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Fターム[4K029BA62]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被膜材質 (15,503) | 有機質材 (1,119)

Fターム[4K029BA62]に分類される特許

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【課題】蒸着ステージを移動しながら、多層膜の蒸着を行う場合に、蒸着マスクと基板の熱膨張の差によって、蒸着マスクと基板が位置ずれを起こすことを防止する。
【解決手段】
蒸着ステージにおいて蒸着マスクを介して基板に所定の蒸着を行い、その後蒸着マスク、基板および押さえ板30の組を移動させ、他の蒸着ステージにおいて、蒸着マスクを介して基板に他の蒸着を行う。蒸着マスク、基板、押さえ板30の組が移動している間、冷却ローラ60を押さえ板30に接触させ、蒸着マスクを介して基板に他の蒸着を行っている間は、冷却ローラ60は押さえ板30からは離しておく。冷却ローラ60は金属で形成され、表面に高分子材料がコーティングされており、内部を冷却媒体が流れることが出来る。基板および蒸着マスクの温度が上がって熱膨張することを回避することが出来るので、有機EL表示装置の製作裕度を向上させることが出来る。 (もっと読む)


【課題】真空装置内におけるマスク組み立て体と素子基板の対を移動するときに、搬送装置においてガイドローラ等とマスクフレームとが接触した時の衝撃によって蒸着マスクと素子基板との相対位置がずれることを防止する。
【解決手段】蒸着マスクを配置し、素子基板が載置されたマスクフレーム21の両端部が搬送用ベルト200によって支えられ、回転ローラ100が回転することによって搬送用ベルト200が移動するとともにマスクフレーム21が移動する。搬送用ベルト200が接触する回転ローラ100には曲率が形成されており、この曲率に沿って搬送用ベルト200も同様の曲率を有する。この構成においては、クラウン効果によって搬送用ベルト200の蛇行が抑制されるので、搬送用ベルト200に載置されたマスクフレーム21、蒸着マスク、素子基板等は、横ずれを生ずることなく搬送することが出来る。したがって、蒸着マスクと素子基板との相対的な位置ずれを生ずることは無い。 (もっと読む)


【課題】基板とマスクとのアライメント動作回数を少なくすることによって、基板とマスクへのダメージを低減したアライメント方法及びアライメント装置を提供する。
【解決手段】基板11を基板保持手段13に保持した後、該基板11の重力方向の振動の振幅を検出し、該振幅が所定の値以下になった時点で、基板11とマスク12とにそれぞれ設けたアライメントマークの相対位置を撮像装置15によって撮像し、位置合わせを行う。 (もっと読む)


【課題】マスクと基板との隙間を介して侵入する蒸着物質によって生じる輪郭ボケや回り込み等のない、高品位な薄膜パターンを得ることができる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板20の裏面の、マスクフレームの内側であって、マスクの開口領域10の外側の領域を、基板の対向する2辺に沿った線状に、押圧体30によって押圧することにより、マスク開口部の変形を招くことなく、基板とマスクとを略水平状態にして密着させることができる。 (もっと読む)


【課題】蒸発源から蒸発材料が無くなった場合も、真空を破らずに蒸発源の交換を可能にすることが出来る真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】複数の蒸発源と蒸気放出部を配管とバルブで接続し、バルブは蒸発源側配管側に形成された中空コーン部に超弾性β系チタン合金による弾性シール100を配置した構成をシール部とし、弁体にはステンレスによるコーン状弁体120を用いる。超弾性β系チタン合金による弾性シールは、弾性係数が非常に小さく、コーン状弁体の形状に対してフレキシブルに変形することが出来、変形後も元の形に復帰するという性質を有するので、シールの信頼性を上げることが出来る。また、繰り返し変形を受けても硬化あるいは、塑性変形をしないという性質があるので、シール部として繰り返し使用することが出来る。したがって、バルブの信頼性の向上と蒸着工程のタクトタイムを向上することが出来る。 (もっと読む)


【課題】連続蒸着が可能な薄膜蒸着装置、並びにその薄膜蒸着装置に使われるマスク・ユニット及びクルーシブル・ユニットを提供する。
【解決手段】蒸着対象体である基板10を移送するように備わった基板移送ユニットと、基板に向けて蒸着源の蒸気を選択的に通過させるように備わったマスク・ユニット200と、蒸着源を収容し、マスク・ユニットを貫通する循環経路に沿って進む複数のクルーシブル110を含むクルーシブル・ユニット100と、を具備する薄膜蒸着装置である。これにより、蒸着源の供給及び消尽、基板とマスクとのアレンジなどがいずれも連続して進められるために、作業速度が相当に速くなる。 (もっと読む)


【課題】張力をかけて枠体に貼り付けた際に、各開口の長手方向の長さを長くして、テープ部のよれを抑制でき、開口幅のバラツキを小さく抑制できる擬似スリットタイプのメタルマスクを提供する。
【解決手段】スリット状の開口11に対して該開口の長手方向を直交する方向に跨ぐ複数の繋ぎ部12を所定のピッチP1で設けた開口形状を有する開口配列部を、複数、前記長手方向に直交する方向に、所定の決められたピッチで配列しており、各開口配列部の各繋ぎ部は、いずれも、1開口配列部おきに、開口配列部の長手方向に直交する方向の直線上に揃えて設けられ、且つ、全開口配列部の全繋ぎ部が配列される、開口配列部の長手方向に直交する方向の直線群は、前記所定の決められたピッチの半分のピッチである。 (もっと読む)


【課題】蒸着材料の回収手段を備えた蒸着装置において、蒸着材料の回収効率を向上し、生産性の改善を図る。
【解決手段】材料容器9から噴出部5までの第1流路11と、材料容器9から材料回収容器10までの第2流路12に、検出口6,7を設け、該検出口6,7から噴出する蒸着材料の噴出状態を検知する検出器3,4を配置し、材料容器9から検出口6までのコンダクタンスと、材料容器9から検出口7までのコンダクタンスを等しく構成する。 (もっと読む)


【課題】薄膜材料の使用効率が高く、大型基板に所定の形状の薄膜を形成できる技術を提供する。
【解決手段】
材料ガス放出装置30は、内部に材料ガスが配置される中空の蒸気タンク32h、32dと、載置面13と対面する位置に配置され、蒸気タンク32h、32dにそれぞれ接続された複数の放出装置本体311、312、313と、各放出装置本体311、312、313を、載置面13に平行で薄膜形成方向5と直角な成分を有する方向にそれぞれ個別に移動する位置調整装置とを有している。材料ガス放出装置30と処理台12を一の薄膜形成方向5に沿って相対移動させながら、各放出装置本体311、312、313から材料ガスを真空槽11内に放出させて載置面13上の成膜対象物20に到達させ、直線状の薄膜を複数本同時に形成する。 (もっと読む)


【課題】所定量の成膜材料を供給しながら蒸発できる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】
真空槽11内を真空排気し、放出容器16に接続された気化容器21を成膜材料の蒸発温度以上で、かつ成膜材料を含有する液体材料の溶媒の蒸発温度以上に加熱し、気化容器21内に液体材料を所定量噴出させ、成膜材料を気化容器21内に配置された気化部材22に付着させ、次いで気化容器21内から溶媒の蒸気を排出した後、気化部材22を成膜材料の蒸発温度以上に加熱して、気化部材22に付着した成膜材料を蒸発させ、成膜材料の蒸気を放出容器16に流入させ、放出容器16の孔17から成膜材料の蒸気を放出させ、真空槽11内に配置された基板15に到達させる。 (もっと読む)


【課題】真空内を機構が簡単で基板の蒸着面を上面にして搬送ができ、前記上面搬送においても高精彩に蒸着可能な有機ELデバイス製造装または同製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】
真空内を基板の蒸着面を上面にして搬送し、少なくとも前記基板が移動する場合には前記基板の搬送面が摺動しないように保持し、前記真空チャンバ内で前記基板を受渡し、その後前記基板を垂直または略垂直にたてて蒸着する。
また、上面搬送されてきた複数の基板を一つの真空蒸着チャンバ内で同一の蒸着源で交互に蒸着する。 (もっと読む)


【課題】種々の基板5の表面に分布が均一の成膜等の真空処理を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】基板5が配置される真空槽2と、真空槽2の外部に設けられ処理ガスを供給する処理ガス供給源7と、配管を用いて構成され、処理ガス供給源7から供給された処理ガスを基板5に向って放出する蒸気放出器10とを備える。蒸気放出器10は、有機材料の蒸気の導入側から放出側に向って4n-1(nは自然数)の等比級数で段階的に分岐する第1〜第3の分岐配管ユニット11〜13を有する分岐配管群110〜130を備え、最終段の第3の分岐配管群130における分岐配管ユニット13のガス放出側端部に、処理ガスを放出する蒸気放出口14a〜14dがそれぞれ設けられ、これら複数のガス放出口14a〜14dから基板5に向って有機材料の蒸気を放出するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、基板等の破損を低減し、稼働率の高い有機ELデバイス製造装置及び製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、基板を載置する蒸着ステージとマスクを相対的に移動させ、前記基板と前記マスクを密着させ、真空中雰囲気において前記基板に蒸着材料を蒸着する有機ELデバイス製造装置または製造方法において、前記密着は、前記駆動源の負荷を状態量として監視し、前記状態量の変化に基づいて前記移動を制御することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】マスクが撓むことなく、パターニングした有機薄膜を形成する技術を提供する。
【解決手段】基板11上に蒸気放出装置14を配置し、蒸気放出装置14内の蒸気供給源21のノズル22から有機化合物蒸気を放出させ、ノズル22と対面する位置のアパーチャ孔24を通過した有機化合物蒸気をマスク板25に到達させ、マスク貫通孔26を通過させ、相対移動によって、基板11表面に直線状の複数の有機薄膜を形成する。マスク板25の相対移動方向の長さは、基板11の相対移動方向の長さよりも短いので、マスク板25が垂れ下がることはない。有機化合物蒸気がアパーチャ孔24を通過してマスク板25に到達するから、斜め成分が除去されてシャープなパターンの有機薄膜を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】位置合わせ精度を確保しつつ省スペースを実現し、第4世代以上の大型基板にも対応可能な極めて実用性に秀れた成膜装置の提供。
【解決手段】真空槽1内で直立状態に保持された基板2にマスク3を介して成膜材料を付着せしめて成膜を行う成膜装置であって、マスク3を直立状態に取り付けたアライメント枠4を基板2に対して調整移動して、マスク3が基板2に対して適正位置となるようにマスク3と前記基板2との位置合わせを行うアライメント駆動機構を備え、このアライメント駆動機構は、真空槽1の外部にしてその上部側に設けられる上部側駆動機構か若しくは真空槽1の外部にしてその下部側に設けられる下部側駆動機構で構成する。 (もっと読む)


【課題】生産工程におけるタクトタイムの短縮が可能な蒸着装置を提供することである。
【解決手段】ガラス基板20を設置可能な真空室2と、薄膜材料を蒸発させる蒸発装置3とを有し、真空室2内にガラス基板20を設置し、蒸発装置3によって蒸発された薄膜材料を蒸散させてガラス基板20に所定成分の膜を蒸着する蒸着装置1において、ガラス基板20を回転又は円弧軌跡上を回動させてガラス基板20の向きを変更する姿勢変更手段8と、複数の蒸発装置3とこれに対応する複数の薄膜材料放出部6を有し、薄膜材料放出部6はガラス基板20を囲む位置に配置されており、姿勢変更手段8によってガラス基板20を各薄膜材料放出部6に順次対向させ、各薄膜材料放出部6から順次薄膜材料を蒸散させてガラス基板20に異なる薄膜材料を積層することが可能である。 (もっと読む)


【課題】極めて短時間の紫外線照射処理によって、ばらつきの少なく長時間安定して極めて良好な親水性を示すことができるようなポリ尿素膜の親水化処理方法を提供する。
【解決手段】被処理物に成膜されたポリ尿素膜の表面の親水化方法であって、真空処理室1において被処理物にポリ尿素膜を成膜させた後、該被処理物を大気中の水分と接触させずに親水化処理室7に移動させ、該親水化処理室において酸素ガス雰囲気中でポリ尿素膜が成膜された被処理物に紫外線照射することにより親水化処理を行う。 (もっと読む)


【課題】スリット状開孔部の振動による閉塞を防止し、高精細なパターン成膜を安定して実施しうる成膜マスクを提供する。
【解決手段】金属箔8にスリット状開孔部4を複数本開孔してなる成膜マスク1において、スリット状開孔部4の少なくとも一方の端部の開孔形状を、スリット状開孔部4の幅方向の中心線Oを中心に非対称である形状とする。 (もっと読む)


【課題】
ストライプパターンの開孔部を有するマスクにおいて、マスク強度の向上を図り、かつ、マスク伸張後のピッチ精度を高精度化することが可能な有機エレクトロルミネッセンス用マスクを提供すること。
【解決手段】
ストライプパターンの開孔部を有する有機エレクトロルミネッセンス用マスクにおいて、該開孔部の幅Wに対する、該開孔部の端部からの距離Lは、次式を満足し、
1/2W≦L≦20W
該開孔部の端部から距離Lまでの領域では、該開孔部の断面形状は、それ以外の領域の開孔部の断面形状と比較し、開孔部の断面積が小さくなっていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】蒸発材料の指向性を弱めるとともに、絞り板の絞り口が塞がれることなく、安定して均一な膜厚の蒸着膜を生成し得る真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸発容器と、この蒸発容器で得られた蒸発材料を拡散し得る拡散容器と、この拡散容器に設けられて放出口33から蒸発材料を基板に向かって放出する放出用ノズル32と、この基板が内部に配置されて所定の真空度下で蒸着を行う蒸着用容器とを具備する真空蒸着装置であって、放出用ノズル32の内径を拡大することで形成されるとともに放出口33に対向する内壁段差34を有し、この内壁段差34に配置されて放出用ノズル32の内径よりも小径のオリフィス37が形成されたオリフィス板36と、このオリフィス板36を上記内壁段差34とで挟むように配置されたC形止め輪38とを具備したものである。 (もっと読む)


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