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Fターム[4K029BC08]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被膜の性質 (4,709) | 光学的性質 (1,136) | 透光性、透明性 (218)

Fターム[4K029BC08]に分類される特許

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【課題】優れた耐摩傷性を備えたトップコート層が、アンダーコート層を介して、樹脂基材の表面に、十分に高い密着性をもって積層形成されてなる樹脂製品を提供する。
【解決手段】ポリカーボネート製の樹脂基材12の表面に積層されたアンダーコート層14上に、無機珪素化合物のスパッタ層からなる基層部18と、無機珪素化合物のプラズマCVD層からなる表層部20との複層構造を有するトップコート層16を更に積層形成して、構成した。 (もっと読む)


【課題】膜特性の均一性に優れた透明導電膜作製用のZnO焼結体の製造方法を提供する。
【解決手段】ZnO焼結体は、ZnO粉末とB粉末とを混合、焼成及び粉砕してZn13粉末を得る工程と、平均粒径が0.5〜1μmのZnO粉末と平均粒径が0.2〜0.5μmのZn13粉末とを混合、成形、焼成してZnO焼結体を得る工程とを含む方法により製造される。 (もっと読む)


【課題】本発明は、高輝度金属調外観と光透過性を両立し、尚且つ加飾工程時の環境負荷低減を可能とする成型用積層体の提供を目的とする。さらには、安価で簡易的に種種の色相を持った金属調外観の付与を可能とする成型用積層体の提供を目的とする。
【解決手段】熱可塑性基材(A)と、厚さ200〜800Åの光透過性金属層(B)と、粘着剤層(C)とを含む成型用積層体であって、380〜780nmの波長領域(可視光域)における該積層体の最大反射率が40%以上、最大透過率が2〜30%であることを特徴とする成型用積層体。 (もっと読む)


【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適なスパッタリングターゲット及びその製造方法、並びに該ターゲットを用いた薄膜、該薄膜を備える薄膜シート、積層シートを提供する。
【解決手段】本発明のスパッタリングターゲットは、酸化亜鉛(ZnO)と一酸化ケイ素(SiO)とを主成分とする焼結体からなり、焼結体の相対密度が95%以上であり、酸化亜鉛(ZnO)と一酸化ケイ素(SiO)のモル比が40:60〜95:5であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適なスパッタリングターゲット及びその製造方法、並びに該ターゲットを用いた薄膜、該薄膜を備える薄膜シート、積層シートを提供する。
【解決手段】本発明のスパッタリングターゲットは、酸化亜鉛(ZnO)と二酸化ケイ素(SiO2)とを主成分とする焼結体からなり、焼結体の相対密度が95%以上であり、酸化亜鉛(ZnO)と二酸化ケイ素(SiO2)のモル比が40:60〜95:5であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】経年変化(高温・多湿環境に曝された場合を含む)により濁度および機械強度が低下しない蒸着フィルムおよび該蒸着フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】基材フィルムと、該基材フィルムの表面に設けられたアンダーコート層と、該アンダーコート層の表面に設けられたSiOx蒸着層とを含む蒸着フィルムであって、該蒸着フィルムは、濁度が4%以下であり、かつ、破断強度が35〜40(N/15mm)以下であり、温度120℃、湿度100%RH、2気圧、24時間という条件で実施するプレッシャー・クッカー・テスト後の上記蒸着フィルムは、濁度が15%以下であり、かつ、破断強度が27(N/15mm)以上である蒸着フィルムおよび該蒸着フィルムの製造方法。 (もっと読む)


【課題】 積層数が少なくてもガスバリア性に優れ、かつ、高い透明性を有する透明ガスバリアフィルムおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 樹脂基板上にガスバリア性を有する透明ガスバリア層が形成された透明ガスバリアフィルムであって、前記透明ガスバリア層が、第1の無機層と第2の無機層とを積層した積層体であり、前記第1の無機層が、金属および半金属から選択される少なくとも1種と、窒素とを含む層であり、前記第2の無機層が、炭化金属および炭化半金属から選択される少なくとも1種の炭化物を含むターゲットを用いたスパッタリング法により形成され、かつ、金属および半金属の少なくとも一方と、炭素と、水素とを含む層であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ターゲットと成膜される膜との組成ずれを抑制し、所望組成を安定的に得ることが可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】基板BとターゲットTとを対向させて、プラズマを用いた気相成長法により基板B上にターゲットTの構成元素を含む膜を成膜する際に、基板BをターゲットTの構成元素が付着する壁面10Sで囲むと共に、壁面10Sに対して物理的な処理を行って壁面10Sに付着した成分を成膜雰囲気中に放出させながら、成膜を行う。 (もっと読む)


【課題】 ガスバリア性に優れた透明ガスバリア層を、高温に加熱せずとも、層形成時の窒化および酸化を制御することで効率よく製造することが可能な、透明ガスバリア層の製造方法を提供する。
【解決手段】 スパッタリング法により透明ガスバリア層を製造する透明ガスバリア層の製造方法であって、炭化金属および炭化半金属から選択される少なくとも1種の炭化物を含むターゲット17を用い、反応性ガスとして窒素ガスおよび酸素ガスを含む混合ガスを用い、前記反応性ガスにおいて、前記窒素ガスに対する前記酸素ガスの混合比率が1〜10体積%であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】採光性を確保しつつ日射遮蔽性を高めることが可能な網入り窓ガラスの日射調整方法を提供する。
【解決手段】透明高分子フィルムよりなるスクリーン基材14と、スクリーン基材14の少なくとも一方面に接着された透明積層フィルム12と、を備え、透明積層フィルム12が透明高分子フィルムよりなるフィルム基材16の少なくとも一方面に日射遮蔽性を有する積層構造部18を備えた構成の透明ロールスクリーンのシート材10,30を、網入り窓ガラス40に対し、室内側のガラス面から1〜300mmの範囲内で離して室内側のガラス面に沿って室内側に配置する。 (もっと読む)


【課題】 ガスバリア性に優れた透明ガスバリア層を、高温に加熱せずとも、層形成時の窒化および酸化を精密に制御することで効率よく製造することが可能な、透明ガスバリア層の製造方法を提供する。
【解決手段】 スパッタリング法により透明ガスバリア層を製造する透明ガスバリア層の製造方法であって、炭化金属および炭化半金属から選択される少なくとも1種の炭化物を含むターゲット17を用い、反応性ガスとして窒素ガスを用い、前記反応性ガスがさらに酸素ガスおよび水素ガスを含み、前記反応性ガスにおいて、前記窒素ガスに対する前記酸素ガスの混合比率が1〜10体積%であり、前記窒素ガスに対する前記水素ガスの混合比率が0.1〜30体積%であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 ガスバリア層が単層であってもガスバリア性に優れ、かつ高い透明性を有しているガスバリアフィルムおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 樹脂基板上に透明ガスバリア層が形成されたガスバリアフィルムであって、前記透明ガスバリア層が、アーク放電プラズマを用いた蒸着法により形成され、かつ、金属および半金属の少なくとも一方、酸素、炭素、および、窒素を含み、前記樹脂基板において、ガラス転移点が130℃以上300℃以下の範囲であり、かつ、150℃で0.5時間における熱収縮率が0%を超え0.5%以下の範囲であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ターゲットの製造時およびスパッタリング時に割れを生じることのない高強度な酸化亜鉛焼結体および高抵抗な酸化亜鉛薄膜を提供する。
【解決手段】ジルコニウムを10〜1000ppm含有し、抵抗率が10Ω・cm以下である円筒形状の酸化亜鉛焼結体から成るスパッタリングターゲットを作製する。
またジルコニウムを10〜2000ppm含有し、抵抗率が10Ω・cm以上であり、膜厚100nmのとき、波長500nmの透過率が75%以上の酸化亜鉛薄膜を製造する。 (もっと読む)


【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適な蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シートを提供する。
【解決手段】第1酸化物粉末と第2酸化物粉末とを混合して作られた蒸着材において、
第1酸化物粉末がTiO2粉末であって、第1酸化物粉末の第1酸化物純度が98%以上であり、第2酸化物粉末がZnO、MgO及びCaOからなる群より選ばれた1種の粉末又は2種以上の混合粉末であって、第2酸化物粉末の第2酸化物純度が98%以上であり、蒸着材が第1酸化物粒子と第2酸化物粒子を含有するペレットからなり、蒸着材中の第1酸化物と第2酸化物とのモル比が5〜85:95〜15であり、かつ、ペレットの塩基度が0.1以上であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】凹面を有する光学素子に膜厚が均一な金属酸化膜を形成する。
【解決手段】金属ターゲットから放出されたスパッタ粒子を、光学素子2の凹面2aに蒸着させて金属膜11を形成する(スパッタ処理工程)。次に、スパッタ処理工程にて形成された金属膜にイオンビームiを照射して、金属膜11から放出されたスパッタ粒子saを再度、光学素子2の凹面2aに蒸着させて金属膜11Aを形成する(再スパッタ処理工程)。このとき、主に凹面2aの中央部の金属がスパッタされて、スパッタ粒子saが凹面2aの周縁部に蒸着される。次に、再スパッタ処理工程にて形成された金属膜11Aに、酸素ラジカルビームを照射して酸化処理を行い、金属酸化膜15を形成する(酸化処理工程)。 (もっと読む)


【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適な蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シートを提供する。
【解決手段】第1酸化物粉末と第2酸化物粉末とを混合して作られた蒸着材において、
第1酸化物粉末がSiO2粉末であって、第1酸化物粉末の第1酸化物純度が98%以上であり、第2酸化物粉末がZnO、MgO及びCaOからなる群より選ばれた1種の粉末又は2種以上の混合粉末であって、第2酸化物粉末の第2酸化物純度が98%以上であり、蒸着材が第1酸化物粒子と第2酸化物粒子を含有するペレットからなり、蒸着材中の第1酸化物と第2酸化物とのモル比が5〜85:95〜15であり、かつ、ペレットの塩基度が0.1以上であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適な蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シートを提供する。
【解決手段】第1酸化物粉末と第2酸化物粉末とを混合して作られた蒸着材において、第1酸化物粉末がMgO粉末であって、第1酸化物粉末の第1酸化物純度が98%以上であり、第2酸化物粉末がCaO及びZnOの混合粉末であって、第2酸化物粉末の第2酸化物純度が98%以上であり、蒸着材が第1酸化物粒子と第2酸化物粒子を含有するペレットからなり、蒸着材中の第1酸化物と第2酸化物とのモル比が5〜90:95〜10であり、かつ、ペレットの塩基度が0.1以上であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適な蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シートを提供する。
【解決手段】第1酸化物粉末と第2酸化物粉末とを混合して作られた蒸着材において、上記第1酸化物粉末がZnO粉末であって、この第1酸化物粉末の第1酸化物純度が98%以上であり、上記第2酸化物粉末がCaO粉末であって、この第2酸化物粉末の第2酸化物純度が98%以上であり、蒸着材が第1酸化物粒子と第2酸化物粒子を含有するペレットからなり、蒸着材中の第1酸化物と第2酸化物との比率が5〜85:95〜15であり、かつ、ペレットの塩基度が0.1以上であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】金属の溶出がなく製造工程を簡素化でき、高密度なIGZOのスパッタリングターゲットが得られる製造方法およびスパッタリングターゲットを提供すること。
【解決手段】In粉とGa粉とZnO粉とを混合して混合粉末を作製する工程と、該混合粉末を加圧焼結する工程と、を有し、前記In粉の比表面積をA(m/g)とし、前記Ga粉の比表面積をB(m/g)とし、前記ZnO粉の比表面積をC(m/g)としたとき、各比表面積を、A≧10,B≧13,C≧5かつA/C≧2,B/C≧2の範囲に設定し、前記混合粉末の金属成分組成比を原子比で、In:Ga:Zn=1:1:X(0.8≦X≦5)に設定する。 (もっと読む)


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