例えば黒鉛状あるいはアモルファス炭素（すなわちａ−Ｃ）などの非ダイヤモンド状炭素とダイヤモンド状炭素（ＤＬＣ）との両方を含む様々な自己支持多層炭素フィルムが開示される。例えばアモルファス炭素の２つの層の間に挟まれた単一のＤＬＣ層を含む３層構造を含む最終製品において望まれる性質の特定の組み合わせに応じて、広範囲の多層構造が構成されてもよい。十分平坦な堆積面を含む適切な基板を用意する工程と、離型剤あるいは剥離剤を堆積面に塗布する工程と、複合炭素フィルムを形成するためにアモルファス炭素層とＤＬＣ炭素層との両方を含む複数の炭素層を堆積する工程と、複合炭素フィルムを基板から取り外す工程とを含む複合多層フィルムの製造方法の実施形態も開示される。
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【課題】ＵＮＣＤを形成する技術を提供する。
【解決手段】グラファイトで構成されたカソード電極１３２とトリガ電極１３４の間にトリガ放電を発生させ、アノード電極１３１とカソード電極１３２の間にアーク放電を誘起させ、カーボン蒸気のイオンを真空槽１０内に放出させる。真空槽１０内は水素ガス雰囲気にしておき、電荷を有するカーボン蒸気を成膜対象物２０に到達させる。成膜対象物２０の表面にＳｉＣ膜２２を形成しておくと、ＵＮＣＤが成長する。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化ポーラスアルミナ細孔内に真空蒸着法により他物質を充填するに際し、高アスペクト比の充填構造を簡便に、かつ、安価に達成可能とした、陽極酸化ポーラスアルミナ複合体の製造方法を提供する。
【解決手段】エッチング処理により少なくとも陽極酸化ポーラスアルミナの細孔の開口部を拡径した後、細孔内に真空蒸着により他物質を充填する方法であって、前記エッチング処理の後再び陽極酸化を行うことにより、初期に形成されていた細孔の底部から延長する細孔を形成し、この２段の細孔に対してさらに前記エッチング処理を行うことを特徴とする陽極酸化ポーラスアルミナ複合体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】生産性が良好となるように、発光素子の有機層上に金属層を形成することが可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】被処理基板を保持する保持台を内部に備えた処理容器と、金属を含む成膜原料を蒸発または昇華させて気体原料を生成する、前記処理容器の外部に設置された気体原料生成部と、前記処理容器内に前記気体原料を供給する気体原料供給部と、前記気体原料を前記気体原料生成部から前記気体原料供給部に輸送する輸送路と、を有し、前記被処理基板上の発光層を含む有機層上に金属を含む層を形成するように構成されていることを特徴とする成膜装置。 （もっと読む）

【課題】 広範囲な蒸着レートの設定が可能で、安定した蒸着レートを得ることが可能な安価な蒸着源セルを提供する。
【解決手段】 蒸着装置に用いる蒸着源セル２０であって、上部に開口部を有する坩堝３０と、坩堝３０の開口部の面積を制限する絞り部４２を有する独立した絞り部材４０と、絞り部材４０を直接加熱するヒータ５０とを備える構成とした。これにより、坩堝内部にてランダムに蒸発した蒸着物質１１８の噴出流量、噴出速度及び噴出方向を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】蒸発の起動停止および蒸発量を容易に調整できる。
【解決手段】蒸発容器２１内で材料収納部２０Ａに収容された材料を加熱溶融する第１加熱装置２２と、下部を溶融材料Ａに浸漬させて外周部材２３ａに同伴させ上方に搬送する円筒状の搬送ドラム２３と、搬送ドラム２３に同伴させて蒸発部２０Ｂに搬送された溶融材料Ａを加熱して蒸発させる第２加熱装置２４と、第２加熱装置２４の加熱温度を制御する蒸発制御装置とを具備した。 （もっと読む）

【課題】マスクの寿命を長く維持することが可能な基板ホルダ及び基板ホルダの取扱方法を提供する。
【解決手段】基板ホルダＷＨは、成膜対象である基板Ｗの一部を覆うパターンを有するマスクＭと、マスクＭを搭載するマスクフレームＦと、マスクフレームＦとの間でマスクＭとその上に搭載される基板Ｗとを挟持するホルダＨと、マスクフレームＦ及びホルダＨの一方に設けられた位置決め突起６０と、マスクフレームＦ及びホルダＨの他方に設けられ、位置決め突起６０が挿通されて、ホルダＨとマスクフレームＦとを位置決めする位置決め穴８０と、位置決め穴８０に隣接して設けられ、位置決め突起６０の先端部が係合される係合部８２と、を備え、位置決め突起６０の先端部が係合部８２に係合された状態では、マスクＭから離間してマスクフレームＦ上でホルダＨを支持可能である。 （もっと読む）

【解決手段】成膜室１０には、基板ステージ１２、蒸着材料１７が充填されている蒸発源１６が備えられている。成膜室１０の外部にレーザビームを発する光源２２が設けられている。光源２２からのレーザビームは光導入窓１４を通り、蒸着材料１６に照射される。レーザビームの照射により蒸着材料１６を気化し、基板３０に膜が形成される。
【効果】気化された蒸着材料は組成比が変化しないため、緻密な薄膜、歪みや欠陥の少ない均質な薄膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、耐熱性超合金及びステンレス鋼を旋削加工するために、基材及び被膜を含んで成る切削工具インサートに関する。
【解決手段】５〜７のＣｏと、０．１５〜０．６０ｗｔ％のＴａＣと、０．１０〜０．５０ｗｔ％ＮｂＣと、残部ＷＣとを含んで成るこの基材は、１９．５〜２４．５ｋＡ／ｍの保磁力、及び０．８５〜１．００のＣＷ比を有する。この被膜は、ｘ＝０．６〜０．７である均質なＡｌ_ｘＴｉ_１−ｘＮの層、及び＞１μｍであるが＜３．８μｍの厚みとを含んで成る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、耐熱性超合金及びステンレス鋼を突っ切り加工及び溝切り加工するために、基材及び被膜を含んで成る切削工具インサートに関する。
【解決手段】この基材は、５〜７のＣｏと、０．１５〜０．６０ｗｔ％のＴａＣと、０．１０〜０．５０ｗｔ％ＮｂＣと、残部ＷＣとからなる。この被膜は、ｘ＝０．６〜０．７を備えた均質なＡｌ_ｘＴｉ_１−ｘＮの層と、１〜３．８μｍの厚みとを含んで成る。 （もっと読む）

【課題】 真空蒸着装置のホットプレート型蒸発源に関し、蒸発材料中に含まれた余分な成分、分解物、溶剤、ガス等が被蒸着基板に蒸着されるのを防止する。また、蒸発材料が蒸発源に固着し蒸発レートが変化するのを防止する。
【解決手段】 真空容器７０内に略階段状に配置した複数の傾斜板３０、４０、５０と、前記各傾斜板を加熱する加熱手段９１、９２、９３と、前記最上段に位置する傾斜板３０の上端側近傍に配設した蒸発材料供給ノズル１０とからなり、蒸発材料８１が前記各傾斜板の上面を流動する間に蒸発材料８１を蒸発させる構成。また、予熱部廃棄部、メイン蒸発部、老廃物廃棄部の３つのゾーンと加熱手段とを備えたフード２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを傾斜板の上方に配設した。 （もっと読む）

【課題】電子注入効率が高く低電圧駆動が可能な有機発光素子を製造する方法を提供する。
【解決手段】電子注入層を形成する工程は、ドーパントの原料であるドーパント材料５を収容容器３内でガス状態にする工程と、ガス状態のドーパント材料を収容容器３から基板までの間で加熱された媒体１を通過させる工程と、有機化合物を電子注入層として形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

開口マスクアセンブリは、回転フレームと、開口を持つマスクとを包含する。マスクに張力を印加し、フレームにより規定される形状にマスクを適合させるのに、クランプ装置が使用される。フレームの軸に対して実質的に平行な方向に、及び／又はフレームにより規定される形状の周面において、マスクに張力が印加される。回転フレーム内に設けられた堆積源から発散される堆積材料は、マスク開口を通してウェブに堆積される。
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【課題】基体の耐酸化性を改善するコーティング方法を提供する。
【解決手段】ニッケル基合金基体１０は、表面１２を有し、プラチナ層１４は、好ましくは、電気めっき技術を用いてこの表面１２に堆積される。Ｎｉ‐Ａｌ‐Ｈｆ材料の層１６は、プラチナ層の上に堆積される。酸化アルミニウムのスケール層１８は、セラミック層２０の堆積前、または堆積中に、ボンドコートに形成される。セラミックトップコート層２０は、表面１２に対して実質的に垂直かつボンドコートから外側に向いて延びている、柱状晶のミクロ構造によって特徴付けられる。 （もっと読む）

【課題】蒸着装置および方法において、突沸により発生した物質を捕捉するとともに、十分な膜厚を安定して確保する。
【解決手段】蒸着材料５を加熱して、蒸発した該蒸着材料を基板３に蒸着させる蒸着装置１は、蒸着材料５を収容する本体１１と、蒸着材料５より上方に配置されて蒸着材料５の突沸により発生する物質を捕捉する捕捉部材１２とを有する蒸着ボート６と、蒸着ボート６を加熱する加熱手段７とを備える。蒸着の際に、捕捉部材１２の温度が、蒸着材料５の温度以上となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】成膜時間に関係なく一定の成膜レートを維持することのできるＭＢＥ装置等を提供する。
【解決手段】本発明のＭＢＥ装置１００は、分子線発生部１０ａ・１０ｂと、真空計１４ａ・１４ｂと、光源ユニット６と受光ユニット７とを有する原子吸光式成膜モニタ８と、分子線発生部１０ａ・１０ｂの温度を制御する温度制御演算器１３とを備えている。温度制御演算器１３は、原子吸光式成膜モニタ８の測定結果が、真空計１４ａ・１４ｂの測定結果から算出した分子線源の残量より算出した原子吸光式成膜モニタ８の制御目標値となるように、分子線発生部１０ａ・１０ｂの温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】蒸着法により薄膜を形成するに際し、均一かつ緻密な薄膜を形成することができるとともに、例えば、膜形成材料の有効利用が可能な蒸着装置を提供すること。
【解決手段】蒸着装置１０は、チャンバ１１と、チャンバ１１内に設けられ、膜材料１３を収納するルツボ１４と、基板２を保持する基板ホルダー１２と、いずれもルツボ１４を覆って膜材料１３の気化物が基板２側に向かうのを阻止する阻止位置と、気化物が基板２側に向かうのを許容する許容位置とに変位可能に設けられた第１のシャッター部材２１および第２のシャッター部材２２と、各シャッター部材２１、２２の作動を制御する制御手段３２を有している。この制御手段３２は、第１のシャッター部材２１と、第２のシャッター部材２２とを異なる時間に前記阻止位置に変位させるよう構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガスタービンエンジンのタービン、燃焼器、およびオーグメンタ部を含む、都合の悪い熱環境で使用される部品（１０）の表面上の環境保護コーティングとして使用するのに適切なコーティング（２４）を提供すること。
【解決手段】コーティング（２４）は、超合金材料でできた基板（２２）の上に被着されたコーティングシステム（２０）内で使用される。コーティング（２４）は、超合金基板（２２）の表面に接触し、超合金材料の５０％より大きい引張強度を有するコーティング材料でできている。コーティング材料は主に、白金、ロジウム、パラジウム、およびイリジウムからなる群から選択された少なくとも１つの金属であり、コーティング（２４）を上に被着させる部品（１０）の強度にかなり貢献するのに十分な強度を有する。 （もっと読む）

【課題】 粉末の詰まりを低減する粉末加熱装置を提供する。
【解決手段】 粉末供給装置１、分散器２、直流プラズマ発生装置のトーチ４及び、分散器２からの配管Ｔ２に繋がる孔２２が設けられた第１柱状部２１Ａと、この孔に繋がる開口部の径がこの孔の径より大きく、徐々にその径が小さくなる分岐孔２５ｂ，２５ｃが設けられた第２の柱状部２１Ｂと、各分岐孔に繋がる開口部の径が各分岐孔の径より大きい孔２６ａ，２６ｂが設けられた第３柱状部２１Ｃから成るマニフォールド体の本体２１を備えている。 （もっと読む）

プロセスチャンバコンポーネントは、使用中、チャンバ内で励起されたガスに露出され、パリレンコーティングを含む第１の表面と、使用中、励起されたガスに露出されない第２の表面とを含む。プロセスチャンバの内部表面は、イン・サイチュで、ポリマーコーティングによりコートすることができる。可搬性設備を用いて、プロセスチャンバにポリマーコーティングを形成することができる。前にコートしたチャンバコンポーネントはまた、ポリマーをオゾン及び／又は酸素により剥離し、ポリマーを再コートすることによって、再生することもできる。
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