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Fターム[4K029BD05]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被膜の用途 (4,612) | 工具 (979)

Fターム[4K029BD05]に分類される特許

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【課題】蒸発源の消耗に伴って変化する薄膜表面の平滑性変化を低減でき、蒸発源の利用効率を向上させることができるアークイオンプレーティング装置を提供する。
【解決手段】裏側リング状磁石17及び外側リング状磁石16の極性の向きは同一に設定され、中央磁石15の極性の向きは磁石16,17の極性の向きと逆に設定され、蒸発源5の直径をDとした場合に裏側リング状磁石17は、リング幅Wの中心位置Oが蒸発源5の端面からD/20の範囲内に配置されており、磁石15,16,17により蒸発源5の表面に生じる磁場の初期設定値は蒸発面の端面から内方にD/20の範囲の端部領域Eを除く内側領域C表面の磁束密度が7〜10mT、端部領域E表面の磁束密度が蒸発源中心部側から蒸発源端部まで連続的に増加し、端部領域E表面中心側が7〜10mT、端部領域E表面最端部が15mT以上、内側領域C表面の磁束密度の標準偏差が0.6以下に設定される。 (もっと読む)


【課題】一般鋼、高硬度鋼等の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐熱性および耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、前記硬質被覆層が、0.5〜5μmの平均層厚を有し、かつ、組成式:(Al1−α−βCrαReβ)N(但し、αはCrの含有割合を示し、原子比で、0.25≦α≦0.55、βはReの含有割合を示し、原子比で、0.001≦β≦0.10である)を満足するAlとCrとReの複合窒化物層からなる表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】コーティング付き物品及び製造方法の提供。
【解決手段】コーティング付き物品(20,100)は、基材(22,102)と、PVDコーティング領域(110)を有するコーティング組織(24,106)とを有する。PVDコーティング領域(110)は、アルミニウムと、イットリウムと、窒素と、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、およびシリコンからなる群から選択される少なくとも1つの元素とを含む。アルミニウム及びイットリウムの含有量の合計は、アルミニウム、イットリウム及び他の元素の合計の約3原子%〜約55原子%である。イットリウム含有量は、アルミニウム、イットリウム及び他の元素の合計の約0.5原子%〜約5原子%である。基材を用意するステップと、PVDコーティング領域を含むコーティング組織を堆積させるステップとを含むコーティング物品の製造方法も開示する。 (もっと読む)


【課題】高硬度鋼の高速重切削加工条件下において、硬質被覆層がすぐれた耐溶着性と耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】WC基超硬合金またはTiCN基サーメットで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層として、AlとTiの複合窒化物層からなる下部層と、A層:(111)面配向性のAlとCrの複合窒化物層、B層:AlとTiの複合窒化物層、C層:(200)面配向性のAlとCrの複合窒化物層、B層+A層+B層+C層を1積層周期とした1周期以上の積層構造を有する上部層とからなる層を形成した表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】Ti合金、ステンレス鋼等の難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐熱性および耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、硬質被覆層が、(a)0.01〜1μmの平均層厚を有し、かつ、組成式:(AlTi1−a)N(aはAlの含有割合を示し、原子比で0.4≦a≦0.75)を満足するAlとTiの複合窒化物からなるA層、(b)0.01〜1μmの平均層厚を有し、かつ、組成式:(AlCr1−b)N(bはAlの含有割合を示し、原子比で0.4≦b≦0.75)を満足するAlとCrの複合窒化物からなるB層、(c)0.01〜1μmの平均層厚を有する窒化クロムからなるC層、前記A層、B層、C層からなる単位被覆ユニットを2回以上積層した全体膜厚0.5〜6μmを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】被洗浄基板、あるいは、さらに処理される清潔な基板を製造するための、方法および装置を提供する。
【解決手段】電子源カソード(5)およびアノード機器(7)を備えたプラズマ放電機器を用いることによって、基板のプラズマエッチ洗浄が実行される。アノード機器(7)は、一方ではアノード電極(9)を、他方では、自身から電気的に孤立されている閉じ込め部(11)を備えている。この閉じ込め部(11)は、洗浄されるべき基板(21)の領域(S)に向けられた、開口部(13)を備えている。電子源カソード(5)およびアノード電極(9)は、供給源(19)を有する供給回路によって、電気を供給されている。この回路は、電気的に浮遊して操作される。 (もっと読む)


【課題】蒸発源の消耗に伴って変化する薄膜表面の平滑性や薄膜の残留応力の変化を低減でき、蒸発源の利用効率を向上させることができるアークイオンプレーティング装置および成膜方法を提供する。
【解決手段】中央磁石15とリング状磁石16とにより陰極20の蒸発源5のバッキングプレート21上に生じる陰極面磁場は、そのバッキングプレートの端面から内方に所定幅の端部領域を除く内側領域表面の磁束密度が7〜15mTであり、端部領域表面の磁束密度が内側領域表面の磁束密度よりも3mT以上大きく設定されており、陰極に蒸発源を載置した状態における蒸発源の表面に生じる磁場を、陰極面磁場と同じ大きさにするように、ソレノイドコイル17に、蒸発源の消耗に伴ってソレノイドコイルに流す電流値を変化させ、蒸発源の表面に生じる磁場の大きさを保持するコイル電源18、磁場測定器及び、コイル電流制御機構19が設けられている。 (もっと読む)


【課題】ターゲット表面から基材方向に伸びる直進性の高い磁力線を、ターゲット表面の広い領域において発生させることができるアーク式蒸発源を提供する。
【解決手段】アーク式蒸発源1aに、ターゲット2の外周を取り囲むように配置されたリング状の外周磁石3と、ターゲット2の背面側に配置されたリング状の背面磁石4aとを備える。アーク式蒸発源1aにおいて、外周磁石3は、ターゲット2の前面と直交する方向に沿うと共に前方を向くような磁化方向となる極性を有する。背面磁石4aは、ターゲット2の前面と平行であり且つリング径内方向を向くような磁化方向となる極性を有すると共に、ターゲット2の大きさ以上の内径を有する。 (もっと読む)


【課題】高温特性がより一層優れた硬質皮膜を提供する。
【解決手段】硬質皮膜は、下記式(1a)で示されかつ厚さが1〜80nmである第1の層と、下記式(2a)で示されかつ厚さが1〜80nmである第2の層とが、交互に複数積層されたものである。
(Cr(1-a)Ala)(C(1-x)x) …(1a)
(Zr(1-k)Hfk)(C(1-y)y) …(2a)
[式中の添字は、原子比を示す;これら添字は、以下の関係を満足する;
0.2≦a≦0.8
0.7≦x≦1
0≦k≦1
0.5≦y≦1 ] (もっと読む)


【課題】従来の硬質皮膜であるTiAlNや酸化物皮膜よりも耐摩耗性に優れた硬質皮膜を提供する。
【解決手段】基材の表面に形成される硬質皮膜であって、(TiAlSi)Oからなり、0.3≦a≦0.7、0.3≦b≦0.7、0≦c≦0.2、a+b+c=1、0.8≦[x/(2a+1.5b+2c)]≦1.2を満たすことを特徴とする硬質皮膜、または、(TiCrAlSi)Oからなり、0.05≦a≦0.4、0.1≦d≦0.85、0≦b≦0.7、0≦c≦0.2、a+b+c+d=1、0.8≦[x/(2a+1.5d+1.5b+2c)]≦1.2満たすことを特徴とする硬質皮膜(a,d,b,cはTi,Cr,Al,Siの原子比を示し、xはOの原子比を示す)。 (もっと読む)


【課題】高硬度鋼の高速切削加工ですぐれた耐剥離性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】立方晶窒化ほう素の含有量が50〜85容量%のcBN基超高圧焼結体の表面に硬質被覆層を形成してなる切削工具において、(a)硬質被覆層は、0.5〜5μmの平均層厚を有する下部層と上部層とからなり、(b)下部層は、TiN膜からなり、上部層は、組成式:[Ti1−XAl]N(Xは原子比で0.15〜0.65)を満足するTiとAlの複合窒化物層からなり、(c)逃げ面、すくい面、ホーニング部のナノインデンテーション硬さ、残留応力、表面粗さを所定の値とする。 (もっと読む)


【課題】耐摩耗性に優れ、苛酷な使用環境でも硼化物皮膜が剥離しないよう、高い密着強度を有した状態で被覆した被覆工具およびその製造方法を提供する。
【解決手段】工具の基材表面に中間皮膜を介して硬質皮膜を被覆した被覆工具であって、前記硬質皮膜は、Al、Si、Cr、W、Ti、Nb、Zrから選択される1種以上の元素の硼化物であって、六方晶の結晶構造であり、前記中間皮膜は、AlxMyからなる窒化物又は炭窒化物(但し、x、yは原子比を示し、x+y=100、かつ、40≦x≦95、かつ、5≦y≦60、MはTi、Cr、V、Nbから選択される1種以上)であり、前記基材側が立方晶の結晶構造、前記硬質皮膜側が六方晶の結晶構造である耐摩耗性に優れる被覆工具。硬質皮膜は、Tiの硼化物であることが好ましい。中間皮膜は、基材側から硬質皮膜側に向けてAlの含有量が増加することが好ましい。 (もっと読む)


【課題】開角の大きな複数の光学素子成形用型に対して、成形用型の周辺部において、離型不良、融着不良、成膜剥れ不良が発生のない、ガラスプレス用テトラヘドラルアモルファスカーボン膜成膜方法を提供する。
【解決手段】成形面が凸状の型母材3の内部に磁石4を配置し、前記各型母材3の外側にはリング状磁石5を配置し、複数の型母材3を同心円状に配置した状態で、前記磁石4とリング状磁石5により形成される磁場が、前記型母材3の頂点部の法線方向の磁束密度が最も高くし、前記各型母材3に電圧を印加しながら、フィルタードカソ−ディックバキュームアーク法によって、前記型母材3の成形面にテトラヘドラルアモルファスカーボン膜を成膜する。 (もっと読む)


【課題】従来の硬質皮膜である上記TiAlNや、TiCrAlN、TiCrAlSiBN、CrAlSiBN、NbCrAlSiBN等よりもより耐酸化性、耐摩耗性に優れた硬質皮膜を提供する。
【解決手段】基材の表面に形成される硬質皮膜であって、(TiCrAl)(C1−x)からなり、0≦a≦0.2、0.05≦b≦0.4、0.45≦c≦0.65、0.005≦d≦0.05、0≦e≦0.15、a+b+c+d+e=1、0≦x≦0.5、M:Ce、PrおよびScよりなる群から選択される1種以上(a,b,c,d,eは夫々Ti,Cr,Al,M,Bの原子比を示し、xはCの原子比を示す。)であることを特徴とする硬質皮膜。 (もっと読む)


【課題】耐摩耗性に優れ、また焼き付きなどが生じにくく、長期間使用しても摺動性に優れる硬質皮膜と、その摺動性に優れた硬質皮膜を短時間で形成することができる硬質皮膜の形成方法を提供する。
【解決手段】化学式Mで示される硬質皮膜であって、Mは、4A族、5A族、6A族の元素、及びSi、Alから選択される少なくとも1種の金属元素であり、0≦a≦0.2、0≦c≦0.2、0<x−a−c、x−a−c<b≦0.9、0.05≦x<0.5、x+a+b+c=1の各式を満たすことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】長期間の使用にわたって、すぐれた耐摩耗性を発揮する合金鋼製ドリル、表面被覆合金鋼製ドリルを提供する。
【解決手段】 質量%で、C:2.0〜3.0%、Si:3.0〜6.0%、Cr:9.0〜15.0%、Co:10.0〜15.0%(好ましくは、C+Si+Cr+Co:25.0〜35.0%)、WおよびMoのうちの1種または2種の合計:9.0〜11.0%、V:1.5〜2.5%、残部はFeおよび不可避不純物からなる高温焼戻し軟化抵抗性を有する合金鋼で工具基体を構成した合金鋼製ドリル、表面被覆合金鋼製ドリル。 (もっと読む)


【課題】耐摩耗性と密着性に優れる硬質膜を表面に有し、長寿命で交換回数を大幅に削減し得る寸法測定治具を提供する。
【解決手段】基材2の表面に硬質膜1が成膜されてなる寸法測定治具であり、硬質膜1は、基材2の表面上に直接成膜されるクロムを主体とする下地層1aと、下地層1aの上に成膜されるタングステンカーバイトとダイヤモンドライクカーボンとを主体とする混合層1bと、該混合層1bの上に成膜されるダイヤモンドライクカーボンを主体とする表面層1cとからなる構造の膜であり、混合層1bは、下地層1a側から表面層1c側へ向けて連続的または段階的に、該混合層1b中のタングステンカーバイトの含有率が小さくなり、該混合層1b中のダイヤモンドライクカーボンの含有率が高くなる層である。 (もっと読む)


【課題】切削性能、耐熱亀裂性、および寸法精度に優れた刃先交換型切削チップを提供する。
【解決手段】本発明の刃先交換型切削チップは、少なくとも基材を含むものであって、該基材は、8.5〜12.5質量%の鉄系金属と、0.28〜1.13質量%のTaと、不可避不純物とを含み、かつ残部がWCである超硬合金からなり、該超硬合金の組織中のWC粒子は、0.8〜2μmの平均粒子径であり、基材の抗磁力をHC(kA/m)とし、基材に含まれるCoの質量%をMCo(質量%)とすると、下記式(I)を満たし、かつ超硬合金の組織中にTaを主成分とする相が析出していないことを特徴とする。
−1.2×MCo+31.7≧HC≧−1.2×MCo+27.2 ・・・(I) (もっと読む)


【課題】炭素鋼や硬質合金鋼を乾式・高切り込み・高送り切削に用いた場合においても、すぐれた耐摩耗性、耐酸化性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の上に硬質被覆層を有する表面被覆切削工具において、硬質被覆層が、(Ti1−x−yAlSi)N(ただし、X=0.40〜0.70、Y=0.02〜0.15)なる組成を持ち0.8〜5.0μmの平均層厚を有するTiとAlとSiの複合窒化物からなる下部層と、(Ti1−x−yAlSi)(N1−z)(ただし、X=0.40〜0.70、Y=0.02〜0.15、Z=0.02〜0.15)なる組成を持ち0.1〜1.0μmの平均層厚を有する酸素を含む上部層とからなり、かつ、上部層を工具表面からX線回折を用いて測定した際に、半価幅が3〜5度の範囲に存在するβ−Si相の(101)ピークが存在する。 (もっと読む)


【課題】成型加工を行っても相手材表面との摩耗を低減できる被膜を被覆した鉄系合金製パンチ工具を提供する。また、万一に被膜の摩耗が生じても鉄系合金製パンチ工具の損傷を未然に防止できる被膜を被覆した鉄系合金製パンチ工具を提供する。
【解決手段】V(1−X)から成り、かつXは原子%で70at%超95at%以下であるバナジウム含有被膜を鉄系合金製パンチ工具21に被覆する。また、鉄系合金製パンチ工具21とバナジウム含有被膜との間に複合被膜を被覆して、複合被膜は鉄系合金製パンチ工具21から近い順にV被膜、V(1−Y)被膜(ただし、Yは原子%で40at%以上60at%以下)から成る被膜とする。 (もっと読む)


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