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Fターム[4K029DB18]の内容

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Fターム[4K029DB18]に分類される特許

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【課題】大型基板に偏りなく均一に多品種の積層膜を成膜可能な成膜装置若しくは成膜方法を提供することを課題の一とする。また、複数の材料で形成される薄膜の組成を精密に制御することが可能な成膜装置若しくは成膜方法を提供することを課題の一とする。
【解決手段】半径方向に並べて配置された複数の蒸着源を有する蒸着源群を、回転軸に対して放射状に複数配置する。成膜は回転軸に対して基板が公転、または蒸着源群を配置したテーブルが自転、若しくはその両方をさせながら行う。その際、回転半径の小さい箇所と大きい箇所とでは線速度が異なるため、成膜速度を均一にするために、テーブルに半径方向に並べた蒸着源は、外側に向かうほど気化速度が速くなるよう制御すればよい。 (もっと読む)


【課題】蒸着レートを正確に計測し、より高精度の膜厚制御を行うことを可能にする真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー50と、基板保持機構と、蒸着源30と、モニタ用膜厚センサー20と、校正用膜厚センサー10と、制御系60と、を有し、蒸着源30の開口部32の中心から校正用膜厚センサー10までの距離L1と、蒸着源30の開口部32の中心からモニタ用膜厚センサー20までの距離L2との間にL1≦L2の関係が成り立ち、かつ、蒸着源30の開口部32の中心から基板40の成膜面に下ろした垂線と、蒸着源30の開口部32の中心と校正用膜厚センサー10とを結ぶ直線とでなす角度θ1と、蒸着源30の開口部32の中心から基板40の成膜面に下ろした垂線と、蒸着源30の開口部32の中心とモニタ用膜厚センサー20とを結ぶ直線とでなす角度θ2との間にθ1≦θ2の関係が成り立つ。 (もっと読む)


【課題】蒸発材料を劣化させずに長時間放出を継続できる技術を提供する。
【解決手段】
真空槽11内に加熱側筒体23と冷却側筒体24とを、加熱側筒体23が上になるように配置して、それらの内部に蒸発材料15が配置された蒸発材料容器26を挿入し、蒸発材料15の上部の所定量が、加熱側筒体23の内側に配置されて、加熱側筒体23から加熱されて蒸気が放出されるようにする。このとき、蒸発材料15の下部は、冷却側筒体24によって冷却され、不必要に加熱されず、劣化しないようになる。 (もっと読む)


【課題】真空装置内に蒸発材料が堆積する量を抑制し、かつ、真空装置内のクリーン化のための時間を短縮する。
【解決手段】蒸着マスクの上に素子基板が配置され、蒸着マスクの下方に蒸発源41、42が配置された真空蒸着装置において、蒸発源41、42を覆って、シートシャッター60を配置し、シートシャッター60の開口部61を通して素子基板に真空蒸着する。シートシャッター60は素子基板に蒸着しないときは、蒸発源41、42の開口部を覆っている。したがって、蒸発源41、42からの蒸発物質は主にシートシャッター60に堆積する。シートシャッター60は、巻き取り機構62に巻き取ることが出来、シートシャッター60に蒸発材料が所定の量以上堆積したときに、シートシャッター60を交換する。これによって、短時間でシートシャッター60の交換が出来、かつ、真空装置内に蒸発材料が堆積する量を抑制できる。 (もっと読む)


【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適な蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シートを提供する。
【解決手段】第1酸化物粉末と第2酸化物粉末とを混合して作られた蒸着材において、第1酸化物粉末がMgO粉末であって、第1酸化物粉末の第1酸化物純度が98%以上であり、第2酸化物粉末がCaO及びZnOの混合粉末であって、第2酸化物粉末の第2酸化物純度が98%以上であり、蒸着材が第1酸化物粒子と第2酸化物粒子を含有するペレットからなり、蒸着材中の第1酸化物と第2酸化物とのモル比が5〜90:95〜10であり、かつ、ペレットの塩基度が0.1以上であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ゲッター作用を有する蒸着材料中の不純物の基板及び堆積膜中への付着を防止すると共に、成膜チャンバー内を短時間で高真空に到達させ、真空排気後短時間で蒸着の成膜速度安定性を実現した蒸着方法、及び蒸着装置を提供する。
【解決手段】少なくとも蒸着源4a、4bに対向する面を備えたダミー部材7を、成膜チャンバー1の真空排気の過程で該成膜チャンバー1内に搬入し、該ダミー部材7に所定の厚さの蒸着膜を形成した後、実基板2への蒸着を行うことにより、ダミー部材7に堆積する蒸着膜に、蒸着源4a、4bから放出される不純物や成膜チャンバー1内に残留する水分が取り込まれ、実基板2に堆積する膜に混入する不純物が低減され、実基板2へ蒸着を行う際の圧力に達するまでの時間が短縮される。 (もっと読む)


【課題】真空装置内におけるマスク組み立て体と素子基板の対を移動するときに、搬送装置においてガイドローラ等とマスクフレームとが接触した時の衝撃によって蒸着マスクと素子基板との相対位置がずれることを防止する。
【解決手段】蒸着マスクを配置し、素子基板が載置されたマスクフレーム21の両端部が搬送用ベルト200によって支えられ、回転ローラ100が回転することによって搬送用ベルト200が移動するとともにマスクフレーム21が移動する。搬送用ベルト200が接触する回転ローラ100には曲率が形成されており、この曲率に沿って搬送用ベルト200も同様の曲率を有する。この構成においては、クラウン効果によって搬送用ベルト200の蛇行が抑制されるので、搬送用ベルト200に載置されたマスクフレーム21、蒸着マスク、素子基板等は、横ずれを生ずることなく搬送することが出来る。したがって、蒸着マスクと素子基板との相対的な位置ずれを生ずることは無い。 (もっと読む)


【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適な蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シートを提供する。
【解決手段】第1酸化物粉末と第2酸化物粉末とを混合して作られた蒸着材において、第1酸化物粉末がMgO粉末であって、第1酸化物粉末の第1酸化物純度が98%以上であり、第2酸化物粉末がCaO粉末であって、第2酸化物粉末の第2酸化物純度が98%以上であり、蒸着材が第1酸化物粒子と第2酸化物粒子を含有するペレットからなり、蒸着材中の第1酸化物と第2酸化物とのモル比が5〜99:95〜1であり、かつ、ペレットの塩基度が0.1以上であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】連続蒸着が可能な薄膜蒸着装置、並びにその薄膜蒸着装置に使われるマスク・ユニット及びクルーシブル・ユニットを提供する。
【解決手段】蒸着対象体である基板10を移送するように備わった基板移送ユニットと、基板に向けて蒸着源の蒸気を選択的に通過させるように備わったマスク・ユニット200と、蒸着源を収容し、マスク・ユニットを貫通する循環経路に沿って進む複数のクルーシブル110を含むクルーシブル・ユニット100と、を具備する薄膜蒸着装置である。これにより、蒸着源の供給及び消尽、基板とマスクとのアレンジなどがいずれも連続して進められるために、作業速度が相当に速くなる。 (もっと読む)


【課題】蒸着材料の回収手段を備えた蒸着装置において、蒸着材料の回収効率を向上し、生産性の改善を図る。
【解決手段】材料容器9から噴出部5までの第1流路11と、材料容器9から材料回収容器10までの第2流路12に、検出口6,7を設け、該検出口6,7から噴出する蒸着材料の噴出状態を検知する検出器3,4を配置し、材料容器9から検出口6までのコンダクタンスと、材料容器9から検出口7までのコンダクタンスを等しく構成する。 (もっと読む)


【課題】所定量の成膜材料を供給しながら蒸発できる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】
真空槽11内を真空排気し、放出容器16に接続された気化容器21を成膜材料の蒸発温度以上で、かつ成膜材料を含有する液体材料の溶媒の蒸発温度以上に加熱し、気化容器21内に液体材料を所定量噴出させ、成膜材料を気化容器21内に配置された気化部材22に付着させ、次いで気化容器21内から溶媒の蒸気を排出した後、気化部材22を成膜材料の蒸発温度以上に加熱して、気化部材22に付着した成膜材料を蒸発させ、成膜材料の蒸気を放出容器16に流入させ、放出容器16の孔17から成膜材料の蒸気を放出させ、真空槽11内に配置された基板15に到達させる。 (もっと読む)


【課題】長時間に亘る蒸着でもコンタミネーションの発生を抑制可能な蒸発装置及び該蒸発装置を有した蒸着装置を提供することである。
【解決手段】薄膜材料40を保持する材料保持部21を複数有し、さらに1又は2以上の材料保持部21内の薄膜材料40を加熱する加熱手段22と、材料保持部21に薄膜材料40を供給する材料供給手段24と、材料保持部21を移動させる保持部移動手段23を有し、1又は2以上の材料保持部21を使用し、材料保持部21に対して材料供給手段24によって連続的に又は間欠的に薄膜材料40を供給すると共に、材料保持部21に供給された薄膜材料40を加熱手段22によって加熱して蒸発させ、一定要件を満足することを条件の一つとして保持部移動手段23によって材料保持部21aを移動し、新たな材料保持部21bに交換する。 (もっと読む)


【課題】金属層の剥離が発生する可能性が低く、信頼性の高い真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】本発明の真空蒸着装置では、冷却機構を有し、ボート11からの金属蒸気の基材方向以外への飛散を防止する第1の防着板16と、第1の防着板16よりもボート11側に防着面を有し、ボート11からの金属蒸気の基材方向以外への飛散を防止するとともに脱着自在に配設された第2の防着板19とを備えた構成とした。この構成により、蒸着時に第2の防着板19はボート11からの輻射熱にて十分に熱を帯びた状態となっているため、金属蒸気は第2の防着板19の表面上では固化しにくく、第2の防着板19に蒸着金属が付着することはほとんどないものとなる。この結果、金属層の剥離の可能性が低減され、本発明の真空蒸着装置は信頼性の高いものとなっている。 (もっと読む)


【課題】真空蒸着によるドライな条件で、化学薬品を使用することなく、廃棄物の排出を抑えながら極めて大きな比表面積を有するアルミニウム薄膜を実現する。
【解決手段】高真空中で、蒸着温度460℃以上520℃以下、蒸着速度0.5nm/s以上10.0nm/s以下の成膜条件で、アルミニウム基板上に蒸着法によりアルミニウムを成膜し、直径が0.7μm以上1.5μm以下であって先端尖状の柱状とされた複数の各々孤立したアルミニウム粒子から構成され、前記各アルミニウム粒子間には貫通した空隙が形成されており、凹凸状の表面を有するアルミニウム薄膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適な蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シートを提供する。
【解決手段】第1酸化物粉末と第2酸化物粉末とを混合して作られた蒸着材において、第1酸化物粉末がY23粉末であって、第1酸化物粉末の第1酸化物純度が98%以上であり、第2酸化物粉末はZnO、MgO及びCaOからなる群より選ばれた1種の粉末又は2種以上の混合粉末であって、第2酸化物粉末の第2酸化物純度が98%以上であり、蒸着材が第1酸化物粒子と第2酸化物粒子を含有するペレットからなり、蒸着材中の第1酸化物と第2酸化物との比率が5〜85:95〜15であり、かつ、ペレットの塩基度が0.1以上であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適な蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シートを提供する。
【解決手段】第1酸化物粉末と第2酸化物粉末とを混合して作られた蒸着材において、上記第1酸化物粉末がZnO粉末であって、この第1酸化物粉末の第1酸化物純度が98%以上であり、上記第2酸化物粉末がCaO粉末であって、この第2酸化物粉末の第2酸化物純度が98%以上であり、蒸着材が第1酸化物粒子と第2酸化物粒子を含有するペレットからなり、蒸着材中の第1酸化物と第2酸化物との比率が5〜85:95〜15であり、かつ、ペレットの塩基度が0.1以上であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】材料の蒸発速度とプラズマ密度を自由に設定し、成膜速度に対するガスバリア性を自由に設定出来、酸素バリア性および水蒸気バリア性に優れた、透明、もしくは半透明なガスバリア性フィルムを作成し、それを用いた加熱殺菌用包装材料を提供する。
【解決手段】ガスバリアフィルム(10,11)、接着層(13)、ナイロンフィルム(14)、接着層(15)およびヒートシール性樹脂(16)がこの順で積層された加圧加熱殺菌用包装材料であって、前記ガスバリアフィルムが、プラスチックフィルム(10)上に蒸着手段を用いた蒸着法によりセラミック層(11)を形成させてなり、その際、前記蒸着手段とは別に高密度プラズマを発生させる手段を併せて用いることを特徴とする加圧加熱殺菌用包装材料。 (もっと読む)


【課題】厚さ30μm以下の金属リチウム薄膜が安定して製造され、且つ金属リチウム薄膜の転写が容易な多層フィルムを提供することにある。
【解決手段】金属箔の少なくとも片面にプラスチック膜を有し、更にプラスチック膜の少なくとも片面の表面に金属リチウム薄膜を有し、該金属泊がBe、C、Mg、Al、Si、S、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ag、In、Sn、Sb、Ta、W、Pt及びAuからなる群から選択される金属元素の少なくとも1種を含む多層フィルム。 (もっと読む)


【課題】蒸発材料の指向性を弱めるとともに、絞り板の絞り口が塞がれることなく、安定して均一な膜厚の蒸着膜を生成し得る真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸発容器と、この蒸発容器で得られた蒸発材料を拡散し得る拡散容器と、この拡散容器に設けられて放出口33から蒸発材料を基板に向かって放出する放出用ノズル32と、この基板が内部に配置されて所定の真空度下で蒸着を行う蒸着用容器とを具備する真空蒸着装置であって、放出用ノズル32の内径を拡大することで形成されるとともに放出口33に対向する内壁段差34を有し、この内壁段差34に配置されて放出用ノズル32の内径よりも小径のオリフィス37が形成されたオリフィス板36と、このオリフィス板36を上記内壁段差34とで挟むように配置されたC形止め輪38とを具備したものである。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、より均一な成膜を実現できる、或いは高精彩なデバイスを製造できる有機ELデバイス製造装置及び製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、複数の受けピンを介して基板を水平状態の蒸着ステージで受渡し、前記蒸着ステージを回転させて略直立姿勢または直立姿勢にし、真空チャンバ内で前記基板に蒸着材料を蒸着する有機ELデバイス製造装置または製造方法において、前記複数の受けピンの先端より上方に前記蒸着ステージを移動し、前記基板を前記複数の受けピンから前記蒸着ステージに移載し、その状態で前記回転を行うことを特徴とする。 (もっと読む)


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