【課題】耐摩耗性に優れ、長期に渡って使用できる寿命の長い工具および工具の製造方法を提供する。
【解決手段】工具鋼からなる基材２と、基材２の表面の少なくとも一部を、グロー放電により窒素または窒素化合物を含有するガスをプラズマ化してイオン窒化することにより設けられた窒素が拡散されてなるプラズマイオン窒素拡散層３と、プラズマイオン窒素拡散層３上に設けられた金属窒化物からなるコーティング層４とを備える工具とする。 （もっと読む）

【課題】特別な光源を必要としない安価なモニタリングが可能なリチウムイオン電池用集電体の表面処理方法を提供すること。
【解決手段】 集電体基材２の表面に、表面皮膜３を成膜するリチウムイオン電池用集電体１の表面処理方法において、成膜をするときに発生する放電光１７を光源として使うこと、放電光１７が照射された成膜状態を状態モニタ１５で撮像し、撮像された成膜状態に基づいて、成膜異常、ターゲット不良、集電体基材２のしわ、集電体基材２の搬送蛇行の異常を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 基板に帯電する負電荷が中和される様にする。
【解決手段】 真空チャンバー１内に、絶縁部材を介して取り付けられた基板ホルダー４、蒸発材料の加熱用電子銃９を有する蒸発源、真空チャンバー側壁及び底壁に沿って碍子２１を介して真空チャンバー側壁に取り付けられた防着板２０、真空チャンバー内に蒸発源から蒸発した蒸発粒子をイオン化するための電子ビームを発生するプラズマ発生源１１を備え、プラズマ発生源１１は、熱陰極１５と電子放出電極１７が配置されたケース１２と、熱陰極１５と電子引出電極１７との間に放電電圧を印加する放電電源を備え、ケース１２内で形成されたプラズマＰ１中の電子を放電電圧に基づいて真空チャンバー１内に引き出す様に成しているイオンプレーティング装置において、基板ホルダー４と真空チャンバー１壁間の電位を測定する直流電圧計２２と、この電位が基準値になる様に放電電圧をコントロールする制御装置２３が設けられている。 （もっと読む）

開示されたものは、ガスクラスターイオンビーム（ＧＣＩＢ）システム（１００，１００’１００’’）において、プロセスガスの混合物、又は多重のプロセスガスの混合物、を導入するためのマルチ−ノズル及びスキマーの組み立て品、並びに基体（１５２，２５２）に層を成長させる、それを変更する、それを堆積させる、又はそれをドープするための動作の関連させられた方法である。多重のノズル及びスキマーの組み立て品は、少なくとも部分的にそれから単一のガスクラスタービーム（１１８）へと放出されたガスクラスタービームを合体させるために相互の近接で配置された、及び／又は、交差するガスクラスタービームのセットを形成するために、及び、ガススキマー（１２０）へと単一の及び／又は交差するガスクラスタービームを向けるために、単一の交差する点（４２０）に向かって各々のビームを収束させるために角度が付けられた少なくとも二つのノズル（１１６，１０１６，２１１０，２１２０，４１１０，４１２０，７０１０，７０２０）を含む。
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【課題】操作パラメータのより優れた調整、したがってより優れた層品質を可能にするアークソースを提供する。
【解決手段】このソース１は絶縁対電極および／または交換磁気システムを有する。これにより、必要に応じて任意の電位が対電極８に与えられ、かつ／または様々な磁気システム５を備えたソースが、特にアークソースないしスパッタソースとして操作され得る。磁気システムは、アークソースまたはスパッタソースとしての択一的な適用に対する前記磁気システムの適合が、プロセスのサイクルの最中に真空状態を中断することなく動作中に実現できるように、前記磁気システムが少なくとも一つの方向に自由に移動できる。 （もっと読む）

【課題】孔密度や孔径、孔径分布の制御が容易で、簡易な、ナノポーラス表面を有する製品の製造方法を提供すること。
【解決手段】母材中に複数のナノ粒子が分散した材料を形成し、該母材中に複数のナノ粒子が分散した材料からナノ粒子を選択的に除去することを含む、ナノポーラス表面を有する製品の製造方法。 （もっと読む）

【課題】摩耗性や耐焼付き性を向上させるために硬度を高めた硬質皮膜を被覆する場合であっても、鉄基合金基材表面に窒化層を形成した基材と硬質皮膜との密着性を優れたものとした硬質皮膜被覆部材、およびこのような硬質皮膜被覆部材を有する治工具を提供する。
【解決手段】本発明の硬質皮膜被覆部材は、鉄基合金基材表面に窒化層を形成した後に、ＰＶＤ法によって窒化膜、炭化膜または炭窒化膜を窒化層上に形成した硬質皮膜被覆部材であって、前記窒化層中のＦｅ−Ｎ化合物におけるＸ線回折のピークを、基材表面を基準として入射角θ−回折角２θの条件で測定したときに、ε相（Ｆｅ_2-3Ｎ）の（１０１）のピークに対するγ’相（Ｆｅ₄Ｎ）の（１１１）のピーク強度比が、６０％以下である。 （もっと読む）

【課題】基体との密着性、皮膜の異層間の密着性に優れた特性を有する硬質被覆層を得るための皮膜形成方法と、この皮膜形成方法により被覆した被覆部材を提供する。
【解決手段】複数の蒸発源に複数の陰極物質を装着し、該蒸発源の前面に遮蔽板を設け、減圧容器内でプラズマを発生させて基体の表面に陰極物質材料の皮膜を形成する物理蒸着装置を用いて、少なくとも該基体表面にボンバードメント処理を行うボンバードメント工程と、皮膜を形成する被覆工程とから構成され、該ボンバードメント工程は該遮蔽板により該蒸発源の放電による放出物質を該基体から遮蔽した状態で、少なくとも非金属イオンによる該基体のボンバードメント処理を行うことにより、前記基体及び前記減圧容器内に残存する不純物成分を前記放出物質とともに前記遮蔽板に吸着するようにしたことを特徴とする皮膜形成方法である。 （もっと読む）

本発明は、対称的な鋸歯状構成材の機能表面、特に歯車（１）の歯面（３）をコーティングする方法及び装置に関し、コーティング材を荷電粒子の形で構成材の方向に放出し、また該構成材に対して回転するコーティング源（２）を有する。本発明によれば、構成材機能表面の高品質なコーティングは、照射方向に対して平坦な向きの機能表面を有する円周状エリア内で、コーティングビームから構成材を遮蔽する遮蔽物（４）が構成材（１）とコーティング源（２）との間のビームの通り道に照射方向を横切るように配置されることで、技術的には単純な方法で達成される。 （もっと読む）

【課題】断熱性能が高く、かつ、耐熱サイクル性に優れ高信頼性の遮熱セラミックスコーティング及びこれを用いた高温部品搭載システムを提供する。
【解決手段】遮熱セラミックスコーティング３は、中央部に設けられた熱伝導抑制用酸化物セラミックス部３０と、熱伝導抑制用酸化物セラミックス部３０の表面側に形成され、熱伝導抑制用酸化物セラミックス部３０より融点の高い酸化物層を含む積層構造を有する表面側積層構造部３１と、熱伝導抑制用酸化物セラミックス部３０より基材１側に形成され、熱伝導抑制用酸化物セラミックス部３０より融点の低い酸化物層を含む積層構造を有する基材側積層構造部３２とを具備している。 （もっと読む）

【課題】成膜材の物性との違いに関わらずドーピング材を自由に選択可能なイオンプレーティング装置を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３と、プラズマビームＰを発生するプラズマガン４と、プラズマビームＰが照射されるハース５と、ハース５に電気的に接続され、ハース５に近接配置されたタブレット２１を支持する導電性のタブレット支持棒２５とを備え、ハース５の真空チャンバ３内における露出面にはタブレット２１と共に気化されてドーピングされるドーピング材２２が支持され、ハース５およびタブレット２１に対する通電量を調整可能な構成とした。 （もっと読む）

【課題】成膜材の物性との違いに関わらずドーピング材を自由に選択可能なイオンプレーティング装置を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３と、プラズマガン４と、プラズマビームＰが照射されるハース５とを備え、ハース５は、タブレット２１を真空チャンバ３の内部に露出するように配置する凹部２４ａと、真空チャンバ３の内部における露出面において成膜時にドーピングされるドーピング材２２を支持する環状溝２３ｂとを有し、ハース５の露出面のうちプラズマビームＰが照射される被照射面の面積により、ハース５の被照射面における電流密度を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、被膜の最表面層として窒化アルミニウム層を形成することにより極めて優れた耐摩耗性を示す表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明は、基材と、該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、該被膜は、物理的蒸着膜であり、かつ基材上に形成された厚み７〜１５μｍの窒化物層と、該窒化物層上に形成された厚み３〜１０μｍの炭窒化物層と、該炭窒化物層上に形成された厚み０．２〜５μｍのＡｌＮ層とを含むことを特徴とする表面被覆切削工具に係る。 （もっと読む）

【課題】透明性に優れ、耐熱性が高く、カールがしにくく、ガスバリア性に優れ、生産性に優れるガスバリア性シート、このガスバリア性シートの製造方法、及びこのガスバリア性シートを用いた製品を提供する。さらに、ハードコート性にも優れ、接着性にも優れるガスバリア性シート、このガスバリア性シートの製造方法、及びこのガスバリア性シートを用いた製品を提供する。
【解決手段】基材２と、基材２の一方の面１１の側に設けられたアンカー層９と、アンカー層９の上に設けられたガスバリア層３と、を有するガスバリア性シート１において、アンカー層９が、シロキサン化合物と、重合時にこのシロキサン化合物が有する水酸基と反応しうる官能基を分子内に有する化合物Ａと、から構成されるポリシロキサン重合体を含有し、ガスバリア層３が、酸化珪素と導電性材料との混合物又は複合物を含有することによって、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】Ｎｉ基合金、Ｃｏ基合金などの耐熱合金を、高熱発生を伴う高速条件下で切削加工した場合にも、長期の使用に亘って硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性、耐チッピング性、耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、少なくとも、薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造からなる硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具において、薄層Ａは、組成式［Ａｌ_ＸＣｒ_ＹＳｉ_Ｚ］Ｎで表されるＡｌとＣｒとＳｉの複合窒化物層、薄層Ｂは、組成式［Ａｌ_ＵＴｉ_ＶＳｉ_Ｗ］Ｎで表されるＡｌとＴｉとＳｉの複合窒化物層であり、上記薄層Ａと薄層Ｂは、それぞれ、０．００５〜０．０５μｍの一層平均層厚を有し、また、上記薄層Ａと薄層Ｂとの合計層厚は１〜５μｍである。 （もっと読む）

【課題】 例えば大曲率、大口径の部材に対しても均一の膜厚の膜を形成しうる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】 本発明の真空蒸着装置であって、部材１０を支持するとともに、前記部材１０をその中心を通る第１軸１４の回りに自転させ、かつ前記第1軸１４とは異なる第２軸１５の回りに公転させる機構２０と、前記第２軸１５から距離をおいて配置され、膜を形成するための蒸着粒子を発生する蒸発源１２と、前記機構２０により自転及び公転される部材１０と前記蒸発源１２との間に配置され、当該自転及び公転されている部材１０に対する蒸着粒子の付着を遮蔽するｎ個（ただし、ｎは２以上の整数）の遮蔽板１７と、を備え、前記ｎ個の遮蔽板１７のそれぞれが前記自転及び公転されている部材１０に対する蒸着粒子の付着を遮蔽する量をＡｉ（ただし、ｉ＝１〜ｎ）とするとき、Ａｉのそれぞれが式Ａｉ＝（Ａ１＋Ａ２＋・・・＋Ａｎ）×（１／ｎ±１／５ｎ）を満たす。 （もっと読む）

【課題】 プラズマが不安定に成らない様にする。
【解決手段】 絶縁性物質で形成された円筒部材２と、プラズマガスを円筒部材２内に供給するためのガスリング３と、粉末材料とキャリアガスを円筒部材２内に供給するためのパイプＱ´が挿入されており、ガスリング３の中心軸に沿って設けられたプローブ１１´と、円筒部材２の外側に巻かれた誘導コイル４を備えており、誘導コイル４に高周波電力を供給することによって円筒部材２内に高周波誘導熱プラズマを発生させる様に成っている。パイプＱ´の少なくとも先端部分とプローブ１１´の中心孔Ｈ内の少なくとも先端部分のそれぞれに係脱可能な係合部を形成している。 （もっと読む）

本発明は、ｐ型の透明導電性薄膜のためのターゲットの製造に用いる粉末状酸化物材料（Ｍ_ｘＭ’_ｙ）Ｃｕ_２＋ａＯ_２＋ｂであって、式中、−０．２≦ａ≦０．２、−０．２≦ｂ≦０．２であり、且つ− Ｍ’はＳｒであり、ＭはＢａ及び二価のＣｕのいずれか１つ又はその両方であり、ここでｘ＞０、ｙ＞０及びｘ＋ｙ＝１±０．２であるか；又は− Ｍは二価のＣｕであり、ｘ＝１±０．２、及びｙ＝０である、のいずれかである、前記粉末状酸化物材料を記載している。 （もっと読む）

【課題】膜材の気化によりハースに付着した成膜堆積物の再気化を抑制、または成膜堆積物がハースに堆積するのを抑制して、ワークに安定した膜特性を有する被膜を成膜することができるイオンプレーティング装置および成膜方法を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３の内部におけるハース５の露出面５ｂの表面温度を、タブレット２１の気化によりハース５の露出面５ｂに付着した成膜堆積物の再気化を抑制する第１の温度領域、または気化したタブレット２１のハース５の露出面５ｂに対する付着を抑制する第２の温度領域に制御する構成にした。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内における膜材の突出長を一定に維持して、安定した成膜レート及び良好な膜質で成膜できるイオンプレーティング装置を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３と、真空チャンバ３内にプラズマビームＰを発生するプラズマガン４と、真空チャンバ３内においてプラズマビームＰが照射されるハース５と、ハース５に収容された成膜用のタブレット２１を真空チャンバ３内に露出するように支持するタブレット支持棒２５と、タブレット支持棒２５を介してタブレット２１を真空チャンバ３内に押し出す駆動機構９と、真空チャンバ３内に突出したタブレット２１の突出方向における先端面の少なくとも一部に接触する接触部３７を有し、接触部３７をタブレット２１の先端面に当接させてタブレット２１の先端面を所定位置に位置規制する位置規制部とを備えた。 （もっと読む）