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Fターム[4K030BA41]の内容

CVD (106,390) | 皮膜材質 (16,728) | 化合物成分を含む皮膜 (8,284) | 炭窒化物 (456)

Fターム[4K030BA41]に分類される特許

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【課題】高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、Ti化合物層からなる下部層とAl層からなる上部層が被覆形成された表面被覆切削工具において、上記Al層は、下部領域、中間領域および上部領域の3領域から構成され、各領域について、電界放出型走査電子顕微鏡と電子後方散乱回折像装置を用い、0〜90度の範囲内における(0001)面の法線の傾斜角度数分布を求めた場合、下部領域は、80〜90度の範囲内の度数合計が60%以上、また、中間領域は、70〜80度の範囲内の度数合計が60%以上、さらに、上部領域は、0〜10度の範囲内の度数合計が60%以上の割合を占める。 (もっと読む)


【課題】硬質被覆層が高速断続切削ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】下部層がTi化合物層、上部層が柱状結晶組織のZr含有α型Al層を蒸着した表面被覆切削工具であって、下部層の最表面層が、500nm以上の層厚を有するTiCN層からなり、該TiCN層の層厚方向500nmまでの深さ領域にのみ平均含有量0.5〜3原子%の酸素が含有され、また、下部層直上におけるZr含有α型Al結晶粒の横方向平均粒径は0.1〜0.3μmであり、上部層の上方におけるZr含有α型Al結晶粒の横方向平均粒径は0.5〜1.0μmであって、しかも、上部層全体のZr含有α型Al結晶粒について、工具基体表面の法線に対する(0001)面の法線がなす傾斜角が0〜10度であるZr含有α型Al結晶粒が、全体で45面積%以上、界面から上部層の膜厚1μm未満では(0001)配向が10%未満、(02−21)配向が30%以上である。 (もっと読む)


【課題】高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ti化合物層からなる下部層とAl層からなる上部層が被覆形成された表面被覆切削工具において、上部層のAl粒について、(0001)面の法線がなす傾斜角を測定し、隣接する測定点からの測定傾斜角の角度差が5度以上である場合に異なる結晶粒であるとして結晶粒を特定し、個々の結晶粒のアスペクト比を求めた場合、アスペクト比が5未満である結晶粒が面積比で10〜50%、アスペクト比が5以上である結晶粒が面積比で50〜90%を占め、また、結晶粒個々の結晶粒内平均方位差を求めた場合、アスペクト比が5未満の結晶粒の結晶粒内平均方位差の平均は5度未満、一方、上記アスペクト比が5以上である結晶粒の結晶粒内平均方位差の平均は5度以上を示す。 (もっと読む)


【課題】高速重切削加工において硬質被覆層がすぐれた耐チッピング、耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】硬質被覆層が化学蒸着された下部層と上部層とからなり、(a)前記下部層は、少なくとも1層のTiの炭窒化物層を含み、かつ、3〜20μmの合計平均層厚を有する1層または2層以上からなるTi化合物層、(b)前記上部層は、1〜25μmの平均層厚を有する酸化アルミニウム層、であり、前記下部層を構成する少なくとも1層のTiの炭窒化物層は、柱状縦長成長TiCN結晶組織を有しており、その組織内に微粒TiCNが分散分布している構成とすることにより、前記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】高速断続切削加工において硬質被覆層がすぐれた耐チッピング、耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】硬質被覆層が化学蒸着された下部層と上部層とからなり、(a)前記下部層は、少なくとも1層のTiの炭窒化物層を含み、かつ、3〜20μmの合計平均層厚を有する1層または2層以上からなるTi化合物層、(b)前記上部層は、1〜25μmの平均層厚を有する酸化アルミニウム層、であり、前記下部層を構成する少なくとも1層のTiの炭窒化物層は、柱状縦長成長TiCN結晶組織を有しており、その組織内に微粒TiCNが分散分布している構成とすることにより、前記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】 金属炭化物系の膜を段差被覆性良く形成する。
【解決手段】 基板に対して、第1金属元素とハロゲン元素とを含む第1原料と第2金属元素と炭素とを含む第2原料とを交互に所定回数供給する工程と、基板に対して、窒化原料を供給する工程と、を交互に所定回数行うことで、基板上に、所定膜厚の第1金属元素を含む金属炭窒化膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】 硬質被覆層が高速重切削、高速断続切削ですぐれた耐剥離性、耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】下部層がTi化合物層、上部層がα型Al層からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具であって、下部層直上のAl結晶粒の30から70%は(11−20)配向Al結晶粒からなり、上部層の全Al結晶粒の45%以上は、(0001)配向Al結晶粒からなり、さらに好ましくは、下部層の最表面層は、500nmまでの深さ領域にわたってのみ0.5から3原子%の酸素を含有する酸素含有TiCN層からなり、また、下部層最表面層の酸素含有TiCN結晶粒数と、下部層と上部層の界面におけるAl結晶粒数との比の値が0.01から0.5である表面被覆切削工具。 (もっと読む)


【課題】高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ti化合物層からなる下部層とAl層からなる上部層が被覆形成された表面被覆切削工具において、上記Al層について、(0001)面の法線がなす傾斜角を測定して傾斜角度数分布グラフを作成した場合、0〜10度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在し、0〜10度の範囲内の度数合計が20〜50%の割合を占め、さらに、上部層のAl粒について結晶粒内平均方位差を求めた場合、上記0〜10度の範囲内の傾斜角区分に存在するAl結晶粒の結晶粒内平均方位差の平均は5度未満を示し、一方、上記0〜10度の範囲を外れる傾斜角区分に存在する結晶粒の結晶粒内平均方位差の平均は5度以上を示す。 (もっと読む)


【課題】炭窒酸化チタンコーティングが施された切削インサートおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】コーティングされた切削インサートの製造方法、およびコーティングされた切削インサートは、表面を有する基材を提供するステップと、炭窒酸化チタンのCVDコーティング層を被覆するステップとを含む。炭窒酸化チタンコーティング層を被覆するためのガス状混合物は、窒素、メタン、塩化水素、四塩化チタン、アセトニトリル、一酸化炭素および水素の組成物を有する。炭窒酸化チタンコーティング層は、2次元平面図で測定すると、平均長が約1.0μmより大きく、平均幅が約0.2μmより大きく、平均アスペクト比が約2.0より大きい炭窒酸化チタンウィスカを含む。 (もっと読む)


【課題】ステンレス鋼等の難削材の高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、(a)3〜20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層からなる下部層、(b)1〜15μmの平均層厚を有する酸化アルミニウム層からなる中間層、(c)5〜16μmの平均層厚の縦長成長結晶組織をもつ改質Ti炭窒化物層からなる上部層、前記(a)、(b)、(c)の硬質被覆層が化学蒸着により形成された表面被覆切削工具において、(d)上部層を構成する改質Ti炭窒化物層は、層厚方向に沿って0.5〜4.0μmの間隔をおいて、酸素含有量のピークが現れ、該ピーク位置における酸素含有量OMAXは、OMAX=3〜8原子%であり、しかも、該ピーク位置におけるZr含有量は、0.8〜1.5原子%である酸素、Zr濃化領域を少なくとも1つ備える。 (もっと読む)


【課題】低誘電率化、ウェットエッチング耐性の向上及びリーク電流の低減化が達成されたSiBCN膜を形成することが可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】被処理体Wが収容されて真空引き可能になされた処理容器4内に、ボロン含有ガスと窒化ガスとシラン含有ガスと炭化水素ガスとを供給して被処理体の表面にボロンと窒素とシリコンと炭素を含む薄膜を形成する成膜方法において、ボロン含有ガスと窒化ガスとを交互に間欠的に供給するサイクルを1回以上行ってBN膜を形成する第1の工程と、シラン系ガスと炭化水素ガスと窒化ガスとを間欠的に供給するサイクルを1回以上行ってSiCN膜を形成する第2の工程とを有する。これにより、低誘電率化、ウェットエッチング耐性の向上及びリーク電流の低減化が達成されたボロンと窒素とシリコンと炭素とを含む薄膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】内部圧縮圧力を増強した炭窒化シリコン及び炭窒化シリコン薄膜のプラズマCVD法を提供すること。
【解決手段】本発明は、プラズマ化学気相成長(PECVD)窒化シリコン(SiN)及び炭窒化シリコン(SiCN)薄膜における内部圧縮応力の増強方法であって、アミノ・ビニルシラン・ベースの前駆体からの膜を堆積するステップを含んでなる前記方法である。より詳しく述べると、本発明は、以下の式:
[RR1N]xSiR3y(R2z
{式中、x+y+z=4、x=1〜3、y=0〜2、及びz=1〜3であり;R、R1、及びR3が、水素、C1〜C10アルカン、アルケン、C4〜C12芳香族であり得;各R2が、ビニル、アリル、又はビニル含有官能基である。}から選択されるアミノ・ビニルシラン・ベースの前駆体を使用する。 (もっと読む)


【課題】耐密着性に優れ、耐欠損性に優れた表面被覆部材を提供する。
【解決手段】基体2の表面に、TiCN層4と、Ti、Al、炭素および酸素を含み、平均膜厚が5〜30nmで途切れることなく存在する中間層5と、α型Al層9とが順に被着形成された積層体を有する被覆層3を備え、TiCNの(200)面に帰属される回折ピークが現れる2θの値θとJCPDSカードのθt0との差△θ(=θ−θt0)と、Alのα型結晶構造の回折ピークが現れる各結晶面の2θの値θa(hkl)とJCPDSカードのθa0(hkl)との差△θa(hkl)(=θa(hkl)−θa0(hkl))と、の差△θ(hkl)(=△θ−△θa(hkl))がいずれも−0.2°〜0.2°の表面被覆部材1である。 (もっと読む)


【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下部層と中間層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、(a)下部層はTi化合物層からなり、(b)中間層は、κ型結晶構造のAl層にZrを0.004〜0.12%(ただし、全体組成に対するZrの割合を原子%で示す)含むZr含有κ型Al層(下部中間層)と、該下部中間層の表面に部分的に形成されたZrO薄層(上部中間層)からなり、(c)上部層は、その垂直断面を観察した場合、κ型Al相と上記ZrO薄層上に形成されたα型Al相のα−κ混合組織を有し、さらに、その表面研磨面を観察した場合、α型Al相の周囲をκ型Al相が囲繞するα−κ網目状混合組織を有するAl層からなる。 (もっと読む)


【課題】改良された靭性特性を有するCVD被覆インサートを提供する。
【解決手段】本発明は、50〜390Mpaの低引張応力レベルを有するTiC層と、原子間力顕微鏡(AFM)技術によって測定される平均Raが0.12μm以下の高い表面平滑度を有するAlと備えるCVD被覆切削工具インサートに関する。本発明は、被膜に非常に激しい湿潤吹き付け処理を施すことによって達成される。 (もっと読む)


【課題】高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、少なくとも、下部層(Ti化合物層)と上部層(α型Al層)を蒸着形成した表面被覆切削工具において、例えば、下部層−上部層界面に(Ti,W)CNO粒子を島状に分散分布させることによって、層厚Tの上部層の層厚方向に対する直交面に、極小引張残留応力値、極大引張残留応力値を示す複数の極小位置と極大位置が存在する直交面残留応力分布を形成し、極小引張残留応力値の平均値をσmin、極大引張残留応力値の平均値をσmax、隣接する極小位置と極大位置における引張残留応力差(絶対値)の平均値をδとした時、深さD1の位置の直交面におけるσ1min、σ1max、δ1と、深さD2の位置の直交面におけるσ2min、σ2max、δ2は、T>D2>D1>0で、かつ、σ1min>σ2min、σ1max>σ2max、δ2>δ1を満たす。 (もっと読む)


【課題】密着性に優れるとともに初期摩耗に優れた切削工具を提供する。
【解決手段】基体2の表面に、基体2側から、平均結晶幅が0.1〜1μmの柱状結晶にて構成される下層TiCN層4と、Al層5と、平均結晶幅が下層TiCN層4の平均結晶幅よりも大きい柱状結晶にて構成される上層TiCN層6とを積層した切削工具1であり、密着性に優れるとともに初期摩耗に優れる。 (もっと読む)


【課題】ステンレス鋼、低炭素鋼等の溶着を発生しやすい被削材の切削加工において硬質被覆層がすぐれた耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】WC超硬合金、TiCN基サーメットからなる工具基体の表面に、(a)Ti化合物層からなる下部層、(b)酸化アルミニウム層からなる中間層、(c)第1上部層と第2上部層とからなる上部層、からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上記第1上部層は、上記中間層に接して形成され、0.5〜5μmの平均層厚を有し、層中の平均塩素濃度が0.2〜2原子%であるTi化合物層であって、上記第2上部層は、切れ刃稜線部以外では上記第1上部層に接して形成され、0.2〜5μmの平均層厚を有する酸化アルミニウム層または平均塩素濃度が0.1原子%以下のTi化合物層であって、上記上部層は、切れ刃稜線部において第2上部層が存在せず上記第1上部層が露出して形成されている。 (もっと読む)


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