【課題】生産能率を落とさずに、基材と蒸着層の密着がよく、またガスバリア性も良好なガスバリアフィルムおよびその製造方法を提供することにある。
【解決手段】プラスチック材料からなる基材の少なくとも一方の面に、有機珪素化合物を気化させたガスを用いたプラズマを利用したリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）処理層と、該処理層の上に設けられた厚さ５〜３００ｎｍの酸化珪素を主成分とする無機化合物からなる蒸着層とを備えている。ＲＩＥ処理が、プラズマの自己バイアス値を２００Ｖ以上１２００Ｖ以下、Ｅｐｄ＝プラズマ密度×処理時間で定義されるＥｐｄ値が１００Ｗ・ｓｅｃ／ｍ²以上１００００Ｗ・ｓｅｃ／ｍ²以下である低温プラズマによる処理であり、ＲＩＥ処理を行った後の基材表面を、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）にて測定した際に検出されるＳｉの元素が０．５〜７ａｔｏｍ．％の範囲である。 （もっと読む）

【課題】装置構成を大規模にすることなく、タクトタイムを短縮可能な有機ＥＬ製造技術を提供する。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ製造装置１は、第１〜第４の搬送室２ａ〜２ｄ間を真空中で基板７を順次搬送するように構成された搬送ユニット２と、搬送ユニット２の各搬送室２ａ〜２ｄに接続された第１〜第８の成膜ユニット１０〜８０とを備え、各成膜ユニット１０〜８０は、マスク付きパレット９を収容するマスクストック室１１〜８１と、基板７とマスク付きパレット９のマスク８とを位置合わせする位置合わせ室１５〜８５と、マスク付きパレット９に装着された基板７上に成膜を行う成膜室１３〜８３とを有する。マスクストック室１４〜８４と成膜室１３〜８３とが同一の成膜搬送ラインＭ上に配置される一方で、アライメント室１５〜８５が、成膜搬送ラインＭから分岐した退避位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】透明性が高く、高温高湿度の環境下でガスバリア性能を保持する透明バリアフィルムを提供すること。
【解決手段】基材フィルム１の少なくとも一方の面に酸化珪素のバリア膜２を設けた透明バリアフィルムであって、前記酸化珪素のバリア膜２に対してＸ線光電子分光測定（測定条件：Ｘ線源ＭｇＫα、Ｘ線出力１００Ｗ）を行った場合、Ｓｉ２ｐ波形の解析から求めたＳｉＯ／ＳｉＯ_２比が０．１０以上０．２４以下の範囲内であることを特徴とする透明ガスバリアフィルム。 （もっと読む）

【課題】よりバリア性の高いバリア性フィルム基板を提供する。
【解決手段】支持体上に有機領域と無機領域とを有するバリア性フィルム基板を、支持体を搬送しながら製造する方法であって、有機領域を設ける工程と、無機領域を設ける工程と、支持体上の一部または全部に磁性層を設ける工程とを含み、かつ、支持体を搬送する工程の全部または一部を、前記磁性層と反対の磁極を示す磁性部分３１を有する搬送体を用いて、磁性層の磁力と磁性部分の磁力とが引き合うようにしながら行うことを特徴とする、製造方法。 （もっと読む）

【課題】液状物質を収納する液体紙容器を形成するために用いられる積層部材であって、アルミニウム層やアルミニウム箔などを積層しないでも高いバリア性を示し、かつそのガスバリア性が劣化し難いようにした液体紙容器形成用積層部材の提供を目的とする。
【解決手段】紙基材の一方の面には熱可塑性樹脂層が、他方の面にはバリア性プラスチックフィルムが積層され、さらに最内層となる側にはシーラント層が積層されている積層部材であって、前記バリア性プラスチックフィルムは、プラスチックフィルム基材上のプラズマ処理面を介して酸化アルミニウムの蒸着薄膜層と、Ｓｉ（ＯＲ¹）₄およびＲ²Ｓｉ（ＯＲ³）₃（ＯＲ¹、ＯＲ³は加水分解性基、Ｒ²は有機官能基）で表されるケイ素化合物あるいはその加水分解物と、水酸基を有する水溶性高分子とが混合されているコーティング溶液からなる薄膜の加熱乾燥被膜であるガスバリア性被膜層とがこの順序で積層されている。 （もっと読む）

【解決手段】密度１．０〜２．０ｇ／ｃｍ³、三点曲げ強度５０ｇ／ｍｍ²以上、かつＢＥＴ比表面積０．１〜２０ｍ²／ｇであるフィルム蒸着用酸化珪素焼結体。
【効果】本発明のフィルム蒸着用酸化珪素焼結体をフィルム蒸着材料として用いることにより、従来、問題となっているスプラッシュによるフィルム上のピンホール等欠陥の発生が安定して防止でき、従って、ガスバリア性に優れ、かつ信頼性に優れた包装材料を安定的に製造することができる。また、本発明のフィルム蒸着用酸化珪素焼結体の製造方法も、特殊な技術を必要とせず、量産化が可能であり、低コストの酸化珪素焼結体を市場に供給できるものである。 （もっと読む）

【課題】密着性に優れた銅合金複合膜の成膜方法を提供する。
【解決手段】Ｃａ：０．０６〜１４モル％を含有し、残部がＣｕおよび不可避不純物からなる成分組成を有するＣａ含有銅合金ターゲットを用い、酸素：１〜２０体積％を含む不活性ガス雰囲気中でスパッタすることによりＣａ：０．０１〜２モル％、酸素：１〜２０モル％を含有し、残部がＣｕおよび不可避不純物からなる成分組成を有する酸素−Ｃａ含有銅合金下地膜を成膜し、引き続いて酸素の供給を停止してスパッタ雰囲気を不活性ガス雰囲気とし、この不活性ガス雰囲気中でスパッタすることによりＣａ：０．０１〜２モル％を含有し、残部がＣｕおよび不可避不純物からなる成分組成を有するＣａ含有銅合金導電膜を成膜することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】有機層と無機層の密着性が十分に高くて、バリア性に優れている有機無機積層型の積層体を簡便な方法で提供する。
【解決手段】少なくとも１層の無機層と少なくとも１層の有機層を含む積層体の製造法であって、無機層の表面に、珪素原子またはチタン原子を含む有機カップリング剤を気相分子堆積法によって吸着させる工程と、珪素原子またはチタン原子を含む有機カップリング剤を吸着させた無機層上に有機層を設置する工程を含む積層体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 希土類安定化ジルコニアよりも熱伝導率が低い遮熱コーティング材料を提供する。
【解決手段】 組成式（１）：
Ｌｎ_３ＮｂＯ_７
（ただし、ＬｎはＳｃ、Ｙ及びランタノイド元素からなる群より選ばれる１種類又は２種類以上の元素を表す）
で表されるフルオライト構造を有する立方晶の化合物を主体として含む遮熱コーティング材料。 （もっと読む）

【課題】優れた配向性および表面平坦性を確保しつつ、成膜速度を上昇させることが可能なＣｅＯ_２薄膜の製造方法、ＣｅＯ_２薄膜およびＣｅＯ_２薄膜の製造装置を提供する。
【解決手段】ＣｅＯ_２薄膜の製造方法は、配向性金属基板を準備する基板準備工程と、配向性金属基板上にＣｅＯ_２膜を形成する成膜工程とを備えている。そして、成膜工程におけるＣｅＯ_２膜の成膜速度は３０ｎｍ／分以上であり、成膜工程における、配向性金属基板の温度は７５０℃以上１１００℃以下である。 （もっと読む）

【課題】所定の有機膜と無機膜とを有する機能性フィルムの製造において、目的とする性能を有する機能性フィルムを安定して製造することを可能にする。
【解決手段】基板の表面にポリマーを主成分とする有機膜を成膜し、その後、真空成膜法によって無機膜を成膜し、かつ、前記無機膜の成膜を終了するまでは、真空中において前記有機膜の表面に接触することなく、前記有機膜を成膜した基板の処理を行なうことにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】所定の有機膜と無機膜とを有する機能性フィルムの製造において、目的とする性能を有する機能性フィルムを安定して製造することを可能にする。
【解決手段】基板の表面に有機膜を成膜し、その後、真空成膜法によって無機膜を成膜し、かつ、真空装置内で有機膜に接触する部材は、機能発現部分以外に接触する構成とすることにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】バリア性能が向上したバリア性積層体を提供する。
【解決手段】少なくとも１層の有機層と、少なくとも１層の無機層とを有し、前記有機層は、重合性化合物と、１分子中に２以上の重合開始能を有する部位を有する光重合開始剤を含む組成物を光照射して硬化させてなることを特徴とするバリア性積層体。 （もっと読む）

本発明は、プラズマ処理により膜の表面を改質するための方法に関し、前記方法は、前記膜に撥水性および不浸透特性を付与しながら、その蒸気浸透性および弾性特性を維持する。この方法は、とりわけ、炭化水素ガス、フルオロカーボンガス、これらの混合物、フルオロカーボン液体、フルオロカーボン固体から選択される前駆体化合物であって、Ｆ／Ｃ比が２未満であるように選択される前駆体化合物のプラズマで膜を処理するステップと、続いて、前のステップからの基材の同じ表面を、Ｆ／Ｃ比が少なくとも２であるように選択されるフルオロカーボンガスのプラズマで処理するステップとを含む。本発明はまた、得られる膜に関する。 （もっと読む）

【課題】高耐久性および低摩擦係数の二つの特性を同時に満足させることのできるＤＬＣ系の摺動皮膜の提供。
【解決手段】摺動部材の摺動側表面にコーティングされた皮膜であって、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ。以下同様。）から成る下層膜およびこの下層膜の上に配置されたDLCからなる上層膜との少なくとも２層の膜から構成され、下層膜は、硬度が２０ＧＰａ以上４５ＧＰａ以下、ヤング率が２５０ＧＰａ以上４５０ＧＰａ以下、そして膜厚が０．２μｍ以上４．０μｍ以下であり、上層膜は、硬度が５ＧＰａ以上２０ＧＰａ未満、ヤング率が６０ＧＰａ以上２４０ＧＰａ以下、そして膜厚が１．０μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする摺動部品用ダイヤモンドライクカーボン皮膜。 （もっと読む）

【課題】アルミニウムまたはアルミニウム合金などの非鉄材料からなる母材とダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）皮膜などの硬質皮膜との密着性が良好な硬質皮膜被覆部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムまたはアルミニウム合金などの非鉄材料からなる母材の表面に窒素含有クロム皮膜及び炭素含有クロム皮膜を順次に形成し、この炭素含有クロム皮膜上に硬質皮膜としてＤＬＣ皮膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 めっき用導電性基材上に形成されためっきの剥離又は転写が円滑にでき、しかも、特性に優れる導体層パターンを作製できるめっき用導電性基材を提供するものである。
【解決手段】 導電性基材の表面に、絶縁層が形成されており、その絶縁層の全部又は一部が二層以上からなり、その絶縁層に開口方向に向かって幅広なめっきを形成するための凹部が形成されているめっき用導電性基材。上記絶縁層の第１層は、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）又は無機材料からなることが好ましい。その絶縁層の全部又は一部が二層以上から、絶縁層のピンホールなどの欠陥が補われ、不要なめっきが起こらない。 （もっと読む）

【課題】圧延膜において、ピンホール部が効果的に封孔された、水素透過効率が高い、ピンホールのない水素分離膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】水素分離膜を製造する製造方法であって、第１金属を圧延して膜１を形成する膜形成工程と、前記膜１に生じたピンホール部２に有機物を主成分とする液状又は顔料を主成分とする粉末状の塗布剤３を塗布する塗布工程と、ピンホール部２に前記塗布剤３を塗布した前記膜１に、第２金属４を蒸着する蒸着工程と、を備えることを特徴とする、水素分離膜製造方法。 （もっと読む）

【課題】水など種々の液体による濡れに対して比較的高抵抗性であるセラミック材料、かかる材料から作製された物品、かかる物品及び材料を製造する方法、並びにこれらの材料から形成したコーティングを用いて物品を保護する方法が提供される。
【解決手段】１実施形態は耐濡れ性物品２００である。物品２００は表面連結細孔含量約５体積％以下であるコーティング２０２を含む。コーティング２０２は、一次酸化物と二次酸化物を含有する材料を含有し、（ｉ）一次酸化物がセリウム、プラセオジム、テルビウム及びハフニウムからなる群から選択されるカチオンを含み、（ｉｉ）二次酸化物が一次酸化物より低い表面エネルギーを有し、希土類元素、イットリウム及びスカンジウムからなる群から選択されるカチオンを含む。 （もっと読む）

【課題】１回の工程で２種以上の蒸着材料を対象物に蒸着させることができ、蒸着対象物側と表面側とで蒸着材料の濃度の傾斜特性を有する蒸着膜を形成することができる蒸発源の形成方法、光学部材の製造方法及び光学部材を提供する。
【解決手段】異なる２種以上の蒸着材料を積層してなる蒸発源の一方の側から加熱し、対象物に蒸着させ蒸着膜を形成する蒸着膜の形成方法、前記対象物が光学部材であり、該光学部材上に前記方法により蒸着膜を形成する光学部材の製造方法、この方法によって製造されてなる光学部材である。 （もっと読む）