【課題】装置を拡大することなく、かつ、アノードの簡便なクリーニングのみで、安定したプラズマ放電を実現し、安定した膜質お薄膜を成膜することのできる成膜装置および成膜方法、並びに、これらによって成膜した圧電膜を用いる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】真空容器と、ターゲットホルダと、基板ホルダと、前記ターゲットホルダと前記基板ホルダとの間に、前記基板ホルダの前記ターゲットホルダ側の外周を取り囲むように設けられたアノードとを有し、前記アノードは、複数の貫通孔を持つ板状部材を１枚または複数枚重ねたものであり、前記真空容器内に前記ガスを導入し、前記ターゲットホルダと基板ホルダとの間に、電圧をかけてプラズマを生成し、前記成膜用基板上に前記成膜材料の薄膜を形成することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性の高い、菱面体晶構造を有するペロブスカイト酸化物からなる圧電材料を提供する。
【解決手段】菱面体晶構造を有する、Ｂｉ（Ｍｇ_１／２Ｓｉ_１／２）Ｏ_３で表されるペロブスカイト酸化物からなる圧電材料。互いに異なる結晶相を持つ二つのペロブスカイト酸化物のＢｉ（Ｍｇ_１／２Ｓｉ_１／２）Ｏ_３とＡ（２）Ｍ（２）Ｏ_３とを固溶させて得られた、下記一般式（３）で表される酸化物からなる圧電材料。


（式中、Ａ（２）およびＭ（２）は、それぞれ１種類以上の元素が混晶されている元素を表す。Ｘは０＜Ｘ＜１を表す。） （もっと読む）

本発明は、基板と、対応する電極構造物とを有する電子音響部品（１）、特に、表面音波またはバルク音波で動作する部品に誘電体層（３）を形成する製造方法に関し、多重部品システムとしてのホウケイ酸ガラスなどの蒸着ガラス材料や、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウムなどの単部品システムからなる、蒸着材料のグループから選ばれる少なくとも一つの蒸着材料が、熱蒸着により析出するので、上記誘電体層（３）が、少なくとも部分的に形成される。本発明は、さらに、電子音響部品に関する。
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【課題】Ｐｔ膜の上に、高い生産性を有する製造方法により、結晶性のよいＢｉＦｅＯ₃膜を形成する。
【解決手段】例えば単結晶シリコンからなり、主表面が清浄化された基板１０１を用意する。次いで、基板１０１の表面に熱酸化法により酸化シリコン層１０２を形成し、この上に白金（Ｐｔ）層１０３を形成する。Ｐｔ層１０３は、例えば層厚２００ｎｍ程度に形成する。次に、Ｂｉ_1.1ＦｅＯ₃ターゲットを用いたＥＣＲプラズマスパッタ法により、基板温度を４２０〜４６０℃の範囲とし、酸素分圧を４×１０^-3Ｐａ以上とした条件でＢｉＦｅＯ₃を堆積することで、Ｐｔ層１０３の上に（００１）方向へ配向した結晶状態のＢｉＦｅＯ₃結晶膜１０４を形成する。 （もっと読む）

本発明は、基材上に蒸着されたメラムの、高湿度に対する耐性が求められる用途（レトルト処理もしくは金属堆積を含むさらなる処理等）または太陽電池やディスプレイ等の用途における使用に関する。バリア層のメラム対メラミン比（ｗ／ｗ）は、３：１〜５０：１の範囲にある。レトルト耐性を有する積層体は、２枚のプラスチックフィルムとその間に結晶性メラム層とを有し、積層体の、９０°引張試験で３０ｍｍ／分で測定されたラミネート強度は約２Ｎ／インチ以上である。 （もっと読む）

【課題】凹凸基板にスパッタバッファを介して結晶性の良いＧａＮを得る。
【解決手段】エッチングによりサファイア基板に凹部を設け、且つその凹部はサファイア基板の主面とほとんど平行となっており、当該エッチングにより形成された凹部の底面に影響されたエピタキシャル成長が生ずる。スパッタ装置の対応可能温度は５００℃程度であるため、加熱処理を行うことが少なかった。荒れた凹部の底面が表面の半分以上の基板を用いる場合は、当該凹部底面に影響されたエピタキシャル成長が生じ、良好な単結晶が形成されなかった。そこで水素雰囲気下、１０００℃以上１５００℃以下の加熱処理を行うことで、当該凹部の底面の原子配列の乱れを正すことができ、スパッタバッファを介して結晶性の良いIII族窒化物系化合物半導体が得られることを見出した。 （もっと読む）

【課題】より高いバリア性を有するガスバリアフィルムを提供する。
【解決手段】少なくとも１層の有機層と、少なくとも１層の無機層を有し、前記有機層は、環状炭素骨格を有する３官能以上の（メタ）アクリレートを含む重合性組成物を硬化させてなることを特徴とする、バリア性積層体。 （もっと読む）

【課題】ゲッターとしての有用性を有する、対応する層状構造も有する、真空筐体を提供する。
【解決手段】内側表面及び外側表面を有する壁により輪郭が示される真空筐体であって、内側表面は真空と接触し、外側表面は外気と接触し、好ましくないガス状混入物のためのゲッターの内部における存在によって特徴づけられ、基板（内部表面と一体になっているか、又はなっていない）を含み、その上に、（ａ）白金族金属及びその酸化物からなる群から選択される材料の少なくとも１層、及び（β）少なくとも１層の多孔質親水性層を含む薄層積層板の真空蒸着によって蒸着されていることを特徴とする、真空筐体。 （もっと読む）

【課題】透明蒸着用ポリエステルフイルムは、薄い蒸着膜厚さで高いガスバリア性能及び防湿性能を安定して付与し格段に向上させる透明蒸着用ポリエステルフイルム及びその透明蒸着ポリエステルフイルムを提供。
【解決手段】透明蒸着用ポリエステルフイルムは、少なくともＡ層とＢ層の２層を有してなる２軸配向ポリエステルフイルムであり、Ａ層とＢ層がそれぞれ最表層に位置し、かつＡ層側に金属または金属酸化物を用いてなる透明蒸着層が積層される態様で用いられるポリエステルフィルムであって、Ａ層表面（表面Ａ）の中心線面粗さ（ＳＲａ）が１０ｎｍ以下、表面Ａの中心線面粗さＳＲａが表面Ｂの中心線面粗さＳＲａよりも小さく、かつ表面Ａの山数ＳＰｃが表面Ｂの山数ＳＰｃよりも小さい、厚さ５〜２５μｍの透明蒸着用ポリエステルフイルムである。 （もっと読む）

【課題】蒸着膜を形成させても防湿性を保持する脂肪族ポリエステル系フィルム、及びこれに蒸着膜を形成させた防湿性脂肪族ポリエステル系フィルムを提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも３層からなり、２つの最外層のうち少なくとも１層が無機系粒子含有層であって、この無機系粒子含有層の厚みをａ（μｍ）、無機系粒子の最大粒径をｂ（μｍ）、無機系粒子の平均粒径をｃ（μｍ）としたとき、下記の式（１）〜式（４）の全てを同時に満たし、静摩擦係数を０．８以下とする。
１≦ａ≦１５ （１）、０．５≦ｂ≦２．５ａ （２）、０．１≦ｃ≦５ （３）、ｃ≦ａ （４） （もっと読む）

【課題】通常ペロブスカイト型構造をとりにくい、または結晶性が悪化するＢｉ系ペロブスカイト型酸化物を含み、強誘電性能（圧電性能）に優れたペロブスカイト型酸化物膜を提供する。
【解決手段】本発明のペロブスカイト型酸化物膜は、下記一般式（Ｐ１）で表されるペロブスカイト型酸化物を含むことを特徴とするものである。
（Ａ_１−ｘ，Ｂ_ｘ）（Ｃ_ｙ，Ｄ_１−ｙ）Ｏ_３ ・・・（Ｐ１）
（式中、０＜ｘ＜１−ｙ、０＜ｙ＜１．０、ＡはＢｉを主成分とするＡサイト元素、ＢはＤとペロブスカイト構造を取る、Ａとは異なる少なくとも１種のＡサイト元素、ＣはＡとペロブスカイト構造をとる元素を主成分とするＢサイト元素、ＤはＡとペロブスカイト構造を取り得ない、又は取りにくい少なくとも１種のＢサイト元素。Ｂ〜Ｄは各々平均イオン価数３価の金属元素であるが，ペロブスカイト構造を取り得る範囲内でずれてもよい。） （もっと読む）

【課題】長尺な基板に、連続的な膜の形成を生産性を維持しつつ、異常放電を抑制することができる成膜装置および成膜方法を提供する。
【解決手段】本発明の成膜装置は、成膜室内で長尺の基板を所定の搬送方向に搬送しつつ、スパッタリングを行い基板の表面に所定の膜を形成する。成膜室内を所定の真空度にする真空排気部と、搬送方向に沿って配置された複数の金属ターゲットと、各金属ターゲットに負の電圧を印加する第１の電源部と、搬送方向の最上流側に配置された金属ターゲットに正の電圧を印加する第２の電源部と、基板の表面と各金属ターゲットとの間にスパッタガスを供給するスパッタガス供給部と、成膜時に、各金属ターゲットに負の電圧を所定の時間間隔で所定時間印加させるとともに、最上流側に配置された金属ターゲットに負の電圧が印加されていないとき、正の電圧を印加させる制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】電子伝導度が低く、全固体型リチウム二次電池の固体電解質に用いた場合に、電池の自己放電を抑制することができるLi₂S‐P₂S₅系固体電解質、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第一のLi₂S‐P₂S₅系固体電解質は、気相法により形成されており、そして、次の式を満足する。式…Li₂S‐P₂S_5-αO_βN_γ（α＝β＋(3γ/2)、但しβ又はγは0を含む）。また、第二のLi₂S‐P₂S₅系固体電解質は、気相法により形成されており、そして、化学量論組成より硫黄を0モル％超10モル％以下の範囲で過剰に含有しており、次の式を満足する。式…Li₂S‐P₂S₅‐S。これら第一及び第二のLi₂S‐P₂S₅系固体電解質は、電子伝導度が1×10^-10S/cm以下である。 （もっと読む）

【課題】高温での時定数が向上されるよう材料設計された、ウルツ鉱型の結晶構造を有する窒化アルミニウム圧電体を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電体の製造方法は、ウルツ鉱型の結晶構造を有する窒化アルミニウムからなる圧電体の製造方法において、酸素の含有量が０．００１％以上、０．５％以下であり、アルゴンおよび窒素の合計含有量が９９．５％以上、９９．９９９％以下である混合気体の存在下において、アルミニウムと混合気体中の窒素、酸素とを反応させつつ基板上に形成させ、さらに基板上に形成した窒化アルミニウムを５００℃以上、８５０℃以下の温度にて加熱する方法である。 （もっと読む）

【課題】特性の向上した多孔性シリカガラスフィルムを提供する化学気相蒸着方法を提供する。
【解決手段】真空チャンバーに、オルガノシランおよびオルガノシロキサンからなる群から選択される少なくとも１つの前駆体、および前駆体とは区別されるポロゲンを含めたガス状試薬を導入すること（ここに、ポロゲンは非−分岐構造、および２と等しい、またはそれ未満の不飽和の度合いを有するＣ₄〜Ｃ₁₄環状炭化水素化合物である）；エネルギーを真空チャンバー中のガス状試薬に適用してガス状試薬の反応を誘導し、基材上に予備的フィルムを蒸着させること（ここに、予備的フィルムはポロゲンを含有する）；および不安定有機物質の実質的に全てを予備的フィルムから除去して細孔および２．６未満の誘電定数を有する多孔性フィルムを供することを含む、多孔性有機シリカガラスフィルムを製造するための化学気相蒸着方法。 （もっと読む）

【課題】
シート幅方向で蒸発した金属蒸気の量に差がある場合でも、蒸発源の幅を広げるなどの対策をとることなくシート幅方向の端部の膜厚および透過率が中央部と同等な金属酸化物薄膜付きシートを製造する方法および装置を提供する。
【解決手段】
減圧雰囲気下において、シート案内面に接触しながら搬送されているシート上に、金属材料を溶融させた蒸発源から前記シートに向けて金属蒸気を飛来させると同時に、前記金属蒸気内に酸素を導入し、前記シート上に連続的に金属酸化物薄膜を形成する金属酸化物薄膜付きシートの製造方法であって、前記酸素を、シート幅方向において異なる高さの複数箇所から前記金属蒸気に導入することを特徴とする金属酸化物薄膜付きシートの製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】ＬａＢ₆薄膜をスパッタリングで成膜するに際し、得られるＬａＢ₆薄膜の広域ドメイン方向の単結晶性を改善する。
【解決手段】ターゲット１１には、高周波電源１９３からの低周波成分をカットした高周波成分電力及び直流電力を印加し、基板ホルダー１３には、該高周波成分電力及び直流電力の印加中に、他の直流電源２２１からの直流電力を印加する。 （もっと読む）

【課題】 ガスバリア性、特には高湿度下での水蒸気バリア性に優れ、更には断熱性能にも優れた多層フィルム及び真空断熱構造体を提供すること。
【解決手段】多段蒸着により形成された蒸着基材フィルム（Ａ）／ガスバリア性フィルム（Ｂ）の層構成を有する多層フィルム、及び該多層フィルムと断熱性材料を含み、該多層フィルムが、断熱性材料を密封包装している真空断熱構造体。 （もっと読む）

【課題】多数の圧電素子を備えた圧電素子構造体において、圧電体膜の分極方向が下部電極層側から上部電極層側に向かう向きである、実用化可能な圧電素子構造体を提供する。
【解決手段】基板１１上に、下部電極層２２、圧電体膜２３および上部電極層２４がこの順に積層されてなる多数の圧電素子２を備えた圧電素子構造体１を製造する圧電素子構造体の製造方法において、圧電体膜２３をスパッタ法により成膜し、成膜により自発分極が下部電極層２２から上部電極層２４に向かう向きとなっている圧電体膜２３に対し、圧電体膜２３の抗電界以上の大きさの、上部電極層２４から下部電極層２２に向かう電界をパルス印加する。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成される圧電体膜であって、結晶配向性が高く、かつ表面側から基板側に向かう向きの自発分極を有する圧電体膜を提供する。
【解決手段】基板Ｂ上に、キュリー点以上の成膜温度でスパッタ法により圧電体膜５３を成膜し、該成膜後、圧電体膜５３の温度がキュリー点以下に低下する前に、該圧電体膜５３に対して該圧電体膜５３の表面側から基板Ｂ側に向かう電界Ｅ₁を生じさせ、分極処理を開始し、電界Ｅ₁を生じさせた状態で、圧電体膜５３の温度をキュリー点以下に下げる。 （もっと読む）