【課題】個々の成形品と密着できる緩衝性があり、糸引きや剥がれ、アウトガスに起因する被膜などの見切り部の不良が極力阻止でき、見切り精度に優れたマスク治具を提供する。
【解決手段】成形品の表面を部分的に被覆処理する際に使用するマスク治具１であって、マスク治具本体１’の被覆処理部を露出させる窓４の内面縁部に、非被覆処理部内から窓４への空気の流通を遮断するクッション材３を設けてなり、前記クッション材３は付加反応型シリコーン系樹脂であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空装置内におけるマスク組み立て体と素子基板の対を移動するときに、搬送装置においてガイドローラ等とマスクフレームとが接触した時の衝撃によって蒸着マスクと素子基板との相対位置がずれることを防止する。
【解決手段】蒸着マスクを配置し、素子基板が載置されたマスクフレーム２１の両端部が搬送用ベルト２００によって支えられ、回転ローラ１００が回転することによって搬送用ベルト２００が移動するとともにマスクフレーム２１が移動する。搬送用ベルト２００が接触する回転ローラ１００には曲率が形成されており、この曲率に沿って搬送用ベルト２００も同様の曲率を有する。この構成においては、クラウン効果によって搬送用ベルト２００の蛇行が抑制されるので、搬送用ベルト２００に載置されたマスクフレーム２１、蒸着マスク、素子基板等は、横ずれを生ずることなく搬送することが出来る。したがって、蒸着マスクと素子基板との相対的な位置ずれを生ずることは無い。 （もっと読む）

【課題】ゲッター作用を有する蒸着材料中の不純物の基板及び堆積膜中への付着を防止すると共に、成膜チャンバー内を短時間で高真空に到達させ、真空排気後短時間で蒸着の成膜速度安定性を実現した蒸着方法、及び蒸着装置を提供する。
【解決手段】少なくとも蒸着源４ａ、４ｂに対向する面を備えたダミー部材７を、成膜チャンバー１の真空排気の過程で該成膜チャンバー１内に搬入し、該ダミー部材７に所定の厚さの蒸着膜を形成した後、実基板２への蒸着を行うことにより、ダミー部材７に堆積する蒸着膜に、蒸着源４ａ、４ｂから放出される不純物や成膜チャンバー１内に残留する水分が取り込まれ、実基板２に堆積する膜に混入する不純物が低減され、実基板２へ蒸着を行う際の圧力に達するまでの時間が短縮される。 （もっと読む）

【課題】高品質の金属化フィルムを低コストに製造し得る、小型且つ簡略な構造の金属化フィルムの製造装置を提供する。
【解決手段】真空槽２６内に、巻出し機３８にてロール４２から巻き出された誘電体フィルム１２を巻き掛ける、冷却手段４６を内蔵した第一の回転ドラム４４を設置した。また、真空槽２６内の第一の回転ドラム４４の周囲に、第一の分割マスク部形成手段５２と第一の端部マスク部形成手段５４と第一の金属蒸着電極形成手段５６とを周方向に並べて設置した。それにより、第一の回転ドラム４４に巻き掛けられた誘電体フィルム１２に対して、分割マスク部及び端部マスク部と、複数の分割電極部及び複数のヒューズ部からなる分割パターンを有する金属蒸着電極とを、順次形成し得るように構成した。 （もっと読む）

【課題】蒸発源から蒸発材料が無くなった場合も、真空を破らずに蒸発源の交換を可能にすることが出来る真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】複数の蒸発源と蒸気放出部を配管とバルブで接続し、バルブは蒸発源側配管側に形成された中空コーン部に超弾性β系チタン合金による弾性シール１００を配置した構成をシール部とし、弁体にはステンレスによるコーン状弁体１２０を用いる。超弾性β系チタン合金による弾性シールは、弾性係数が非常に小さく、コーン状弁体の形状に対してフレキシブルに変形することが出来、変形後も元の形に復帰するという性質を有するので、シールの信頼性を上げることが出来る。また、繰り返し変形を受けても硬化あるいは、塑性変形をしないという性質があるので、シール部として繰り返し使用することが出来る。したがって、バルブの信頼性の向上と蒸着工程のタクトタイムを向上することが出来る。 （もっと読む）

【課題】真空装置内に蒸発材料が堆積する量を抑制し、かつ、真空装置内のクリーン化のための時間を短縮する。
【解決手段】蒸着マスクの上に素子基板が配置され、蒸着マスクの下方に蒸発源４１、４２が配置された真空蒸着装置において、蒸発源４１、４２を覆って、シートシャッター６０を配置し、シートシャッター６０の開口部６１を通して素子基板に真空蒸着する。シートシャッター６０は素子基板に蒸着しないときは、蒸発源４１、４２の開口部を覆っている。したがって、蒸発源４１、４２からの蒸発物質は主にシートシャッター６０に堆積する。シートシャッター６０は、巻き取り機構６２に巻き取ることが出来、シートシャッター６０に蒸発材料が所定の量以上堆積したときに、シートシャッター６０を交換する。これによって、短時間でシートシャッター６０の交換が出来、かつ、真空装置内に蒸発材料が堆積する量を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクとのアライメント動作回数を少なくすることによって、基板とマスクへのダメージを低減したアライメント方法及びアライメント装置を提供する。
【解決手段】基板１１を基板保持手段１３に保持した後、該基板１１の重力方向の振動の振幅を検出し、該振幅が所定の値以下になった時点で、基板１１とマスク１２とにそれぞれ設けたアライメントマークの相対位置を撮像装置１５によって撮像し、位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】マスクと基板との隙間を介して侵入する蒸着物質によって生じる輪郭ボケや回り込み等のない、高品位な薄膜パターンを得ることができる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板２０の裏面の、マスクフレームの内側であって、マスクの開口領域１０の外側の領域を、基板の対向する２辺に沿った線状に、押圧体３０によって押圧することにより、マスク開口部の変形を招くことなく、基板とマスクとを略水平状態にして密着させることができる。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス素子の発光効率と発光寿命を改良する金属パターン形成用積層体とそれを用いた金属パターン形成方法及び該金属パターンを有する有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】光熱変換層３と金属転写層４とを有する金属パターン形成用積層体１に真空下で赤外レーザー８を照射し、該赤外レーザーを照射した領域９の金属転写層を蒸発させて、非接触の被転写体５の上に金属パターンを形成することを特徴とする金属パターン１０の形成方法。 （もっと読む）

【課題】蒸着ステージを移動しながら、多層膜の蒸着を行う場合に、蒸着マスクと基板の熱膨張の差によって、蒸着マスクと基板が位置ずれを起こすことを防止する。
【解決手段】
蒸着ステージにおいて蒸着マスクを介して基板に所定の蒸着を行い、その後蒸着マスク、基板および押さえ板３０の組を移動させ、他の蒸着ステージにおいて、蒸着マスクを介して基板に他の蒸着を行う。蒸着マスク、基板、押さえ板３０の組が移動している間、冷却ローラ６０を押さえ板３０に接触させ、蒸着マスクを介して基板に他の蒸着を行っている間は、冷却ローラ６０は押さえ板３０からは離しておく。冷却ローラ６０は金属で形成され、表面に高分子材料がコーティングされており、内部を冷却媒体が流れることが出来る。基板および蒸着マスクの温度が上がって熱膨張することを回避することが出来るので、有機ＥＬ表示装置の製作裕度を向上させることが出来る。 （もっと読む）

【課題】張力をかけて枠体に貼り付けた際に、各開口の長手方向の長さを長くして、テープ部のよれを抑制でき、開口幅のバラツキを小さく抑制できる擬似スリットタイプのメタルマスクを提供する。
【解決手段】スリット状の開口１１に対して該開口の長手方向を直交する方向に跨ぐ複数の繋ぎ部１２を所定のピッチＰ１で設けた開口形状を有する開口配列部を、複数、前記長手方向に直交する方向に、所定の決められたピッチで配列しており、各開口配列部の各繋ぎ部は、いずれも、１開口配列部おきに、開口配列部の長手方向に直交する方向の直線上に揃えて設けられ、且つ、全開口配列部の全繋ぎ部が配列される、開口配列部の長手方向に直交する方向の直線群は、前記所定の決められたピッチの半分のピッチである。 （もっと読む）

【課題】 切刃における被覆層のチッピングや剥離を抑制できるとともに耐溶着性を向上した切削工具を提供する。
【解決手段】 棒状で、外周に切刃２と、切刃２よりも内側に凹んだ位置に形成される切屑排出溝３とを備えた基体４の表面に１層以上の被覆層５を被覆してなり、切刃２の表面には基体４の全周にわたって被覆される第１被膜層５ａに加えて基体４側に別途第２被覆層４ｂが形成されているツイストドリル１等の回転工具である。 （もっと読む）

【課題】薄膜材料の使用効率が高く、大型基板に所定の形状の薄膜を形成できる技術を提供する。
【解決手段】
材料ガス放出装置３０は、内部に材料ガスが配置される中空の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄと、載置面１３と対面する位置に配置され、蒸気タンク３２ｈ、３２ｄにそれぞれ接続された複数の放出装置本体３１₁、３１₂、３１₃と、各放出装置本体３１₁、３１₂、３１₃を、載置面１３に平行で薄膜形成方向５と直角な成分を有する方向にそれぞれ個別に移動する位置調整装置とを有している。材料ガス放出装置３０と処理台１２を一の薄膜形成方向５に沿って相対移動させながら、各放出装置本体３１₁、３１₂、３１₃から材料ガスを真空槽１１内に放出させて載置面１３上の成膜対象物２０に到達させ、直線状の薄膜を複数本同時に形成する。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の回収手段を備えた蒸着装置において、蒸着材料の回収効率を向上し、生産性の改善を図る。
【解決手段】材料容器９から噴出部５までの第１流路１１と、材料容器９から材料回収容器１０までの第２流路１２に、検出口６，７を設け、該検出口６，７から噴出する蒸着材料の噴出状態を検知する検出器３，４を配置し、材料容器９から検出口６までのコンダクタンスと、材料容器９から検出口７までのコンダクタンスを等しく構成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板等の破損を低減し、稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置及び製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、基板を載置する蒸着ステージとマスクを相対的に移動させ、前記基板と前記マスクを密着させ、真空中雰囲気において前記基板に蒸着材料を蒸着する有機ＥＬデバイス製造装置または製造方法において、前記密着は、前記駆動源の負荷を状態量として監視し、前記状態量の変化に基づいて前記移動を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スパッタリング法により、不連続被膜を形成する。
【解決手段】真空槽内で基板とターゲットとを対向させ、スパッタリング法により、前記基板上に成膜処理をする成膜方法であって、前記ターゲットの表面温度が常温よりも所定温度以上になるように制御し、前記ターゲットの表面温度を所定温度としない場合に比べ、高抵抗な被膜を前記基板上に成膜する。 （もっと読む）

【課題】 ロール状の基板にパターニングしながら金属層を継続してマスク蒸着する。
【解決手段】 本発明のある態様において、基板１０を長手方向に送るための基板給送機構１２０と、基板１０の一方の面に向かう位置に配置される蒸着源１３０と、メタルマスク１２を長手方向に送るためのマスク移動機構１４０とを備える薄膜を形成する真空蒸着装置１００が提供される。マスク移動機構１４０は、帯状のメタルマスク１２の展開された部分を、基板１０と蒸着源１３０との間の空間を仕切るように渡して基板１から離間した状態を保って送る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、輝度を低下させずに高精細化を図ることを目的とする。
【解決手段】複数の画素電極２４を有する回路基板１０に、複数の貫通穴４０を有する蒸着マスク３８を使用した蒸着によって、有機材料からなる複数の発光層３０を形成する。蒸着マスク３８は、回路基板１０に対向するように配置される第１面４２と、第１面４２とは反対側の第２面４４と、を有する。第１面４２及び第２面４４を貫通するように複数の貫通穴４０が形成されている。隣同士の貫通穴４０に連通するように第１面４２に凹部５２が形成され、凹部５２に対向するようにリブ５４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】蒸発材料の指向性を弱めるとともに、絞り板の絞り口が塞がれることなく、安定して均一な膜厚の蒸着膜を生成し得る真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸発容器と、この蒸発容器で得られた蒸発材料を拡散し得る拡散容器と、この拡散容器に設けられて放出口３３から蒸発材料を基板に向かって放出する放出用ノズル３２と、この基板が内部に配置されて所定の真空度下で蒸着を行う蒸着用容器とを具備する真空蒸着装置であって、放出用ノズル３２の内径を拡大することで形成されるとともに放出口３３に対向する内壁段差３４を有し、この内壁段差３４に配置されて放出用ノズル３２の内径よりも小径のオリフィス３７が形成されたオリフィス板３６と、このオリフィス板３６を上記内壁段差３４とで挟むように配置されたＣ形止め輪３８とを具備したものである。 （もっと読む）

【課題】非破壊で圧電薄膜の特性評価を可能にする圧電薄膜付き基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板５上に下部電極層６が形成され、下部電極層６上にペロブスカイト構造の圧電薄膜２が形成された圧電薄膜付き基板１において、下部電極層６上に形成される圧電薄膜２が下部電極層６よりも狭い面積で形成されることにより、圧電薄膜２を除去することなく下部電極層６の一部が圧電薄膜２から露出している下部電極露出部３が下部電極層６に設けられている。 （もっと読む）