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Fターム[4K030LA00]の内容

CVD (106,390) | 膜特性、用途 (8,967)

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Fターム[4K030LA00]に分類される特許

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【課題】耐久性の高い導電性被膜を適所に備えているメタル製のセパレータと、このセパレータを効率的に製造することのできる製造方法を提供する。
【解決手段】燃料電池セルの発電部に対応する発電領域と、発電部の周囲の非発電部に対応する非発電領域を有し、発電領域に第1の非晶質炭素被膜8Aが形成され、非発電領域においてセルモニタ端子が取り付けられる端子取り付け部に第2の非晶質炭素被膜8Bが形成されており、第1、第2の非晶質炭素被膜8A,8Bが同じ素材からなり、かつ同じ厚みを有している燃料電池用でメタル製のセパレータ(メタルプレート71を有するセパレータ)である。この非晶質炭素被膜に端子取り付け部が形成されることにより、従来の金メッキ処理層に比して格段に薄い導電性被膜を備える。 (もっと読む)


【課題】別途加熱手段を設けることなく、真空室に送り込む原料ガスを加熱するとともに、基板を適切に加熱することで、安定して基板上に膜を形成することができる熱CVD装置を提供する。
【解決手段】基板Kを内部に配置するとともに所定の真空度を維持し得る加熱室13を有して、熱化学気相成長法により基板Kに原料ガスGを供給してカーボンナノチューブを成長させる熱CVD装置であって、基板Kの上方で且つ加熱室13内に配置されて基板Kを加熱する加熱装置21と、この加熱装置21の上方に配置されて加熱装置21により加熱される渦巻状の被加熱部33を有するとともに基板Kの下方から原料ガスGを供給するガス供給管31とを具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高い結晶性をもった物を製造することが可能なドライプロセス装置を提供する。
【解決手段】基板保持部10aに保持された基板14の温度を所望の温度に保つ温度調整器と、前記基板保持部10aとターゲット保持部10bとにそれぞれ配置された高周波電極11a、11bと、両電極の陰陽を切り替える陰陽切替器と、前記チャンバー内の気体を外部の排出するあたりその排気速度を調整する排気調整器と、前記チャンバー内へ供給する気体の供給速度を調整する給気調整器と、この給気調整器を介して前記チャンバーに供給する気体の種類を変更する気体切替器とからなり、前記基板保持部10aに保持された基板14に対しスパッタリング法、イオン注入法、CVD法等の異なった複数のドライプロセスを選択して連続実行する。 (もっと読む)


【課題】(111)配向した強誘電体膜を有する半導体装置を、配向のばらつきなく製造する。
【解決手段】強誘電体膜を含む半導体装置の製造方法であって、前記強誘電体膜の成膜を、(A)前記半導体装置が形成される被処理基板を保持した前記処理容器中の雰囲気を、第1の雰囲気から第2の雰囲気に切り替える工程と、(B)前記処理容器中、前記第2の雰囲気中において前記被処理基板上に強誘電体膜を、前記原料ガス供給ラインより供給された有機金属化合物を原料として、有機金属気相堆積法により成膜する工程とにより実行し、前記工程(B)を、前記工程(A)の後、所定のガス安定化時間の経過後に、前記原料ガスの前記処理容器への供給を開始することで開始し、前記所定のガス安定化時間を、前記雰囲気ガスラインの容積と前記混合/放出部の容積の総和Vを、前記雰囲気ガスライン中における前記混合ガスの流量Lで除して得られる時間(V/L)以上に設定する。 (もっと読む)


本発明は、少なくとも1つの炭化物材料を含んでいる材料からなる本体と、ダイアモンド材料で構成され前記本体に設けられて摺動面を生成するコーティングと、を備えているメカニカルシールアセンブリのシールリングに関する。本発明は、前記本体が、前記コーティングのダイアモンド材料に適合するダイアモンド材料で作られた微粒子部を少なくとも1つの炭化物材料を含んでいる前記材料へ入れることによる2成分の材料で形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


本発明は、マイクロストリップタイプまたは中空導体ラインタイプの細長い導体を有する電場アプリケータにより発生された超高周波プラズマにより補助されることを特徴とする、大気圧下での基板上のCVDのための方法に関する。本発明は、また、自動車車体部品、特にフェンダーに導電性無機膜を適用するための該方法の使用に関する。
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導電性基材上にメソ多孔質ナノ粒子層をパターン形成する方法であって、前記導電性基材上にパターンを堆積させる工程、前記基材上に原子層堆積により二酸化チタン層を堆積させる工程、下側のパターンを溶剤により除去して二酸化チタンの不連続領域を残す工程、前記基材全体にわたってメソ多孔質ナノ粒子層を堆積させる工程、及び前記メソ多孔質ナノ粒子層の上方に原子層堆積により第2の二酸化チタン層を堆積させることにより第1の二酸化チタン層が溶剤により除去された前記領域上のメソ多孔質ナノ粒子層及び第2の二酸化チタン層の領域を脱落させて、パターン化されたメソ多孔質ナノ粒子層を残す工程を含む。 (もっと読む)


【課題】反射膜と透光膜の適切な組合せにより、これらの成膜条件の変更に基づいて、様々な色相を呈することができる反射体および反射体の製造方法を提供する。
【解決手段】反射体Rは、基板20と、基板20上の窒化チタンからなる反射膜22と、反射膜22上の酸化チタンからなる透光膜23と、を備え、透光膜23の厚み、窒化チタンの組成割合、および、酸化チタンの組成割合、に基づいて、反射膜22により反射される光の色相を変更可能に構成されている。 (もっと読む)


【課題】誘電体隔壁の耐圧力強度、靭性強度を増して破断を防止すると共に、強度向上による誘電体隔壁の板厚低減を可能とし、大形の誘電体隔壁を備え、プラズマの均一な発生を可能とする大形プラズマ装置を提供すること。
【解決手段】アンテナ4から誘電体隔壁6を通して処理容器7内に放射された電磁波によってプラズマを生成し、被処理基板11の処理を行うプラズマ装置1において、前記誘電体隔壁6を、母材、及び強化相からなる複合材とすることによって耐圧力強度、靱性強度が優れた前記誘電体隔壁6とすることができ、これによって大型基板に均一なプラズマ処理を施すことが可能なプラズマ装置1を提供することができる。さらに前記誘電体隔壁6を、樹脂材料及び無機材料からなる積層構成材にすることにより、脆性破壊が防止された耐圧力強度、靱性強度に優れた前記誘電体隔壁6を得ることができた。 (もっと読む)


【課題】 硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、(a)下部層が、TiC層、TiN層、TiCN層、TiCO層、およびTiCNO層のうちの1層または2層以上からなり、かつ3〜20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層、(b)上部層が、1〜15μmの平均層厚を有し、かつ化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有すると共に、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、特定方法にて構成原子共有格子点の分布を算出しとき、特定の構成原子共有格子点分布グラフを示すAl層、で構成された硬質被覆層を蒸着形成してなる。 (もっと読む)


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