説明

Fターム[4K029CA13]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被覆処理方法 (12,489) | 基体にバイアス電位を設定をするもの (996)

Fターム[4K029CA13]に分類される特許

121 - 140 / 996


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、1〜50nmの層厚の薄層Aと1〜50nmの層厚の薄層Bとが交互に積層された100〜500nmの層厚の複層領域と、100〜500nmの層厚の単一層にて構成された単層領域との交互積層構造からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、薄層Aは、TiN層、薄層Bは、[Al1−X−YTiSi]N(Xは原子比で0.15〜0.94、Yは原子比で0.01〜0.15)層であって、単一層は、前記薄層Aと同一種の層で構成するとともに、硬質被覆層の表面近傍に前記薄層Bと同一組成・成分で0.3〜1μmの層厚の単一層からなる中間層を設けたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、1〜50nmの層厚の薄層Aと1〜50nmの層厚の薄層Bとが交互に積層された100〜500nmの層厚の複層領域と、100〜500nmの層厚の単一層にて構成された単層領域との交互積層構造からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、薄層Aは、[Al1−XTi]N(Xは原子比で0.30〜0.80)層、薄層Bは、[Al1−Y−ZTiSi]N(Yは原子比で0.15〜0.94、Zは原子比で0.01〜0.15)層であって、単一層は、前記薄層Aと同一種の層で構成するとともに、硬質被覆層の表面近傍に前記薄層Bと同一組成・成分で0.3〜1μmの層厚の単一層からなる中間層を設けたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、1〜50nmの層厚の薄層Aと1〜50nmの層厚の薄層Bとが交互に積層された100〜500nmの層厚の複層領域と、100〜500nmの層厚の単一層にて構成された単層領域との交互積層構造からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、薄層Aは、[Al1−xTi]N(xは原子比で0.30〜0.80)層、薄層Bは、[Ti1−ySi]N(yは原子比で0.01〜0.30)層であって、単一層は、前記薄層Aと同一種の層で構成するとともに、硬質被覆層の表面近傍に前記薄層Bと同一組成・成分で0.3〜1μmの層厚の単一層からなる中間層を設けたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】成膜中のパーティクルを正確に検出することができ、そのパーティクル発生量の変動に合わせた適切なプロセス管理によって、膜中に含まれるパーティクルを管理することができるアークイオンプレーティングを用いた成膜方法及びその成膜装置を提供する。
【解決手段】真空炉1本体に通じる開口部51を一端部に備え、他端部を閉塞した筒体5と、筒体5の他端部に取り付けられたパーティクル検出手段6とを備え、筒体5は、その軸芯の延長線上にターゲット表面の一部が位置するように配置され、開口部51の最小開口径Dに対する基準点60と開口部51との間の距離Lの比率が12以上30以下となるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、1〜50nmの層厚の薄層Aと1〜50nmの層厚の薄層Bとが交互に積層された100〜500nmの層厚の複層領域と、100〜500nmの層厚の単一層にて構成された単層領域との交互積層構造からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、薄層Aは、Tiの窒化物層、薄層Bは、[Ti1−XSi]N(Xは原子比で0.01〜0.30)層であって、単一層は、前記薄層Aと同一種の層で構成するとともに、硬質被覆層の表面近傍に前記薄層Bと同一組成・成分で0.3〜1μmの層厚の単一層からなる中間層を設けたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、1〜50nmの層厚の薄層Aと1〜50nmの層厚の薄層Bとが交互に積層された100〜500nmの層厚の複層領域と、100〜500nmの層厚の単一層にて構成された単層領域との交互積層構造からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、薄層Aは、[Al1−XCr]N(Xは原子比で0.30〜0.80)層、薄層Bは、[Al1−Y−ZTiSi]N(Yは原子比で0.15〜0.94、Zは原子比で0.01〜0.15)層であって、単一層は、前記薄層Aと同一種の層で構成するとともに、硬質被覆層の表面近傍に前記薄層Bと同一組成・成分で0.3〜1μmの層厚の単一層からなる中間層を設けたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】被削材の高硬度化などの厳しい切削加工条件において長寿命を実現できる被覆部材の提供を目的とする。
【解決手段】基材と基材の表面に被覆された被膜とからなり、被膜の少なくとも1層はPVD法により被覆された(MAD)XR(但し、MはCr,Al,Ti,Hf,V,Zr,Ta,Mo,W,Y,Nbの中から選ばれた2種以上の金属元素を表し、LはMn,Cu,Ni,Co,B,Si,Sの中から選ばれた少なくとも1種の添加元素を表し、XはC,N,Oの中から選ばれた少なくとも1種の非金属元素を表し、AはMとLの合計に対するMの原子比を表し、DはMとLの合計に対するLの原子比を表し、RはMとLの合計に対するXの原子比を表し、0.90≦A≦0.99、0.01≦D≦0.10、A+D=1、0.95≦R≦1.10を満足する。)で表される硬質膜であり、硬質膜はX線回折における最高ピーク強度を(220)面に示す被覆部材。 (もっと読む)


【課題】高送り・乾式の深穴用ドリル加工条件においても硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性と切屑排出性を発揮する表面被覆ドリルを提供する。
【解決手段】ドリル基体の上に直接または中間層を介して、最表面に、(Ti1−xAl)N(x=0〜0.6)の成分系からなる粒径制御層が存在する表面被覆ドリルであって、前記ドリルの切屑排出溝のうち、先端からドリル基体の長さに沿って直径の5倍の長さまでの領域において、被膜断面の結晶粒形状を観察した際、粒径制御層を構成する結晶粒の平均アスペクト比が、ドリル先端から後方に向けて、1〜100の範囲で漸次減少している。 (もっと読む)


【課題】従来の皮膜よりも耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜を提供する。
【解決手段】(Al,M,Si,B,Ti1−a−b−c−d)(C1−e)からなる硬質皮膜(但し、MはW及び/又はMo)であって、
0.25≦a≦0.6、
0.05≦b≦0.3、
0.01≦c+d≦0.15、
0.5≦e≦1
(a,b,c,d,eはそれぞれAl,M,Si,B,Nの原子比を示す。)
であることを特徴とする硬質皮膜。 (もっと読む)


【課題】低炭素鋼、軟鋼等の軟質被削材の高速重切削加工条件下において、硬質被覆層がすぐれた密着性と潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】WC基超硬合金またはTiCN基サーメットで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層として、薄層A:(AlTi)N層または(AlTiM)N層と薄層B:立方晶構造のNbNと六方晶構造のNbNの混合組織からなり、かつ、該混合組織についてX線回折による回折ピーク強度を調査したとき、立方晶構造のNbNの(200)面からの回折ピーク強度をIc、また、六方晶構造のNbNの(103)面と(110)面からの回折ピーク強度をIhとした場合、0.1≦Ih/Ic≦0.7を満足する回折ピーク強度比を有する層との交互積層構造からなる層を形成した表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】低炭素鋼、軟鋼等の軟質被削材の高速重切削加工条件下において、硬質被覆層がすぐれた密着性と潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】WC基超硬合金またはTiCN基サーメットで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層として、下部層に(AlTi)N層または(AlTiM)N層を形成し、上部層に立方晶構造のNbNと六方晶構造のNbNの混合組織からなり、かつ、該混合組織についてX線回折による回折ピーク強度を調査したとき、立方晶構造のNbNの(200)面からの回折ピーク強度をIc、また、六方晶構造のNbNの(103)面と(110)面からの回折ピーク強度をIhとした場合、0.1≦Ih/Ic≦0.7を満足する回折ピーク強度比を有する層を形成した表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】低炭素鋼、軟鋼等の軟質被削材の高速重切削加工条件下において、硬質被覆層がすぐれた密着性と潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】WC基超硬合金またはTiCN基サーメットで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層として、薄層A:(AlCr)N層または(AlCrM)N層と薄層B:立方晶構造のNbNと六方晶構造のNbNの混合組織からなり、かつ、該混合組織についてX線回折による回折ピーク強度を調査したとき、立方晶構造のNbNの(200)面からの回折ピーク強度をIc、また、六方晶構造のNbNの(103)面と(110)面からの回折ピーク強度をIhとした場合、0.1≦Ih/Ic≦0.7を満足する回折ピーク強度比を有する層との交互積層構造からなる層を形成した表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】低炭素鋼、軟鋼等の軟質被削材の高速重切削加工条件下において、硬質被覆層がすぐれた密着性と潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】WC基超硬合金またはTiCN基サーメットで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層として、下部層に(Al,Cr)N層または(Al,Cr,M)N層を形成し、上部層に立方晶構造のNbNと六方晶構造のNbNの混合組織からなり、かつ、該混合組織についてX線回折による回折ピーク強度を調査したとき、立方晶構造のNbNの(200)面からの回折ピーク強度をIc、また、六方晶構造のNbNの(103)面と(110)面からの回折ピーク強度をIhとした場合、0.1≦Ih/Ic≦0.7を満足する回折ピーク強度比を有する層を形成した表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】アーク式蒸発源において、磁力線を基材方向に誘導して成膜速度を速くする。
【解決手段】本発明に係るアーク式蒸発源1は、ターゲット2の外周を取り囲んでいて磁化方向がターゲット2表面と直交する方向に沿うように配置された1又は複数の外周磁石3と、ターゲット2の背面側に配置された背面磁石4とを備え、背面磁石4は、極性が外周磁石3と同方向で且つ磁化方向がターゲット2表面と直交する方向に沿うように配置されている非リング状の第1の永久磁石4Aを有し、第1の永久磁石4Aとターゲット2との間、又は、第1の永久磁石4Aの背面側に、第1の永久磁石4Aと間隔をあけて配置された非リング状の第2の永久磁石4Bを有し、第2の永久磁石4Bは、極性が外周磁石3と同方向で且つ磁化方向がターゲット2表面と直交する方向に沿うように配置されており、第1の永久磁石4Aと第2の永久磁石4Bとの間に磁性体5が配置されている。 (もっと読む)


【課題】優れた導電性及び耐食性を有する導電部材、その製造方法、並びにこれを用いた燃料電池用セパレータ及び固体高分子形燃料電池を提供する。
【解決手段】金属基材と、該金属基材上に形成された中間層と、該中間層上に形成された導電層と、を有する導電部材であって、該中間層が、該金属基材の構成成分と該導電層の構成成分と該中間層における結晶化を抑制する結晶化抑制成分とを含む。
金属基材の酸化皮膜を除去する工程(1)と、該工程(1)の後に実施され、該金属基材上に中間層を形成する工程(2)と、該工程(2)の後に実施され、該中間層上に導電層を形成する工程(3)と、を含む導電部材の製造方法であって、該工程(2)において、該金属基材の構成成分と該導電層の構成成分と当該中間層における結晶化を抑制する結晶化抑制成分とを含む中間層を形成する。 (もっと読む)


【課題】小径低速切削あるいは高速重切削等で、硬質被覆層の耐欠損性、耐剥離性、付着強度に優れるヘテロエピタキシャル界面を有する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】WC超硬基体表面に、柱状晶組織のTiAlN層を物理蒸着で被覆形成した表面被覆切削工具であって、WC超硬基体表面とTiAlN層との界面において、[0001]WC と [110]TiAlNが平行、かつ、 [10−10] WC と [001] TiAlN が平行である結晶粒の界面長さをX、また、[0001]WC と[111]TiAlNが平行、かつ、[11−20] WCと[110] TiAlNが平行である結晶粒の界面長さをXとした場合に、1>(X+X)/X≧0.3、(但し、Xは界面の全長)を満足するヘテロエピタキシャル界面を有する表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】 光学素子成形用型の型母材にFCVA法によってtaC膜を成膜する工程において、開角の大きな凸形状の型の周辺の傾斜部の膜質が劣るのを防ぐ。
【解決手段】 光学素子成形用型の型母材10に、FCVA法によりtaC膜12を成膜する工程で、型母材10を浮遊電位に保ち、絶縁部材3a、3bを介して型母材10を保持する型母材保持部材2に電圧を印加する。また、型母材10に内設した磁石4によって、型母材10の転写面の法線方向に磁力を作用させる磁場を形成することで、膜質を均一化する。 (もっと読む)


【課題】 真空チャンバ内のメンテナンスが容易で、電磁コイル等の磁気コイルの劣化が小さく、ランニングコストが安い装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 プラズマ輸送室2を広くすることを可能にするため、誘導磁場発生部8の少なくとも一部を真空チャンバ1内に取り込むとともに、該誘導磁場発生部8を構成する磁気コイル7をプラズマ輸送室2内に設けた大気空間部6a内に配置するようにした。 (もっと読む)


【課題】離型性の低下が抑制されたクロム系硬質被膜をPVD法で製造する。
【解決手段】真空チャンバ10a内の被成膜物21,22にバイアス電圧を印加しつつクロム蒸発源13a,14aと陽極13b,14bとの間にアーク放電を発生させることにより被成膜物21,22の表面にクロム層を形成する。真空チャンバ10a内に窒素を供給しつつクロム蒸発源13a,14aと陽極13b,14bとの間にアーク放電を発生させることによりクロム層の上に窒化クロム層を形成する。真空チャンバ10a内に窒素及び炭素を供給しつつクロム蒸発源13a,14aと陽極13b,14bとの間にアーク放電を発生させることにより窒化クロム層の上に炭窒化クロム層を形成する。真空チャンバ10a内に炭素を供給しつつクロム蒸発源13a,14aと陽極13b,14bとの間にアーク放電を発生させることにより炭窒化クロム層の上に非晶質の炭化クロム層を形成する。 (もっと読む)


【課題】安定して高い耐摩耗性を有するTiAlN膜、および、それを表面に設けたTiAlN膜形成体を提供する。
【解決手段】TiAlN膜形成体1は、表面粗さが0.005〜0.010μmRaである金属製基材2の表面にTiAlN膜3を形成してなり、上記TiAlN膜3は、(1)少なくとも、押し込み硬さが30GPa以上または押し込み弾性率が500GPa以上であり、かつ、(2)該TiAlN膜3の表面粗さが0.050μmRa以下である。また、必要に応じて、金属製基材2とTiAlN膜3との間に、TiAl合金を含む所定の中間層を設けてなる。 (もっと読む)


121 - 140 / 996