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Fターム[4K029BA62]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被膜材質 (15,503) | 有機質材 (1,119)

Fターム[4K029BA62]に分類される特許

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【課題】膜厚モニターの示す蒸着材料の蒸着レート指示値から算出される蒸着膜厚と、基板上への蒸着膜厚との差異を小さくする真空蒸着方法を提供する。
【解決手段】蒸着材料21の蒸気を発生させる蒸着源20と、蒸着材料21の蒸着レートをモニターして蒸着源20の制御を行う膜厚センサーと、を有し、前記膜厚センサーが、少なくとも第1の膜厚センサー31と、第2の膜厚センサー32と、からなる真空蒸着装置1を用いて、被蒸着部材(基板50)に蒸着材料21の蒸着膜を形成する真空蒸着方法であって、第1の膜厚センサー31による蒸着源20の制御中において第2の膜厚センサー32に蒸着膜を付着させた後に、第1の膜厚センサー31から第2の膜厚センサー32に切り替えて蒸着源20の制御を行うことを特徴とする、真空蒸着方法。 (もっと読む)


【課題】生産性を落とすことなくガラス基板を効果的に冷却することで蒸着処理時の有機層の変質・劣化を防止し、これにより高品質の有機層を形成する。
【解決手段】ガラス基板7の一方の面7aの側に一又は複数の層を形成するに際し、層は有機層4を有すると共に、層における少なくとも一種の層が蒸着処理により形成され、蒸着処理時、ガラス基板7の他方の面7bにガラス基板7を冷却するための冷却板15の一方の面15aを直に面接触させることとし、かつ、この面接触により、各々の合わせ面7b,15aが剥離可能な程度に密着した状態となるようにした。 (もっと読む)



【課題】カップリング剤の変質や、被処理物へのミストの付着を防止しつつ、被処理物に対して均一なカップリング剤の被膜を効率よく成膜可能な表面処理装置および表面処理方法を提供すること。
【解決手段】表面処理装置1は、被処理物9を収納し、密閉構造を備える処理容器2と、処理容器2内を減圧する減圧ポンプ(減圧手段)3と、処理容器2内にカップリング剤を含む液状原料を供給する原料供給機構(液状原料供給手段)4とを有している。そして、処理容器2内に被処理物9を収納し、処理容器2内を減圧した後、減圧状態で封じ切りを行う。次いで、原料供給機構4により、処理容器2内に液状原料8を供給する。これにより、供給された液状原料8は気化し、その気化物が処理容器2内に拡散することで、被処理物9の表面にカップリング剤の被膜が形成される。 (もっと読む)


【課題】蒸着材料の劣化を防止しつつ、長期間にわたる連続運転を可能とする。
【解決手段】るつぼホルダ13内に、赤外線を主な波長とする加熱波を放射する放射加熱器21を、赤外線を透過可能な材質からなる加熱波透過管22に内装して配置し、放射加熱器21からの加熱波をるつぼ本体12内の蒸着材料Mの表面に照射して加熱し、蒸着材料Mの表面のみを蒸発または昇華させる。蒸発または昇華された蒸着材料Mが、加熱波透過管22の表面やるつぼ本体12、るつぼホルダ13の内面に付着しても、加熱波により加熱されて再蒸発または再昇華される。 (もっと読む)


【課題】プラズマ成膜を行う際、成膜に寄与することなく排出される原材料の割合を低減するとともに成膜速度を大きくし、さらに、皮膜に微細粒子が含まれることを回避する。
【解決手段】プラズマノズル14と、基材10の成膜部位との間に、整流用治具12を配置する。成膜時には、合流供給路16に対し、整流用治具12の第1供給路20から第2液相原材料を供給する。これに加え、気相原材料をプラズマ化したものをプラズマノズル14から供給するようにしてもよい。合流供給路16には、さらに、第2供給路22から第1液相原材料が供給される。第1液相原材料は、液相を維持しながら基材10の成膜部位に到達し、少なくとも前記第2液相原材料と相互作用を起こし、好適には重合によって固化する。気相原材料が供給された場合には、第2液相原材料及び気相原材料と相互作用を起こす。 (もっと読む)


【課題】有機膜の真空蒸着に用いられる酸化アルミニウムなどの多孔性セラミックス焼結体は有機膜特性を劣化させる要因となる不純物が多く、成膜する有機膜の安定性及び均一性の制御が難しいので、成膜する有機膜の安定性及び均一性を高めることである。
【解決手段】開口部を有する容器10内に熱伝導体粉末12が充填されており、容器10の底部側から熱伝導体粉末12に有機膜形成用有機物質11bが含浸されており、開口部を密閉するように蓋部13が設けられている構成である。 (もっと読む)





【課題】 本発明は、優れた撥水性、離型性及び耐油性を有し、均一かつ非転移性で安定的な、環境負荷も低減され、低コストのフッ素修飾した炭素含有有機珪素化合物の蒸着膜積層フィルム及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 プラズマ化学気相蒸着法(PE−CVD法)により、プラスチック基材上にフッ素修飾した炭素含有有機珪素化合物の蒸着膜を形成させてなる撥水性及び離型性を有する蒸着膜積層フィルム及びその製造方法において、フルオロカーボンと有機シリコーンに酸素もしくは窒素の少なくとも1種類のガスの混合組成物をプラスチック基材をTg以下に冷却保持した状態で、プラズマ化学気相蒸着を行い、フッ素修飾した炭素含有有機珪素化合物の蒸着膜をプラスチック基材上に成膜することで、高速にかつ90°以上の水接触角を有する撥水性及び離型性に優れ、耐油性も付与された積層フィルムが得られる。 (もっと読む)


【課題】製造が容易であり、大型基板の量産工程に容易に適用でき、製造収率及び蒸着効率が向上した薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光表示装置の製造方法及びこれを利用して製造された有機発光表示装置を提供する。
【解決手段】薄膜蒸着装置は複数の薄膜蒸着アセンブリーを備え、複数の薄膜蒸着アセンブリーそれぞれは、蒸着源と、複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、蒸着源ノズル部とパターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリーと、を備え、薄膜蒸着装置は、基板と所定距離ほど離隔して形成され、薄膜蒸着装置と基板とは、いずれか一方が他方に対して相対的に移動自在に形成され、各蒸着源には、赤色発光層材料、緑色発光層材料、青色発光層材料又は補助層材料が備えられることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】フィルムの巻取り性を低下させることなく、金属化フィルムにおける酸化劣化による金属蒸着層の消失(膜後退)を抑制することができる金属化フィルムの製造方法、該金属化フィルム、および該金属化フィルムを用いたコンデンサを提供する。
【解決手段】誘電体フィルム19の表面に、金属蒸着層11が形成される蒸着部19Dと、蒸着部に隣接するマージン部19Mとを有し、金属蒸着層は、前記マージン部と隣接する隣接部分にマージン部に近づくにつれて厚みが減少する傾斜部11Sを備えた金属化フィルム10を、オイル18を蒸発させて誘電体フィルムの表面に付着させ、マージン部を形成するオイル蒸着工程と、マージン部上でマージン部の縁に沿って、オイルを印刷するオイル印刷工程と、オイル蒸着工程およびオイル印刷工程の後に金属蒸着を行うことにより、蒸着部に金属蒸着層を形成する金属蒸着工程とを含む工程で製造する。 (もっと読む)


【課題】有機シロキサン系絶縁膜を用いて電気的特性に優れた半導体装置を製造する方法を提供する。
【解決手段】下層配線の上にこの順で形成された第1〜第3の絶縁膜をドライエッチングして該下層配線に至る開口部を形成し、該開口部の内面と該第3の絶縁膜の上にバリアメタル膜を形成し、該バリアメタル膜の上に該開口部を埋める導電層を形成し、該第3の絶縁膜上の該導電層と該バリアメタル膜、及び該第2、第3の絶縁膜の一部を除去し該下層配線に電気的に接続する上層配線を形成し、露出した該第2の絶縁膜と該導電層の表面を還元性プラズマ処理し、
該第2の絶縁膜は下記式で表されるアルキルアルコキシシランと非酸化性ガスとを用い、500Pa以下でプラズマCVD法により形成する
RwSixOy(OR´)z
R及びR´はCH、wxzは正の整数、yは0または正の整数、(w/x)=2である。 (もっと読む)


【課題】高精度の成膜パターン形成を実現させるためのメタルマスクを提供する。
【解決手段】金属フレーム10に、所定の開孔パターン(開孔部12)が形成された金属箔11が接合されているメタルマスク1であって、金属フレーム10の内縁10aよりも内側に基板20を配置し、基板20を金属箔11のみで支持し、金属箔11の基板20の縁部と対向する部分において、金属箔11の厚さ方向に段差を設けて基板20の縁部と金属箔(11b)とが接触しない構造としたこと特徴とする、メタルマスク1。 (もっと読む)



【課題】本発明は、ドライ洗浄方法において、スループット向上し処理枚数を増やすことができるマスクドライ洗浄装置または洗浄方法を提供すること、あるいは上記マスクドライ洗浄装置を蒸着装置に隣接して設けることで短時間に洗浄できる稼働率の高い製造装置を提供することである。
【解決手段】本発明はレーザ光源から出射されるレーザ光をマスクに付着した付着蒸着材料に照射し該マスクを洗浄する際に、前記レーザ光を円形状から楕円形状に変更し、該楕円形状のレーザ光を前記マスクの前記付着蒸着材料に照射し洗浄することを特徴とする。 (もっと読む)



【課題】有機EL用マスクに対して復元不能なダメージを与えることなく、且つクリーニング速度の高速化を図ることを目的とする。
【解決手段】有機EL用マスク1の表面に付着した有機材料50を剥離するためのレーザ光Lを発振するレーザ光源31と、レーザ光Lの強度分布をガウス形状から平均的な分布(トップハット形状)に変換するビーム整形光学系33と、強度分布が変換されたレーザ光Lを有機EL用マスク1の表面に走査させるXガルバノミラー35およびYガルバノミラー36を有する走査光学系と、を備えている。この構成により、レーザ光Lの強度分布が平均的になり、有機EL用マスク1に復元不能なダメージを与えなくなり、且つクリーニング速度が高速化する。 (もっと読む)


【課題】安価かつ簡易な方法で洗浄することができ、付着していた蒸着物の回収を容易に行うことができるメタルマスクを提供する。また、該メタルマスクの洗浄方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の表面に親水性コーティングが施されたメタルマスクであって、前記親水性コーティングは、ケイ酸ナトリウムを5〜40重量%、四ホウ酸ナトリウム十水和物を0.01〜1.5重量%含有する水溶液A、又は、ケイ酸ナトリウムを5〜40重量%、リン酸ナトリウムを0.01〜1.6重量%含有する水溶液Bをメタルマスクの少なくとも一方の表面に塗布した後、乾燥させるものであるメタルマスク。 (もっと読む)


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