説明

Fターム[4K029BA62]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被膜材質 (15,503) | 有機質材 (1,119)

Fターム[4K029BA62]に分類される特許

61 - 80 / 1,119


【課題】迅速に成膜速度を算出し、被処理基板へ供給する有機材料ガスの濃度を略一定にして良質な膜を効率良く形成することができ、保守管理も容易である成膜装置、成膜速度算出方法、成膜方法、有機発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】成膜装置1のプロセスコントローラ11は、イオンゲージ10に搬送ガスのみを通流させた場合の(Ii/Ie)0 と、有機材料及び搬送ガスを通流させた場合の(Ii/Ie)との差と、成膜速度D/Rとの関係を示す成膜速度検量線を作成する。プロセスコントローラ11は成膜時に(Ii/Ie)を算出し、前記成膜速度検量線を用いてD/Rを求め、求めたD/Rに基づいてマスフローコントローラ5を制御し、搬送ガスの流量を制御して、成膜処理を行う。 (もっと読む)


【課題】蒸発源での原料モノマーの蒸発レートを、低コストに且つ面倒な作業を付加することなしに、予め定められた一定の量に確実に制御し得るモノマー蒸発量制御装置を提供する。
【解決手段】原料モノマー29a,29bの蒸発時に、ヒータ30の出力をヒータ出力測定手段38にて測定する一方、目標温度変更信号出力手段32において、ヒータ出力測定器38による測定値とヒータ30の出力の目標値との差を演算すると共に、該差に基づいて、ヒータ30にて加熱される原料モノマー29a,29bの目標温度を上昇又は低下させる目標温度変更信号を、該差がゼロとなるまで、目標温度変更信号出力手段32から温度調節手段36に出力するように構成した。 (もっと読む)


【課題】 成膜したフッ素含有樹脂からなる有機層と無機層との密着性が高い成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】 成膜方法は、被処理基板2に成膜された無機物からなる無機層3上にフッ素含有樹脂からなる有機層を形成する成膜方法であって、無機層を形成する際に、反応性ガスとして水蒸気を用いた反応性スパッタリングを行って被処理基板上に無機層を形成し、次いで無機層上に有機層を形成する。成膜装置は、この成膜方法を実施できる。 (もっと読む)


【課題】生産性を高めることができるとともに均一な蒸着膜を形成することができる真空蒸着装置および真空蒸着方法を提供する。
【解決手段】フィルムFを外周に沿わせて連続的に送る冷却ドラム21を備え、このフィルムFの外周側に、有機材料を加熱して蒸発させるとともに放出させて当該フィルムFに負圧下で蒸着させる蒸発源31を4基配置した真空蒸着装置1であって、上記蒸発源31のうち、第1蒸発源31Aおよび第2蒸発源31Bは、同一の有機材料を蒸着させるものであり、上記第1蒸発源31Aは蒸発させた有機材料の放出量を調整し得るバルブ駆動部33を有せず、第2蒸発源31Bは当該バルブ駆動部33を有するものであり、上記第1蒸発源31Aおよび第2蒸発源31B以外の他の蒸発源31C,31Dは、上記バルブ駆動部33を有するものである。 (もっと読む)



【課題】本件発明の課題は、プラスチック光学部品の表面に対する密着性に優れ、広い波長領域の光に対して優れた反射防止性能を有するプラスチック光学部品の反射防止膜及びプラスチック光学部品の反射防止膜の製造方法を提供することである。
【解決手段】上記課題を解決するため、反射防止膜を、プラスチック光学部品基材上に設けられ、有機系ケイ素化合物を用いて形成された応力緩和層と、当該応力緩和層上に、高屈折率層と、有機系ケイ素化合物を用いて形成される低屈折率層とを当該順序で積層した二層を一組の反射防止ペア層として、当該反射防止ペア層を少なくとも二組積層した構造を有する反射防止構造体とを備える構成とする。 (もっと読む)


【課題】基板に蒸着される膜の膜厚均一性を向上させることができる成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜装置10は、基板Sを収容する処理チャンバ12と、基板Sを保持するステージ14と、蒸着材料を含むガスGを基板Sに噴き付ける複数のノズル16cを有する蒸着ヘッド18cとを備える。ノズル16cはY方向に沿って配列される。成膜装置10は、ノズル16cに対して相対的に基板SがY方向と交差するX方向に沿って移動するように、蒸着ヘッド18c及びステージ14の少なくとも一方を駆動する駆動装置22と、Y方向に沿った基板Sの側面SaとX方向に沿った基板Sの側面Sbとを覆う枠Fとを備える。 (もっと読む)


【課題】クリーニングガスとしてフッ素系ガスを使用することにより、処理容器自体や被処理体を保持する保持手段にダメージを与えることなく不要な高分子薄膜のみを選択的に且つ効率的に除去することが可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】被処理体Wの表面に高分子薄膜を形成する成膜装置において、被処理体を収容する処理容器4と、処理容器内で被処理体を保持する保持手段6と、処理容器内を真空引きする真空排気系30と、処理容器内へ高分子薄膜の複数の原料ガスを供給するガス供給手段20と、処理容器内へクリーニングガスとしてフッ素ガスを供給するクリーニングガス供給手段26と、処理容器を加熱する容器加熱手段14とを備える。これにより、処理容器内をクリーニング処理するに際して、クリーニングガスとしてフッ素系ガスを使用する。 (もっと読む)


【課題】複数のスティック型分割マスクが採用されるマスクフレーム組立体を提供する。
【解決手段】フレームに互いに交差して設けられ、その交差位置は互いに溶接で固定された支持バー及び分割マスクを備え、その溶接点の周囲には分割マスクの一部を切除した部分切除部が形成されるマスクフレーム組立体。かかる構造によれば、支持バーで分割マスクの下反りを防止でき、基板と分割マスクとの密着性も向上させることができるマスクフレーム組立体が具現される。 (もっと読む)


【課題】材料の損失の少なくできる又は内圧の上昇による再開放時の蒸発・昇華速度の変化や材料の変質を齎すことない或いは蒸発源の保守時間の短く、稼働率の高い有機ELデバイス製造装置及び有機ELデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】真空蒸着チャンバに設けられた一つ又は2つの処理部に基板6を搬入し、蒸着物噴射口部を長手方向に複数備える蒸発源7を走査して前記基板に蒸着する有機ELデバイス製造装置又はその方法において、前記2つの処理部の有するそれぞれ前記基板を保持する基板保持部9を垂直または略垂直にした状態で互いに正対させ、前記蒸着物噴射口部を回転させて、蒸着する基板を替えること、或いは前記蒸発源を前記真空蒸着チャンバに隣接して設けられた蒸発源保守交換室に移動し、前記真空蒸着チャンバの真空を蒸発源保守交換室から隔離し、前記蒸発源を保守又は新たな蒸発源と交換する。 (もっと読む)



【課題】分割マスクとその分割マスクを含むマスクフレーム組立体の組立装置を提供する。
【解決手段】蒸着用パターンが設けられたスティック本体と、スティック本体の長手方向に沿って延びた第1クランピング部と、スティック本体の長手方向と幅方向との間の斜め方向に沿って延びた第2クランピング部と、を備える分割マスク及びその分割マスクを含むマスクフレーム組立体の組立装置である。これにより、マスクフレーム組立体の組立時、第1、2クランピング部を利用して、長手方向だけでなく、幅方向にも引張力を与えることができるので、ウェーブの発生を抑制して精密なマスクフレーム組立体を作りうる。 (もっと読む)


【課題】有機層の性能の変動が抑制された、高品質な有機機能性素子を効率的に製造し得る有機機能性素子の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】気化された有機層形成材料をノズルから吐出させることにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材21上に有機層を形成する蒸着工程を含む有機機能性素子の製造方法であって、前記ノズルの開口部9aaと前記基材との間に介在され、互いに並列し且つ前記基材の移動方向に対して交差する方向に配置された複数の線部材31を有する蒸着量調整部材を用い、基材移動方向と垂直な開口部幅方向において、該開口部の中央部から両端部へ向かう程、前記線部材同士の間隔が大きくなるように前記線部材を配置し、前記線部材間において前記開口部から吐出された有機層形成材料を通過させつつ、前記蒸着工程を行う。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、真空蒸着チャンバを開くときの待ち時間を短縮できる蒸着源又は前記蒸着源を用い稼働率の高い有機ELデバイス製造装置及び有機ELデバイス製造装置の運転方法を提供することである。
【解決手段】
内部に蒸着材料を内在する坩堝と、前記蒸着材料を加熱し蒸発・昇華させる加熱手段と、前記蒸発・昇華した前記蒸着材料を噴射する蒸着物噴射口とを有する蒸着源において、前記坩堝の外面のうち蒸着物噴射口ない外面と前記蒸発源の筐体との間に存在する部材の一部を除去可能な除去可能部を有することを第1の特徴とする。また、本発明は、前記除去可能部が移動した前記蒸発源の開口部に挿入可能であって内部に冷却材が供給され、前記冷却材を排出する坩堝冷却体と、前記坩堝冷却体を前記開口部に挿入する坩堝冷却体挿入手段とを有することを第2の特徴とする。 (もっと読む)


【課題】プラスチック基材に対し、耐摩耗性、接着性及び/又は微小亀裂耐性の向上した被覆を提供する。
【解決手段】基材と第一の層とその上に堆積した第二の層とを含む多層品であって、第一の層は、式R2Si(OR’)2のジオルガノジオルガノオキシシラン、式RSi(OR’)3のオルガノトリオルガノオキシシラン又は両者の部分縮合物を含み、式中Rは独立に炭素原子数約1〜3のアルキル基、炭素原子数約6〜13の芳香族基、ビニル基、3,3,3-トリフルオロプロピル基、γ-グリシドキシプロピル基及びγ-メタクリロキシプロピル基からなる群から選択され、R’は独立に炭素原子数約1〜8のアルキル基、炭素原子数6〜20の芳香族基及び水素からなる群から選択される。第二の層はプラズマ中で重合して酸化した有機ケイ素材料を含み、ケイ素、酸素、炭素及び水素を含有している。 (もっと読む)


【課題】分割マスク及びこれを利用したマスクフレーム組立体の組立方法を提供する。
【解決手段】パターンが形成された本体部と、本体部の一側から延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部と、前記少なくとも一つのサイドクランピング部の最外郭のサイドクランピング部に隣接して配される斜めクランピング部と、を備え、斜めクランピング部とサイドクランピング部とがなす角度(θ)は、0°より大きく90°より小さい(0°<θ<90°)分割マスク及びこれを利用したマスクフレーム組立体の組立方法。 (もっと読む)


【課題】蒸着装置を用いた成膜技術において、蒸発源への蒸着材料の供給を容易とすることにより作業者への負担を低減し、また、蒸着膜の組成や厚さ等の再現性を向上させる。
【解決手段】坩堝11は、蒸発源の筐体の内部に固定された坩堝本体11Aと、坩堝本体11Aの内側に収納される坩堝材料室11Bと、から構成され、坩堝本体11Aは、主に、それぞれ所定の厚みを有する底面部11A1と側面部11A2と上面部11A3とから成り、坩堝材料室11Bは、主に、それぞれ所定の厚みを有する底面部11B1と側面部11B2f,11B2s,11B2s,11B2bとから成り、坩堝本体11Aの側面部11A2を設けていない開口領域から、坩堝材料室11Bを坩堝本体11Aの内側に出し入れすることができ、坩堝材料室11Bの側面部11B2fに、複数の吹き出しノズル12が設けられている。 (もっと読む)


【課題】基材と蒸着源との距離を短くしつつ、発光色の変動が抑制された、高品質な有機EL素子を効率的に製造し得る有機EL素子の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】気化された有機層形成材料をノズルから吐出させることにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着工程を含み、前記有機層からなり基材移動方向に対して垂直な方向の幅A(mm)を有する発光領域を形成する有機EL素子の製造方法であって、前記ノズルの開口部における前記基材移動方向と垂直方向の長さをW(mm)、前記開口部と前記基材との距離をh(mm)とするとき、W≧A+2×h(但し、h≦5mmである。)を満たすようにして前記蒸着工程を行なうことを特徴とする有機EL素子の製造方法。 (もっと読む)


【課題】薄膜蒸着用のマスクフレームアセンブリーを提供する。
【解決手段】蒸着用基板に蒸着しようとする素材を蒸着するためのものであって、開口部が形成され、開口部を取り囲む複数のフレームが互いに連結されたマスクフレーム;マスクフレーム上に結合されるマスク;を備えるが、マスクの少なくとも一領域には変形防止部が形成されたものであって、マスクの蒸着用パターン部の周辺部に変形防止部が形成されることで、マスクの垂直方向の変形を低減させることができる。これにより、基板へのマスクの密着不良を最小化する。 (もっと読む)


【課題】粒子状材料を容器から気化ゾーンに効率的に移動させる方法を提供する。
【解決手段】粒子状材料を気化させて表面上に凝縮させることで層を形成する1つの方法では、ある量の粒子状材料を、その粒子状材料が自由に通過できるサイズの開口部を有する第1の容器50に供給する。その粒子状材料は、開口部を通じてスクリュー構造80の中に移される。そのスクリュー構造の少なくとも一部を回転させて粒子状材料を第1の容器から供給路60に沿って気化ゾーンに移し、その気化ゾーンでその粒子状材料の少なくとも1つの成分を気化させて表面に供給することで層を形成する。スクリュー構造のサイズは、粒子状材料が開口部を自由に通過するのが容易になるように選択されている。 (もっと読む)


61 - 80 / 1,119