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Fターム[4K029CA03]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被覆処理方法 (12,489) | イオンプレーティング、イオンビーム蒸着 (1,603)

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【課題】気体と直接接触する環境下における耐ドレンエロージョン性に優れた回転機械用の部品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基材1の表面1a上にセラミック硬質皮膜3が形成されてなり、該セラミック硬質皮膜3の表面3aに存在するドロップレットの密度が1000個/mm以内とされており、且つ、平均粒径が1μm以下のドロップレットの密度が550個/mm以内とされている。 (もっと読む)


【課題】加工が容易であって、任意デザインの金属光沢による高級感のある装飾模様を形成することができ、要に臨んで、立体的な装飾模様を形成することも可能な物品の表面装飾構造を提供する。
【解決手段】基材1の表面において、少なくとも金属光沢を有する金属材料が層着した金属被膜層2を形成する一方、この金属被膜層2の少なくとも一部には剥離部21を設け、この剥離部21において基材1の表面が露出して、当該基材1の外観と残存した金属被膜層2の金属光沢との相異により装飾模様を形成し、基材1および金属被膜層2がそれぞれ表出した状態で、これらの表面が透光性を有する合成樹脂材料からなるクリアコーティング層3によって被覆して、金属光沢による装飾模様の表面を保護する。 (もっと読む)


【課題】 絶縁管の消耗率を下げ、絶縁管の寿命を長くすること。
【解決手段】 成膜装置は、排気系を備えた真空チャンバー内に向けて、プラズマビームを生成するホローカソードとプラズマビームに電位勾配を与える一以上の中間電極とを有するプラズマガンと、プラズマガンからプラズマビームを出力するための出口部と同軸に位置する真空チャンバーの管部の外周を包囲するように設けられプラズマビームを管部を介して真空チャンバーへ引き出す収束コイルと、管部の内部においてプラズマガンの出口部と同軸に配置され陽極の極性を有する反射電子帰還電極と、を備える。ホローカソードの電位より高い電位を有し接地された反射電子帰還電極の内周部に設けられた絶縁管が、反射電子帰還電極に対して最も近い位置に配置されている中間電極と電気的に接触している。 (もっと読む)


【課題】本発明はロールツーロールタイプの薄膜形成装置に関する。
【解決手段】薄膜パターン形成装置は、マスク積載部と、上記マスク積載部と開閉可能な開放口が設けられた成膜空間部を有する真空チャンバと、上記成膜空間部に配置され、シートを走行させる巻出ロール及び巻取ロールと、蒸着ソースを収容して蒸着ソースを蒸発させ蒸着領域上に位置した上記シート上に薄膜を蒸着させるように装着されたソース載置部と、上記シート上に蒸着しようとする薄膜のパターンを定義するパターンを有し、上記マスク積載部に備えられた少なくとも一つのマスクと、上記マスク積載部において備えられた少なくとも一つのマスクを上記成膜空間部の蒸着位置にまたはその反対に搬送させることができるよう構成されたマスク移動部と、上記ソース載置部において上記マスクに蒸発される蒸着ソースの進行を選択的に遮蔽させるシャッタ部とを含む。 (もっと読む)


【課題】本発明はロールツーロールタイプの薄膜パターン形成装置に関する。
【解決手段】薄膜パターン形成装置は、シートを走行させる巻出ロール及び巻取ロールと、弾性体層が形成された周面を有し、上記巻出ロールと巻取ロールとの間に配置され上記シートをその周面に沿って走行させる回転ドラムと、蒸着ソースを収容し、蒸発した蒸着ソースが上記回転ドラム上に位置した上記シートに薄膜を形成するよう装着されたソース載置部と、上記ソース載置部から上記回転ドラムに向かう蒸着ソースの進行を選択的に遮蔽させるシャッタと、上記シート上に蒸着しようとする薄膜のパターンを定義するパターンを有し、薄膜蒸着時に上記回転ドラム上に位置したシートに密着したマスクと、薄膜蒸着後に上記弾性体層の厚さの減少により上記マスクから上記シートが離隔されるよう上記シートを上記回転ドラム方向に加圧させる張力印加部とを含む。 (もっと読む)


【課題】耐摩耗性に優れると共に、部材を再生使用するときに、損傷した硬質皮膜を容易に除去できるような除膜性に優れた硬質皮膜形成部材を提供する。
【解決手段】基材1上に硬質皮膜4を備えた硬質皮膜形成部材10aであって、硬質皮膜4は、組成がTi1−v(C)(ただし、Mは所定の元素、v、x、y、zは所定量の原子比)を満足するA層2と、組成がTiCr1−v−w(C)(ただし、Mは所定の元素、v、w、x、y、zは所定量の原子比)を満足するB層3とを含み、A層2とB層3がこの順に交互に積層され、1層のA層2と、その上部の1層のB層3の積層構造を1単位としたときに、2単位以上の積層構造を有し、A層2の1層の厚みに対するB層3の1層の厚みの比率が2以上、A層2の1層の厚みが0.1〜3μm、B層3の1層の厚みが1〜10μm、B層3の厚みの合計が5μm以上であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】鉄系基材とこれにWを中間層にして積層したUNDLC膜との密着性を向上させ、積層体の耐摩耗性および耐熱性に優れたUNCD膜積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】鉄系基材またはWC基材の表面に真空中で同軸プラズマジェットガンにより成膜したUNCD膜、このUNCD膜の上に水素中で同軸プラズマジェットガンにより成膜した第2のUNCD膜が積層されているUNCD膜積層体。鉄系基材1の場合、鉄系基材1の表面にW層2、このW層2の上に真空中で同軸プラズマジェットガンにより成膜した第1のUNCD膜3、このUNCD膜3の上に水素中で同軸プラズマジェットガンにより成膜した第2のUNCD膜4が積層されている。第1のUNCD膜のSP3結合は第2のUNCD膜より少なくする。 (もっと読む)


【課題】水晶モニタを基板ドームの中央部に配置しても高精度な膜厚測定ができる成膜装置を提供する。
【解決手段】真空槽1、真空槽1内の蒸発源、蒸発源に対向配置され成膜対象基板が搭載される基板ドーム、基板ドームにイオンを照射するためのイオン生成手段、基板ドームの中央部に配置された水晶モニタ5、及び水晶モニタの発振周波数を測定する測定手段6を備えた成膜装置において、水晶モニタ5が真空槽1及び基板ドームから電気的に絶縁される構成とした。 (もっと読む)


【課題】 成膜方法及び成膜装置に関し、FCA法により成膜する際に、成膜レートを維持しつつ、被成膜基板上に付着するマクロパーティクル数を低減する。
【解決手段】 成膜原料のプラズマを発生するプラズマ発生部と、成膜原料を用いて被膜が形成される被成膜基板を内部に保持する成膜室と、プラズマを、プラズマ発生部から成膜室へ誘導する誘導管と、誘導管の内側に配置され、プラズマが通過可能な開口を有するパーティクル阻止部材とを有する成膜装置を用いて、プラズマ発生部においてプラズマを発生させるとともに、プラズマ発生部とパーティクル阻止部材との間に設置された電極に電圧を印加して、プラズマを開口に集め、開口を通過したプラズマにより被成膜基板上に被膜を成膜させる。 (もっと読む)


【課題】酸化亜鉛透明導電酸化物層上に低屈折率のカーボン膜を形成することで、光線透過率は向上するが、水分や空気に対する耐久性は向上しない。また、有機珪素化合物層を酸化亜鉛透明導電酸化物層上に直接形成しようとしても、大面積では均一に形成することが困難であったが,それを解決する透明導電膜の製造方法を提供する。
【解決手段】透明基板1上に透明導電酸化物層2/カーボン層3のさらにその上に、有機珪素化合物層4を形成することで、水分や空気に対する耐久性の向上が可能となり、さらに大面積にした場合も均一に作製することができる。 (もっと読む)


【課題】耐溶損性に優れた中間層の表面に耐焼付き性に優れた機能性被膜を形成することで、耐焼付き性、及び、耐溶損性を向上させるダイカスト用金型等を提供すること。
【解決手段】ダイカスト用金型1は、金型基材KKと、金型基材KKの表面に形成される中間層CSであって、Cr,Ti及びAlから選ばれる少なくとも1種の金属、又は、Cr,Ti及びAlから選ばれる少なくとも1種の元素を含む化合物の単層又は複層からなる中間層CSと、中間層CSの上に形成される機能性被膜KHであって、Feを20質量%以上含有し、かつ、Fe酸化物が形成された機能性被膜KHとを備える。 (もっと読む)


【課題】 適用可能な金属種が多く、製造条件設定が容易で、一定品質の製品を容易に得ることができるクラックを有する金属膜加飾シートの製造方法を得る。また、生産工程が少なく、短時間小労力で生産性にすぐれたクラックを有する金属膜加飾シートの製造方法を得る。
【解決手段】以下の工程からなるクラックを有する金属膜加飾シートの製造方法である。
(イ)基体シート31上に、クラック誘発層32とクラック誘発層に接して形成され、特定の金属を材料とした金属膜層33からなる母材シート1を作成する工程。(ロ)母材シート1に、50−150Nの力で張力を負荷しつつ、温度120℃−200℃を付加し、クラック母材シート3を得る工程。(ハ)クラック母材シート3の金属膜層の上に、接着層37を形成し、金属膜加飾シート5を得る工程。 (もっと読む)


【課題】成膜時の成膜対象へのパーティクル付着を抑制する。
【解決手段】発生部2で発生したプラズマを成膜部5に配置した成膜対象4へ誘導するフィルタ部3に、プラズマと共に発生するパーティクルを衝突させる衝突部6を設ける。衝突部6は、発生部2で発生したパーティクルの進路をシミュレーションし、衝突部6を設けなかった場合に成膜対象4に到達すると予測されるパーティクルの進路上に、プラズマ流を大きく遮らないようにして、配置する。衝突部6に衝突したパーティクルが、そこで進路を変えられ、或いはそこに捕捉されることで、成膜対象4へのパーティクルの到達及び付着が抑制されるようになる。 (もっと読む)


【課題】 成膜装置及び成膜方法に関し、FCA法により成膜する際に、成膜レートを維持しつつ、被成膜基板上に付着するマクロパーティクル数を低減する。
【解決手段】 アーク放電によるプラズマ発生ガンを備えたプラズマ発生部と、発生したプラズマを被成膜基板へ誘導するフィルターと、前記被成膜基板を保持および処理するチャンバーとを有する成膜装置に、前記プラズマ発生部に前記発生したプラズマの中央位置にプラズマ径よりも小径の防着板を設置する機構を設ける。 (もっと読む)


基材上にコーティングを蒸着する方法であって、(a)陰極真空アーク(CVA)蒸着工程を実施することによって、基材上に材料を蒸着する工程、および(b)CVA蒸着を除く物理蒸着(PVD)工程を実施することによって、基材上に材料を蒸着する工程を含み、工程(a)において蒸着された材料の厚さが、工程(b)において蒸着された材料の厚さよりも大きい、方法を提供する。

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【課題】結晶質でクラックを有さず、高い硬さと優れた耐摩耗性とを兼ね備えた硬質皮膜層及びその形成方法を提供する。
【解決手段】基材2を被覆する結晶質の硬質皮膜層3は、PVD法により形成され,SiとCとを必須成分とし、元素M[3A族元素,4A族元素,5A族元素,6A族元素,B,Al及びRuの中から選ばれた1種以上の元素]とNとを選択成分とし、Si1−x−y−z(0.4≦x≦0.6、0≦y≦0.1、0≦z≦0.2)の組成を有する。 (もっと読む)


(a)カソーディック真空アーク(CVA)蒸着工程を実施することによって基板上に材料を蒸着する工程;および(b)CVA蒸着以外の、化学蒸着(CVD)工程および物理蒸着(PVD)工程の少なくとも1つを実施することによって基板上に材料を蒸着する工程を含む、基板上にコーティングを蒸着する方法を開示する。本方法においては、工程(b)において蒸着された材料の厚さが、工程(a)において蒸着された材料の厚さよりも大きい。

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【課題】基材の表面に被覆膜を被覆した被覆部材に関し、基材と被覆膜との密着性を向上させるための新規の手法を用いた被覆部材の製造方法およびその製造方法により得られる被覆部材を提供する。
【解決手段】本発明の被覆部材は、基材の表面の少なくとも一部に被覆膜を形成する被覆膜形成工程と、基材の表層部および被覆膜のうち引張り残留応力が発生したいずれか一方を塑性変形させて該被覆膜にかかる残留応力を緩和させる応力緩和工程と、を経て製造される。被覆膜にかかる残留応力が緩和されることで、基材と被覆膜との密着性が向上する。被覆膜の表面に適切な条件の下でショットピーニングなどを施すことで、基材の表層部および被覆膜のいずれか一方のみを簡便に塑性変形させることができる。 (もっと読む)


【課題】高融点の金属材料または非昇華性材料からなる蒸着性材料からなる薄膜を被成膜体に対して安定して形成することが可能な真空成膜装置を提供する。
【解決手段】真空成膜装置10は、被成膜体13が配置された真空チャンバー12と、蒸着性材料20を収納するるつぼ19と、プラズマビーム22をるつぼ19内の蒸着性材料20に向けて照射する圧力勾配型プラズマガン11とを備えている。るつぼ19に、蒸着性材料20を1000℃乃至2500℃の範囲内で加熱できる加熱機構40が設けられている。プラズマビーム22を蒸着性材料20の表面に導き、真空チャンバー12内の被成膜体13上に薄膜20aを形成する。 (もっと読む)


【課題】金属加工金型の寿命向上のため、高い塑性変形硬さ、高い剥離臨界荷重、被加工材との焼付き性を向上させる金型表面用保護膜を形成すること。気相薄膜形成法を用いて保護膜を形成する場合は、蒸発源の費用を抑えられること。
【解決手段】金属表面に形成される、遷移金属元素の窒化物とモリブデン窒化物との化合物からなる金型表面用保護膜。チタン含有窒化物とモリブデン窒化物との化合物。TiN、(Ti,Al)N、CrNのうち何れか一つのチタン含有窒化物と、MoNのモリブデン窒化物との化合物。(Tia,Mob)N1-a-bであって、aおよびbは原子比を示し、Mo含有比率;Mo/(Mo+Ti)が20〜60%である。((TiAl)a,Mob)N1-a-bであって、aおよびbは原子比を示し、Mo含有比率;Mo/(Mo+Ti+Al)が40〜80%である。500℃以下で加工する金型に適用する。 (もっと読む)


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