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Fターム[4K029DB06]の内容

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Fターム[4K029DB06]に分類される特許

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【課題】種々の基板5の表面に分布が均一の成膜等の真空処理を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】基板5が配置される真空槽2と、真空槽2の外部に設けられ処理ガスを供給する処理ガス供給源7と、配管を用いて構成され、処理ガス供給源7から供給された処理ガスを基板5に向って放出する蒸気放出器10とを備える。蒸気放出器10は、有機材料の蒸気の導入側から放出側に向って4n-1(nは自然数)の等比級数で段階的に分岐する第1〜第3の分岐配管ユニット11〜13を有する分岐配管群110〜130を備え、最終段の第3の分岐配管群130における分岐配管ユニット13のガス放出側端部に、処理ガスを放出する蒸気放出口14a〜14dがそれぞれ設けられ、これら複数のガス放出口14a〜14dから基板5に向って有機材料の蒸気を放出するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、基板等の破損を低減し、稼働率の高い有機ELデバイス製造装置及び製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、基板を載置する蒸着ステージとマスクを相対的に移動させ、前記基板と前記マスクを密着させ、真空中雰囲気において前記基板に蒸着材料を蒸着する有機ELデバイス製造装置または製造方法において、前記密着は、前記駆動源の負荷を状態量として監視し、前記状態量の変化に基づいて前記移動を制御することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】生産工程におけるタクトタイムの短縮が可能な蒸着装置を提供することである。
【解決手段】ガラス基板20を設置可能な真空室2と、薄膜材料を蒸発させる蒸発装置3とを有し、真空室2内にガラス基板20を設置し、蒸発装置3によって蒸発された薄膜材料を蒸散させてガラス基板20に所定成分の膜を蒸着する蒸着装置1において、ガラス基板20を回転又は円弧軌跡上を回動させてガラス基板20の向きを変更する姿勢変更手段8と、複数の蒸発装置3とこれに対応する複数の薄膜材料放出部6を有し、薄膜材料放出部6はガラス基板20を囲む位置に配置されており、姿勢変更手段8によってガラス基板20を各薄膜材料放出部6に順次対向させ、各薄膜材料放出部6から順次薄膜材料を蒸散させてガラス基板20に異なる薄膜材料を積層することが可能である。 (もっと読む)


【課題】スリット状開孔部の振動による閉塞を防止し、高精細なパターン成膜を安定して実施しうる成膜マスクを提供する。
【解決手段】金属箔8にスリット状開孔部4を複数本開孔してなる成膜マスク1において、スリット状開孔部4の少なくとも一方の端部の開孔形状を、スリット状開孔部4の幅方向の中心線Oを中心に非対称である形状とする。 (もっと読む)


【課題】極めて短時間の紫外線照射処理によって、ばらつきの少なく長時間安定して極めて良好な親水性を示すことができるようなポリ尿素膜の親水化処理方法を提供する。
【解決手段】被処理物に成膜されたポリ尿素膜の表面の親水化方法であって、真空処理室1において被処理物にポリ尿素膜を成膜させた後、該被処理物を大気中の水分と接触させずに親水化処理室7に移動させ、該親水化処理室において酸素ガス雰囲気中でポリ尿素膜が成膜された被処理物に紫外線照射することにより親水化処理を行う。 (もっと読む)


【課題】本発明は、輝度を低下させずに高精細化を図ることを目的とする。
【解決手段】複数の画素電極24を有する回路基板10に、複数の貫通穴40を有する蒸着マスク38を使用した蒸着によって、有機材料からなる複数の発光層30を形成する。蒸着マスク38は、回路基板10に対向するように配置される第1面42と、第1面42とは反対側の第2面44と、を有する。第1面42及び第2面44を貫通するように複数の貫通穴40が形成されている。隣同士の貫通穴40に連通するように第1面42に凹部52が形成され、凹部52に対向するようにリブ54が形成されている。 (もっと読む)


【課題】蒸発材料の指向性を弱めるとともに、絞り板の絞り口が塞がれることなく、安定して均一な膜厚の蒸着膜を生成し得る真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸発容器と、この蒸発容器で得られた蒸発材料を拡散し得る拡散容器と、この拡散容器に設けられて放出口33から蒸発材料を基板に向かって放出する放出用ノズル32と、この基板が内部に配置されて所定の真空度下で蒸着を行う蒸着用容器とを具備する真空蒸着装置であって、放出用ノズル32の内径を拡大することで形成されるとともに放出口33に対向する内壁段差34を有し、この内壁段差34に配置されて放出用ノズル32の内径よりも小径のオリフィス37が形成されたオリフィス板36と、このオリフィス板36を上記内壁段差34とで挟むように配置されたC形止め輪38とを具備したものである。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、より均一な成膜を実現できる、或いは高精彩なデバイスを製造できる有機ELデバイス製造装置及び製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、複数の受けピンを介して基板を水平状態の蒸着ステージで受渡し、前記蒸着ステージを回転させて略直立姿勢または直立姿勢にし、真空チャンバ内で前記基板に蒸着材料を蒸着する有機ELデバイス製造装置または製造方法において、前記複数の受けピンの先端より上方に前記蒸着ステージを移動し、前記基板を前記複数の受けピンから前記蒸着ステージに移載し、その状態で前記回転を行うことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】有機EL装置の製造に適した真空蒸着装置であり、一台の蒸着装置で複数層の膜を成膜することが可能な蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空蒸着装置(蒸着装置)1は真空室2を有し、真空室2内に、基板保持壁3と、4台の蒸発装置5a,5b,5c,5dと蒸気チャンバー6及び4個の坩堝設置室(蒸発装置設置部)12a,12b,12c,12dを内蔵している。坩堝設置室12の外周面には、設置室側電気ヒータ(発生部保温手段)18が取り付けられている。坩堝設置室12には設置室側温度センサー28が設けられている。それぞれの坩堝設置室12a,12b,12c,12dを各層の薄膜材料に適した温度に保温する。蒸気通過部13は、発生部保温手段の目標温度の中で最も高い最高目標温度以上の温度を目標温度として保温する。 (もっと読む)


【課題】有機EL素子を作製する際、大型の成膜対象物の表面に分布が均一な有機層の成膜を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】面蒸気放出器10に、蒸発材料であるホスト材料及びドーパント材料の蒸気が順次拡散される水平方向拡散部10H及び鉛直方向拡散部10Vを有する。水平方向拡散部10Hは、蒸発材料の蒸気の導入側から放出側に向って段階的に区分けされ第1〜第4連通口12〜42を介して接続された第1〜第4の拡散室11〜41を有する。鉛直方向拡散部10Vは、有機材料の蒸気の導入側から放出側に向って段階的に区分けされ第2及び第3連通口122、132を介して接続された第1〜第3の拡散室111〜131を有する。最終段の第3の拡散室131は、複数の第4連通口142を介してそれぞれ蒸気混合室141に接続されている。 (もっと読む)


【課題】基板に薄膜を成膜させるのと同時に、膜厚の制御を行うことが可能な蒸着処理装置を提供する。
【解決手段】蒸着によって基板に薄膜を成膜させる蒸着処理装置であって、材料ガスを供給する減圧自在な材料供給部と、前記基板に薄膜を成膜する成膜部を備え、前記成膜部は前記基板に噴射される材料ガスの蒸気濃度を測定する検知手段を有し、前記検知手段における測定結果に基づいて成膜条件を制御する制御部を設けた、蒸着処理装置が提供される。 (もっと読む)


【課題】有機ELデバイスを作製する際、大型の成膜対象物の表面に分布が均一な成膜を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】真空槽2内に設けられたプラズマCVD装置3と蒸着重合装置4とを備える。プラズマCVD装置3のプラズマ放出器10は、原料ガス供給源3Bから原料ガスがそれぞれ供給され互いの雰囲気が隔離されたガス分岐ユニット61〜64と、ガス分岐ユニット61〜64において拡散された原料ガスのプラズマを形成するプラズマ形成室51とを有する。蒸着重合装置4の蒸気放出器110は、原料モノマー供給源4Bから原料モノマーの蒸気がそれぞれ供給され互いの雰囲気が隔離された複数の蒸気分岐ユニット101A、101Bと、蒸気分岐ユニット101A、101Bにおいて拡散された複数の原料モノマーの蒸気を混合する蒸気混合室151とを有する。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、EL材料の利用効率を高め、且つ、EL層成膜の均一性やスループ
ットの優れた成膜装置の一つである蒸着装置及び蒸着方法を提供するものである。
【解決手段】
本発明は、蒸着室内において、蒸着材料が封入された容器を複数個設置した細長い矩形形
状の蒸着源ホルダ17に設け、基板13に対してあるピッチで移動しながら蒸着を行うこ
とを特徴とする。また、基板の一辺に対して矩形形状の蒸着ホルダの長手方向を斜めにし
たまま移動させてもよい。また、TFT作製時におけるレーザー光の走査方向に対して、
蒸着時における蒸着ホルダの移動方向を異ならせることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】大型の処理対象物の表面に対して分布が均一な処理を安価に行うことができる技術を提供する。
【解決手段】基板5に対して相対移動可能に設けられ、処理ガス供給源8から供給された処理ガスを放電させ、当該処理ガスのラジカルを基板5に向って放出するためのラジカル放出器10を備える。ラジカル放出器10は、処理ガス供給源8から処理ガスのプラズマがそれぞれ供給され且つ互いの雰囲気が隔離された第1〜第4の拡散室11〜41と、第1〜第4の拡散室11〜41にて拡散された処理ガスのプラズマを混合するプラズマ形成室51とを有する。プラズマ形成室51には、基板5の相対移動方向に対し直交するスリット状のスリット53が設けられている。 (もっと読む)


【課題】成膜装置に設けられ基板と成膜用マスクとの位置合わせをするアライメント機構に伝達する可能性がある振動及び変形を低減し、位置ずれを抑制することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板支持体と、マスク支持体と、を室内に備える成膜室と、前記成膜室の室外に設けられている支持体と、前記支持体上に設けられ、前記基板支持体の位置調整手段及び前記マスク支持体の位置調整手段の少なくとも一方と、アライメント用のカメラと、を備えるアライメント機構と、から構成され、前記支持体が、前記アライメント機構を載置する支持板と、脚部と、を有し、前記支持板が、前記脚部により前記成膜室の天板と離間して設けられており、前記支持板の少なくとも一部が、前記支持板に伝わる振動を熱エネルギーに変換して該振動を抑制可能にする制振材料で構成されていることを特徴とする、成膜装置。 (もっと読む)


【課題】基板の外周部の配線回路の損傷・破壊を抑えることが可能な成膜用マスクおよびこれを用いた表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】枠体40は、開口41の周囲に、基板11との対向面40Aから厚み方向の一部に段差42を有している。この段差42の端42Aは、基板11の外周部110Aの配線回路110B(配線回路露出領域110C)の端110Dよりも外側に位置している。基板11と枠体40とを密着させる際に、外周部110Aの配線回路110Bと枠体40との間に、段差42によるすきまGが生じる。よって、外周部110Aの配線回路110Bと枠体40との間に異物が挟みこまれてしまうことが回避される。また、重力で基板11がたわんでいても、基板11が開口41のエッジ41Aに最初に接触してしまうことが回避される。よって、外周部110Aの配線回路110Bの損傷・破壊が抑えられる。 (もっと読む)


【課題】薄膜材料の使用効率が高く、大型基板に所望形状の薄膜を形成できる技術を提供する。
【解決手段】
真空槽11内の処理台12の載置面13と対面する位置に放出装置本体311〜313を配置し、放出装置本体311〜313と載置面13との間に防熱板421〜423を配置し、防熱板421〜423に形成した孔431〜433内に放出装置本体311〜313に接続された細管331〜333を挿入させ、細管331〜333の先端を防熱板421〜423よりも載置面13に近い位置まで伸ばしておく。真空槽11内を真空排気し、細管331〜333から材料ガスを放出して載置面13上の成膜対象物表面に薄膜を形成するときに、細管331〜333先端は蒸発温度以上に加熱しておくことができ、材料ガスが凝縮して細管331〜333先端が閉塞することはなく、成膜対象物表面に、線状の薄膜を形成することができる。 (もっと読む)


【課題】蒸気発生部で発生させた成膜材料の蒸気を温度低下させること無く蒸着ヘッドに送ることができる蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着により被処理体Gを成膜処理する蒸着装置13であって、被処理体Gを成膜処理する処理室30と、成膜材料を蒸発させる蒸気発生室31とを隣接させて配置し、処理室30の内部と蒸気発生室31の内部を減圧させる排気機構36,41と、処理室30の内部に成膜材料の蒸気を供給する蒸着ユニット55〜60とを設け、蒸着ユニット55〜60は、処理室30の内部に向けて成膜材料の蒸気を噴出させる蒸気噴出口80と、蒸気発生室31に、成膜材料を蒸発させる蒸気発生部70〜72と、成膜材料の蒸気の供給を制御する制御弁75〜77と、蒸気発生部70〜72で発生させた成膜材料の蒸気を、処理室30と蒸気発生室31の外部に出さずに、蒸気噴出口80に供給させる流路81〜83、85とを備える。 (もっと読む)


【課題】高歩留まりあるいは高精細化に有効な有機エレクトロルミネッセンスパネルの構造と、それを実現するための適切なテンションを付与することができる蒸着マスクを使用した有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】枠体34と、間隔をあけて面状に並列された同じ幅の複数の線材38を有する第1サブマスク36と、少なくとも1つの開口44を有する第2サブマスク42と、を有する蒸着マスクを用意する。回路基板10に、蒸着マスクを使用した蒸着によって、有機材料からなる複数の発光層20を形成する。第1サブマスク36は、複数の線材38に長さ方向に張力が付与されるように枠体34に固定され、複数の線材38のみが張力の方向に一直線に切れ目なく連続し、複数の線材38が少なくとも1つの開口44と重なるように、第2サブマスク42の一方の面上に配置されている。 (もっと読む)


【課題】連続運転しても、蒸着材料の劣化を防止することで、蒸着膜の品質低下を防止できる蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸発容器11内に充填された蒸着材料Lを蒸発させて蒸着容器内に保持された基板に蒸着させる蒸着装置であって、蒸発容器11を保持して冷却する容器保持具12と、蒸着材料Lの表面部分を加熱用ランプ16及び反射板17で加熱する加熱装置15と、蒸着材料Lの表面位置を検出し得るレーザセンサ19とを具備し、容器保持具12を、蒸発容器11の底部を支持する載置部21と、蒸発容器11の側部を覆うと共に加熱用ランプ16及び反射板17が取り付けられた外周部23とから構成し、載置部21を昇降させる昇降装置14を設け、且つレーザセンサ19で検出された蒸着材料Lの表面位置に基づき昇降装置14を制御して加熱用ランプ16及び反射板17と上記表面位置とを所定距離に維持する制御装置9を設けたことを特徴とする。 (もっと読む)


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