、但し、0.4≦b≦0.6、0.45≦y≦0.55、X線回折における硬質皮膜層1の(200)面の格子定数をa1(nm)、硬質皮膜層2の(111)面の格子定数をa2(nm)としたとき、0.980≦a1/a2≦0.990であることを特徴とする硬質皮膜被覆切削工具である。 (もっと読む)


【課題】 ハーフトーン型位相反転ブランクマスク、ハーフトーン型位相反転フォトマスク及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 透明基板、位相反転膜、金属膜及びレジスト膜が順次に積層されてなるハーフトーン型位相反転ブランクマスク。ここで、位相反転膜は、膜を構成する元素のうち少なくとも一つの元素の組成比が膜の深さ方向に連続的に変わる区間である成分変化区間を持つ。これにより、位相反転膜に厚さ方向に相異なる組成比を持たせることによって、位相反転膜の接着力、パーチクル、ピンホール、耐化学性、耐露光性、残留応力、面抵抗特性の優秀なハーフトーン型位相反転ブランクマスクの製造ができる。 (もっと読む)


【課題】耐摩耗性、耐欠損性、および密着性を兼ね備えた被覆膜を表面に有する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材とその上に形成された被覆膜とを備え、該被覆膜は、1μm以上15μm以下の膜厚であり、かつAlaTibSicN(ただし式中、0.35≦a≦0.7、0<c≦0.1、a+b+c=1)からなるA層と、TidSieN(ただし式中、0<e≦0.1、d+e=1)からなるB層とが交互に各2層以上積層された積層体を含み、A層およびB層はそれぞれ、20nm以下の層厚であり、各A層は、実質的に同一の層厚であり、各B層は、実質的に同一の層厚であり、A層は、基材側から被覆膜の表面側にかけて連続的または段階的にAlの原子比が減少し、基材に最も近い側のA層を構成するAlの原子比をa1とし、被覆膜の表面に最も近い側のA層を構成するAlの原子比をa2とすると、a1−a2≧0.005を満たすことを特徴とする。 (もっと読む)


201 - 220 / 1,103