説明

Fターム[4K029CA13]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被覆処理方法 (12,489) | 基体にバイアス電位を設定をするもの (996)

Fターム[4K029CA13]に分類される特許

141 - 160 / 996


【課題】基板表面に形成された高アスペクト比の微細構造内の側面及び底面に、金属層を形成する際のカバレッジに優れた成膜装置及び成膜方法の提供。
【解決手段】微細構造が形成された基板表面4に、スパッタリングによって金属層を形成する成膜装置1であって、基板4と金属層の母材をなすターゲット5とを対向させて、両方を収納する内部空間を有するチャンバー2と、チャンバー2内を減圧する排気手段と、チャンバー2内にスパッタガスを導入するガス導入手段と、ターゲット5のスパッタ面5a前方に磁場を発生させる第一磁場発生手段6と、ターゲット5に負の直流電圧を印加する直流電源7と、ターゲット5から基板4へ向かう方向に磁場Bを発生させる第二磁場発生手段10と、が少なくとも備えられたことを特徴とする成膜装置1。 (もっと読む)


【課題】 1μm以上の開口径を有する高アスペクト比のTSVホールHがパターニング形成された処理対象物に対して、被覆性よく成膜できるスパッタリング方法を提供する。
【解決手段】 真空チャンバ1内に処理対象物と、処理対象物に形成しようとする金属膜に応じて作製されたターゲット2とを対向配置し、処理対象物の全面に亘って垂直な磁場が作用するように垂直磁場を発生させ、この真空チャンバ内にスパッタガスを導入し、ターゲットに所定の電力を投入して真空チャンバ内にプラズマを形成してターゲットをスパッタリングし、処理対象物に高周波バイアス電力を投入してターゲットからのスパッタ粒子やプラズマ中で電子で電離したイオンを引き込むようにしたものにおいて、前記バイアス電力を、200〜600Wの範囲とする。 (もっと読む)


【課題】フラーレンの六員環よりも大きな原子を内包する内包フラーレンの製造において、内包フラーレンの形成確率が高い製造方法を提供する。
【解決手段】内包イオンの照射と同時に、直径と質量が大きいイオンをフラーレン膜に照射する。質量が大きいイオンがフラーレン分子17に衝突するため、フラーレン分子17が大きく変形し、フラーレン分子17の開口部が大きくなり、内包イオンがフラーレン分子17のケージの中に入る確率が高くなる。 (もっと読む)


【課題】Ti合金、ステンレス鋼等の難削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐熱性および耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、前記硬質被覆層が、(a)組成式:(Ti1−αAlα)Nあるいは組成式:(Ti1−α−βAlαβ)N(但し、Mは、Tiを除く周期律表4a,5a,6a族の元素、Si、B、Yのうちから選ばれた1種又は2種以上の添加成分を示し、原子比で、0.45≦α≦0.75、0.01≦β≦0.25)を満足するTiとAl(とM)の複合窒化物層からなるTiAl(M)N薄層、(b)組成式:(Nb1−γγ)N(但し、原子比で、0.01≦γ≦0.15)を満足するNbとYの複合窒化物層からなるNbYN薄層、前記(a)、(b)の交互積層からなることを特徴とする表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】Ti合金、ステンレス鋼等の難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐熱性及び耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、組成式:(Nb1−γγ)N(但し、原子比で、0.01≦γ≦0.15)を満足するNbとYの複合窒化物層の単層から構成するか、または、組成式:(Ti1−αAlα)Nで表されるTiとAlの複合窒化物層からなる下部層、あるいは、組成式:(Ti1−α−βAlαβ)Nで表されるTiとAlとMの複合窒化物層からなる下部層(但し、Mは、Tiを除く周期律表4a,5a,6a族の元素、Si、B、Yのうちから選ばれた1種又は2種以上の添加成分を示し、原子比で、0.45≦α≦0.75、0.01≦β≦0.25)と前記(Nb1−γγ)N層からなる上部層との2層構造として構成する。 (もっと読む)


【課題】基板を回転させる機構のコスト低減に寄与する基板回転装置を提供する。
【解決手段】センタ孔を有する基板9を回転させてキャリアに支持された基板9の支持位置を変化させる基板回転装置は、駆動源に連結され、進退動、上下動及び左右動が可能なシャフトと、シャフトの端部側に固定され、センタ孔内側の縁部分を載せて基板9を鉛直姿勢で支持するための、上方に開放された支持溝が形成されたピック32とを有してなり、ピック32の回転中心とピック32との距離は、シャフトの上下動に伴い変化させることでピックの回転前後でキャリアに対する基板の位置の変化を抑え、基板9のワイパー動作を抑制できる。 (もっと読む)


【課題】Ti合金、高硬度ステンレス鋼、Ni基耐熱合金などの高硬度難削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐熱性および耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、(a)組成式:(Al1−αCrα)Nあるいは組成式:(Al1−α−βCrαβ)N(但し、Mは、Al、Crを除く周期律表4a,5a,6a族の元素、Si、B、Yのうちから選ばれた1種又は2種以上の添加成分を示し、原子比で、0.45≦α≦0.75、0.01≦β≦0.25)を満足するAlとCr(とM)の複合窒化物層からなるAlCr(M)N薄層、(b)組成式:(Nb1−γγ)N(但し、原子比で、0.01≦γ≦0.15)を満足するNbとYの複合窒化物層からなるNbYN薄層、前記(a)、(b)の交互積層からなる硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】高硬度難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐熱性および耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、(a)組成式:(Al1−α−βCrαβ)N(但し、Mは、Alを除く周期律表4a,5a,6a族の元素、Si、B、Yのうちから選ばれた1種又は2種以上の添加成分を示し、原子比で、0.45≦α≦0.75、0.01≦β≦0.25)を満足するAlとCr(とM)の複合窒化物層からなる下部層、(b)組成式:(Nb1−γγ)N(但し、原子比で、0.01≦γ≦0.15)を満足するNbとYの複合窒化物層からなる上部層、以上(a)、(b)で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】高硬度で溶着を起こしやすい被削材の高速切削加工で、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、1〜5μmの平均層厚を有し、かつ、組成式:(NbCr1−a−b)N(但し、aはNbの含有割合を示し、原子比で、0.5≦a≦0.7であり、bはCrの含有割合を示し、原子比で、0.2≦b≦0.4であり、1−a−bはYの含有割合を示し、原子比で、0.05≦1−a−b≦0.1である)を満足するNbとCrとYの複合窒化物層からなる硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】単一のスパッタ装置によって金属材料を凹部に埋め込む際にその埋め込み性を向上させることができるスパッタ方法及び該スパッタ方法に用いられるスパッタ装置を提供する。
【解決手段】
基板Sの凹部内に金属材料を埋め込むスパッタ方法では、基板Sにバイアス電圧を印加しつつターゲット18をスパッタする第1の工程と、基板Sにバイアス電圧を印加しない状態でターゲットをスパッタする第2の工程とを有し、第1の工程と第2の工程とは真空槽11内で順に実行される。第1の工程では、ターゲット18から放出された金属粒子とプラズマ中の荷電粒子とが衝突する圧力でターゲット18をスパッタして電荷を帯びた金属粒子を生成し、電荷を帯びた金属粒子を凹部の内部に向けてバイアス電圧により引き込む。第2の工程では、基板Sに付着する金属粒子が凹部内に流動するように基板Sの温度を第1の工程よりも高くしてターゲット18をスパッタする。 (もっと読む)


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、1〜50nmの層厚の薄層Aと1〜50nmの層厚の薄層Bとが交互に積層された100〜500nmの層厚の複層領域と、100〜500nmの層厚の単一層にて構成された単層領域との交互積層構造からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、薄層Aは、[Al1−xCr]N(xは原子比で0.30〜0.80)層、薄層Bは、[Ti1−ySi]N(yは原子比で0.01〜0.30)層であって、単一層は、前記薄層Aと同一種の層で構成するとともに、硬質被覆層の表面近傍に前記薄層Bと同一組成・成分で0.3〜1μmの層厚の単一層からなる中間層を設けたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】汎用性の高いフレキシブル基材上にシート抵抗値が十分に小さく、湿熱条件後においてもシート抵抗値の上昇が抑制できる透明導電層を具備する透明導電性フィルム及びその製造方法並びに透明導電性フィルムを用いた電子デバイスを提供する。
【解決手段】フレキシブル基材11の少なくとも片面に、(A)珪素、炭素及び酸素を含む元素からなる化合物を含有するコート材料からなるアンダーコート層12と、(B)透明導電層13とが順次形成された透明導電性フィルムとする。 (もっと読む)


【課題】低炭素鋼、軟鋼などを切削する場合において、硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】WC基超硬合金またはTiCN基サーメットで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層として、立方晶構造のNbNと六方晶構造のNbNの混合組織からなり、かつ、該混合組織についてX線回折による回折ピーク強度を調査したとき、立方晶構造のNbNの(200)面からの回折ピーク強度をIc、また、六方晶構造のNbNの(103)面と(110)面からの回折ピーク強度をIhとした場合、0.1≦Ih/Ic≦0.7を満足する回折ピーク強度比を有する表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】接触応力の大きい用途に用いてもDLC膜が剥離することなく該DLC膜の優れた潤滑特性を長期にわたって確保することができる転がり摺動部材を提供することを目的とするものである。
【解決手段】外面に軌道面を有する内側部材と、該内側部材の軌道面に対向する軌道面を有して前記内側部材の外側に配置された外側部材と、前記両軌道面間に転動自在に配置された転動体とを備え、前記内側部材の軌道面、前記外側部材の軌道面および前記転動体の内の少なくとも一つの母材表面が鋼で形成され、且つ、該母材表面上にダイヤモンドライクカーボン膜が形成された転がり摺動部材であって、前記ダイヤモンドライクカーボン膜は、中間層と炭素層とを備えるとともに、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の残留応力が、−300MPa〜300MPaの範囲内になるよう成膜する。 (もっと読む)


【課題】高硬度鋼の高速切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、(Ti,Al,M)N(但し、Mは、WまたはMo)からなる硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、粒状晶(Ti,Al,M)Nからなる薄層Aと柱状晶(Ti,Al,M)Nからなる薄層Bの交互積層構造として構成され、薄層Aおよび薄層Bはそれぞれ0.05〜2μmの層厚を有し、さらに、前記粒状晶の結晶粒径は30nm以下、また、前記柱状晶の結晶粒径は50〜500nmである。 (もっと読む)


【課題】高硬度鋼の高速高送り切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、(Ti,Al,B)Nからなる硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、粒状晶(Ti,Al,B)Nからなる薄層Aと柱状晶(Ti,Al,B)Nからなる薄層Bの交互積層構造として構成され、薄層Aおよび薄層Bはそれぞれ0.05〜2μmの層厚を有し、さらに、前記粒状晶の結晶粒径は30nm以下、また、前記柱状晶の結晶粒径は50〜500nmである。 (もっと読む)


【課題】高硬度鋼の高速切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、(Cr,Al,V)Nからなる硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、粒状晶(Cr,Al,V)Nからなる薄層Aと柱状晶(Cr,Al,V)Nからなる薄層Bの交互積層構造として構成され、薄層Aおよび薄層Bはそれぞれ0.05〜2μmの層厚を有し、さらに、前記粒状晶の結晶粒径は30nm以下、また、前記柱状晶の結晶粒径は50〜500nmである。 (もっと読む)


【課題】高硬度から低硬度の材料まで広範囲の基材に対し、高硬度のDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を最表面側に含むDLC多層膜を約3μm以上厚く形成しても、基材およびDLC膜の双方に対して優れた密着性を備えており、耐摩耗性にも優れたDLC成形体の製造方法を提供する。
【解決手段】DLC硬質多層膜成形体10の製造方法は、基材1を用意する工程(a)と、前記基材の上に、中間層2aをスパッタリング法によって形成する工程(b)と、前記中間層の上に、第1のダイヤモンドライクカーボン系膜3aをスパッタリング法によって形成する工程(c)と、前記第1のダイヤモンドライクカーボン系膜の上に、前記第1のダイヤモンドライクカーボン系膜よりも表面硬度の高い第2のダイヤモンドライクカーボン系膜3bをカソード放電型アークイオンプレーティング法によって形成する工程(d)と、を包含する。 (もっと読む)


【課題】 高硬度鋼の高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、(Al,Ti)Nからなる硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、粒状晶(Al,Ti)Nからなる薄層Aと柱状晶(Al,Ti)Nからなる薄層Bの交互積層構造として構成され、薄層Aおよび薄層Bはそれぞれ0.05〜2μmの層厚を有し、さらに、上記粒状晶の結晶粒径は30nm以下、また、上記柱状晶の結晶粒径は50〜500nmである。 (もっと読む)


【課題】 高硬度鋼の高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、(Cr,Al,Ti,B)Nからなる硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、粒状晶(Cr,Al,Ti,B)Nからなる薄層Aと柱状晶(Cr,Al,Ti,B)Nからなる薄層Bの交互積層構造として構成され、薄層Aおよび薄層Bはそれぞれ0.05〜2μmの層厚を有し、さらに、上記粒状晶の結晶粒径は30nm以下、また、上記柱状晶の結晶粒径は50〜500nmである。 (もっと読む)


141 - 160 / 996