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Fターム[4K029CA17]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被覆処理方法 (12,489) | 基体の振動、転動 (32)

Fターム[4K029CA17]に分類される特許

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【課題】本発明は、電極触媒の製造方法に関し、スパッタリング時に微細化した触媒金属をカーボン粉末の表面に担持可能な電極触媒の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】内部が真空に保持された回転バレルと、該回転バレル内に配置したターゲットユニットと、該ターゲットユニットに接続されプラズマを発生可能なスパッタリング電源と、を備えたスパッタリング装置を用い、上記回転バレル内に比表面積300m/g以下のカーボン粉末を収納すると共に、上記ターゲットユニット内に白金プレートを設置して、上記回転バレルを回転させつつ上記スパッタリング電源によりプラズマを発生させて、上記白金プレートの白金を上記カーボン粉末にスパッタリングする。 (もっと読む)


【課題】種々の形状と材質とを有する被処理物の全表面に種々の材料による薄膜を好ましく形成する安価で作業性に優れたスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】真空容器1内には被処理物3を収納するバレル5と、ターゲット表面を有するスパッタリングカソード7とを配設し、該バレルに回転と進退と揺動とを組み合わせた動きを与えることにより、該バレル内の被処理物を転動、混合させ、以て該被処理物の全表面にターゲット材の成膜を行うようにしたことを特徴とするスパッタリング装置。 (もっと読む)


【課題】微粒子の表面全体に均一厚さのPVD皮膜を形成することができるようにする。
【解決手段】真空チャンバ1内に蒸着源2及びこれと一定の位置関係に保持された処理容器3を配置して、処理容器3内において微粒子にこれを運動させつつPVD皮膜を形成するようにした微粒子の皮膜形成方法において、処理容器3を、これが回転盤6の外周部に複数のバケット7を周方向に並列配置してなるものとして、回転盤表面6aの水平面12に対する角度αが1°〜75°となる傾斜状態で回転盤表面6aに直交する軸線14回りで一定方向Rに回転させることにより、上方へと回行したバケット7から回転盤表面6a上に放出された微粒子が当該表面6a上を転動しつつ流下して下方に位置するバケット7に流入するようにして、微粒子に、これが回転盤表面6a上を転動,流下する間において、PVD皮膜を形成するようにする。 (もっと読む)


【課題】接合時の変形に追従して被膜の断裂や密着性の悪化などが生じず、耐電位差腐食性に優れた金属被膜がコーティングされたセルフピアスリベットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】鉄またはその合金を母材とし、その表面に柱状結晶組織の金属被膜を有する。またその製造方法は、鉄またはその合金によって形成された母材の表面に、雰囲気圧力0.1〜3.0Pa、平均成膜速度0.01〜10μm/分で、金属蒸着被膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】微粒子に付着材料を容易に蒸着することができ、さらに、回収率を高めることが可能な、複合微粒子の製造装置を提供する。
【解決手段】微粒子を収容する回転体と、回転体内の微粒子に遠心力を付与する遠心機と、任意の傾斜角度に回転体を可動し、回転体を支持する傾斜可動手段とを備える複合微粒子の製造装置を構成する。さらに、複合微粒子の製造装置は、回転体の回転中心から重力方向に引いた垂線よりも、微粒子が最上点から下降する回転側に回転体の回転中心から重力方向に引いた垂線と直交する水平線側に設けられている撹拌手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】V溝といった斜めの壁を有する溝において、高品位に成膜可能なスパッタリング装置および成膜方法を提供すること。
【解決手段】本発明のスパッタリング装置は、回転可能なカソード102と、回転可能なステージ101と、回転可能な遮蔽板105とを備える。遮蔽板105は、スリット状の開口部108を有し、該開口部108を介してスパッタ粒子が通過可能であり、開口部108は、遮蔽板105の回転方向の幅より該回転方向に垂直な方向の幅が広い。また、基板支持面に配置された基板104には少なくとも1つのV溝が形成されており、該V溝の長手方向は、遮蔽板105の回転方向に垂直な方向に一致するように形成されている。 (もっと読む)


【課題】球状体の温度を正確に把握しつつ、表面の全域に対して表面処理を実施することを可能とする球状体の表面処理用治具、球状体の表面処理方法および球状部品の製造方法を提供する。
【解決手段】球状体の表面処理用治具である治具1は、球状体が固定されて保持される第1固定部11Aおよび第2固定部11Bと、球状体が案内されつつ転動することが可能な転がり案内部12とを備えている。そして、第1固定部11Aと第2固定部11Bとは転がり案内部12により接続されている。 (もっと読む)


【解決課題】磁性を有する粉末の表面に、スパッタリング法で種々の金属をコーティングすることができる磁性粉末コーティング用スパッタリング装置を提供すること。
【解決手段】真空に保持された回転ドラム内で、磁性を有する粉末をスパッタ粒子でコーティングする粉末コーティング用スパッタリング装置であって、半円筒状ケーシングとハウジングとによって形成される半円筒状の空洞部に非磁性でかつ導磁率が1.2以下の特性を有するオーステナイト系ステンレス鋼の粉末が充填され、バッキングプレート、マグネット及び冷却水通路と、ターゲットプレート及び粉末付着防止用スカートとを備えたスパッタリングユニットがハウジングの下側に取り付けられ、ターゲットプレートの表面が装入された磁性粉末に対して回転ドラムの回転中心点よりも遠い位置に設置されており、回転ドラム内に粉末撹拌翼が設置されている。 (もっと読む)


【課題】カソード電極とトリガ電極との間の短絡を効果的に抑止でき、メンテナンスフリーの状態における使用期間をより長期間とする(または使用回数をより多くする)ことのできるアーク蒸着装置を提供する。
【解決手段】カソード電極1と、これを包囲する絶縁ガイシ4と、この外周に設けられたCリング3と、この外周に設けられたトリガ電極2と、が一つのユニット体を形成して筒状のアノード電極6内に収容され、これが減圧容器8内に収容されてできるアーク蒸着源10を具備するアーク蒸着装置100であり、カソード電極1を構成する蒸着材料の消耗に応じて該カソード電極1を絶縁ガイシ4に対して相対的に移動させる第1の送り出し手段9Aと、少なくとも絶縁ガイシ4をCリング3の端部から突出させる第2の送り出し手段9Bとを備え、Cリング3の切欠き31はトリガ電極2側からカソード電極1側に向ってその切欠き幅が広くなっている。 (もっと読む)


【課題】所望の領域に寸法精度良く薄膜を形成することが可能な薄膜形成方法を得る。
【解決手段】基板上に半導体粒子または導電性粒子からなる薄膜を形成する薄膜形成方法であって、粒子径が100nm以下の前記半導体粒子または導電性粒子が分散された分散液を、前記基板の所定の領域に配置する配置工程と、前記分散液を配置した基板を20KHz以上、50MHz以下の周波数で振動させて前記所定の領域以外の領域に存在する前記分散液を除去する振動工程と、前記基板上の分散液の溶媒を除去して前記基板上に前記半導体粒子または導電性粒子からなる薄膜を形成する溶媒除去工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】回転体内の微粒子に遠心力を付与して、容易に微粒子の表面に略均一に付着材料を付着することができるようにすると共に、付着材料が付着された複合微粒子の回収率を高め、生産効率を向上させることができる複合微粒子の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】複合微粒子の製造装置10は、付着材料を付着させる微粒子2を収容する底面1aと側壁1bとを有する回転体1と、上記回転体1を回転させて上記回転体1内の微粒子2に遠心力を付与する遠心機3と、上記回転体1の底面1aが重力方向と直角を成す水平面から重力方向と平行となる鉛直面となるまで、任意の傾斜角度に上記回転体を可動し、該傾斜角度で回転体を支持する傾斜可動手段(傾斜可動装置)4とを備える。 (もっと読む)


【課題】蒸発材料の使用効率を向上させるとともに、蒸発材料の経時劣化を防止可能な有機材料蒸着技術を提供する。
【解決手段】本発明の蒸気放出装置は、複数の放出口12が面内に配列されたシャワープレート型の放出部11と、放出部11内に設けられ有機蒸発材料蒸気50を当該放出部11内に供給する供給管14とを有する。供給管14は、パイプ状に形成された本体部14aを有し、当該本体部14aに設けられた噴出口15から放出部11の底部11aに対して有機蒸発材料蒸気50を吹き付けるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】粉粒物の攪拌において攪拌されない粒子が発生しないようにする。
【解決手段】真空槽2と、蒸着源5を有する蒸着装置1内に配置され、
粉粒物7を収納する容器73と、粉粒物7の粒子を攪拌するスクレイパ75と、容器73に対しスクレイパ75を相対的に駆動させる駆動機構72とから成る粒子の攪拌装置3であって、
容器73の少なくとも内壁に粉粒物7と同種の材質をコーティングし、
スクレイパ75の少なくとも容器73の内壁と接する部分に蒸着源5で蒸発される蒸着材料11と同種の材質または粉粒物7と同種の材質をコーティングした粒子の攪拌装置3。容器73のコーティングおよびスクレイパ75のコーティングが削られて発生する屑は、粉粒物7または蒸着材料11と同種の材質であるから不純物とはならない。 (もっと読む)


【課題】ナノサイズの酸化物微粒子からなる膜あるいは層を高精度に形成することができる微粒子膜の形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る微粒子膜の形成方法は、筒状のアノード電極21と、アノード電極21内に配置された蒸着材料22Aを有するカソード電極22と、カソード電極22から離間してアノード電極21内に配置されたトリガ電極23とを備えた同軸型真空アーク蒸着源13を用い、真空槽10内に、反応性ガス(酸素)を導入した雰囲気下で、蒸着材料22Aの微粒子を被着体15の表面へ蒸着させる。真空アーク蒸着源13で形成されたナノサイズの微粒子は、酸素と反応して酸化物を形成する。これを被着体15へ蒸着させることにより、ナノサイズの酸化物微粒子膜を高精度に形成することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】高価な貴金属であるPt、Ruの使用量を抑制しつつ、燃料電池に用いるのに好適な高活性かつ高安定性を有する触媒、この触媒の製造方法、この触媒を用いた膜電極複合体および燃料電池を提供する。
【解決手段】導電性担体と、前記導電性担体に担持され、下記(1)式で表される組成を有する触媒粒子であって、PtRuMg (1)(式中、uは30〜60atm%、xは20〜50atm%、yは0.5〜20atm%、zは0.5〜40atm%である)T元素がSi、W、Mo、V、Ta、Crおよびそれらの組み合わせからなる群より選ばれてなり、X線光電子分光法(XPS)によるスペクトルにおける酸素結合を有するT元素の量が、金属結合を有するT元素の量の4倍以下である触媒粒子を含む。 (もっと読む)


【課題】 絶縁体である担体粒子の表面に均等に、かつ排ガスの浄化触媒として機能する場所である排ガスと貴金属ナノ粒子と担体との三相界面が効率よく形成されるように貴金属ナノ粒子を担持させること。
【解決手段】 白金の円柱状カソード電極22、その外周の絶縁碍子23、その外周のトリガ電極24、その外周から所定の間隔をあけた円筒状で一端が真空チャンバ11内に開口され他端が閉じられたアノード電極25からなる同軸型真空アーク蒸着源21を備えた真空アーク蒸着装置1を使用し、カソード電極22とアノード電極25との間に間欠的にアーク放電を誘起させて、カソード電極22から蒸発しプラズマ化される白金を担体のアルミナ粒子Pへに到らせ、その表面に白金のナノ粒子を形成させる。 (もっと読む)


【課題】粉体全面に均一に金属微粒子を担持せしめるための同軸型真空アーク蒸着装置を用いた粉体攪拌機構、金属微粒子担持粉体の作製方法及び燃料電池用触媒を提供する。
【解決手段】粉体用容器1の上方近傍に設けられた突き当て部材3と、突き当て部材に容器を突き当てるために容器を揺動させるための揺動機構とを有する粉体攪拌機構及びこの攪拌機構と同軸型真空アーク蒸着源2とを備えた同軸型真空アーク蒸着装置を用いて金属微粒子担持粉体を作製する。この金属微粒子担持粉体からなる燃料電池用触媒を提案する。 (もっと読む)


【課題】複雑な外形を有する加工物の全面に所望通りに被覆材料を付着させる装置を提供する。
【解決手段】加工物に真空めっきを施す装置10は、被覆材料を内包し、高温かつ準大気圧で作用しうるめっきチャンバと;めっきチャンバ内および被覆材料上に電子ビームを照射し、被覆材料を溶解させ溶融被覆材料を気化させるよう作用しうる電子ビーム銃と;めっきチャンバ14内における加工物12の支持および操作を行う機構34とを含む。支持機構34は、加工物を保持する結合装置58と;加工物の全方向の移動を可能にする継手と;結合装置58と継手とを接続する中間部材と;加工物を所定の垂直面66内において移動させる装置とをさらに含む。支持機構34は、中間部材に接続し加工物を所定の水平面において移動させる装置92を含みうる。 (もっと読む)


【課題】回収に特段の手間を要することなく、所望の微粒子を製造する。
【解決手段】筒型の回転ステージ2を回転させる工程と、不活性ガスを導入する工程と、物理的気相成長を開始して微粒子11を生成させる工程と、によって、微粒子の製造を行う。 (もっと読む)


【課題】原料粉体表面に均一なナノメートルオーダの粒子を付着せしめる方法及びこの方法を利用して得られた燃料電池用触媒の提供。
【解決手段】トリガ電極とカソード電極とが絶縁碍子を挟んで隣接して配置されてなり、カソード電極とトリガ電極との周りに同軸状にアノード電極が配置されている同軸型真空アーク蒸着源を備えている同軸型真空アーク蒸着装置を用い、トリガ電極とアノード電極との間にトリガ放電をパルス的に発生させ、カソード電極とアノード電極との間にアーク放電を断続的に誘起させ、原料粉体にナノ金属粒子を付着せしめる。粒径10〜100nmのカーボン粉体の表面に、上記のようにして作製したナノ粒子を金属触媒として担持させる。 (もっと読む)


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