【課題】液中プラズマを用い基材をマスキングして成膜を行うことで、従来と同様の形状はもちろん、従来とは異なる形状の被覆膜をも得られる液中プラズマ成膜方法、それにより成膜される被覆膜および液中プラズマ成膜装置を提供する。
【解決手段】原料を含む液体Ｌに、基材Ｓと基材Ｓの被成膜面Ｓ^０を覆う複数の貫通孔をもつマスク２とを配設する配設工程と、液体Ｌに気泡Ｂを発生させる気泡発生工程と、前記原料からなるプラズマを気泡Ｂに発生させるプラズマ発生工程と、を経て、プラズマを内包する気泡Ｂをマスク２を通じて被成膜面Ｓ^０に接触させて、被成膜面Ｓ^０に原料の分解成分を堆積させる。配設工程におけるマスク２の配設状態によっては、従来の気相プラズマで形成されるようなセグメント形態の膜とは異なる形態の被覆膜が得られる。 （もっと読む）

【課題】 液状の原料を確実に気化させることができ、配管や処理チャンバ内の汚染を防止して良好な表面処理を可能とする表面処理装置を提供する。
【解決手段】 被処理物Ｓが配置される処理チャンバ２と、この処理チャンバに接続された気化器６とを備え、この気化器にその表面処理を行う表面処理装置において、前記気化器６から処理チャンバ内に通じ被処理物に至る経路に原料が衝突する加熱体９、１０を設けた。 （もっと読む）

【課題】成膜処理時に容器内や導入管内からパーティクルが流出するのを防止することができる粉体状ソース供給系の洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０は、粉体状ソース供給系１２と成膜処理装置１１とを備え、粉体状ソース供給系１２は、粉体状ソース１３（タングステンカルボニル）を収容するアンプル１４と、該アンプル１４内へキャリアガスを供給するキャリアガス供給装置１６と、アンプル１４及び成膜処理装置１１を接続する粉体状ソース導入管１７と、該粉体状ソース導入管１７から分岐するパージ管１９と、粉体状ソース導入管１７を開閉する開閉弁２２とを有し、成膜処理に先立って、開閉弁２２が閉弁し且つパージ管１９内を排気する際に、キャリアガス供給装置１６が、キャリアガスによる粘性力が成膜処理時におけるキャリアガスによる粘性力よりも大きくなるようにキャリアガスを供給する。 （もっと読む）