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切削工具 (534)
Fターム[4K030LA21]に分類される特許
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パターン成形型及びその製造方法
【課題】加工時間が短く、工具としての寿命が長く、像形成品質が高いパターン形成型及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係るパターン成形型は、被加工材の表面に、凹凸を有するパターンを転写するパターン成形型であって、基材1と、基材1に中間層2、3を介して接合されたDLCパターン層4bとで構成され、基材1が、剛性を有する金属、セラミックス、又はガラスであり、中間層2、3が、基材1及びDLCパターン層4bとの接合性を提供し、かつ、DLCパターン層4bに比べ、エッチングレートが小さい層であり、DLCパターン層4bに、被加工材の表面に転写するパターンが形成されている。
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炭素膜被覆部材及びその製造方法
【課題】 基材上に高い密着性をもって炭素膜が形成された炭素膜被覆部材及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 炭素膜被覆部材1が、超硬合金の基材2の表面に直径50μm以下の複数の微細穴3が並んで形成され、基材2の表面に微細穴3を埋めて炭素膜4が形成されている。また、この炭素膜被覆部材の製造方法は、超硬合金の基材2の表面に直径50μm以下の複数の微細穴3を並べて形成する穴形成工程と、該穴形成工程後に基材2の表面に微細穴3を埋めて炭素膜4を形成する炭素膜形成工程とを有している。
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高強度ダイヤモンド膜工具
【課題】耐欠損性を向上させることで破壊強度と耐摩耗性に優れ、かつ放電加工等の電気加工を主体とした研磨加工が可能な多結晶・単結晶の高強度ダイヤモンド膜工具やコーティング工具を提供することにある。
【解決手段】多結晶ダイヤモンド膜をコーティングした工具、もしくはおよび単結晶ダイヤモンド工具において、気相法による膜状ダイヤモンドにボロンをドーピングすることで破壊強度を向上させたことにある。
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表面処理方法
【課題】 高い耐久性を有する炭素膜を金属材の表面に安定的に形成する表面処理法を提供する。
【解決手段】 本願は、第1工程と第2工程とをこの順序で行なう金属材の表面処理方法を開示する。第1工程は、金属材の表層に圧縮残留応力を付与する工程を含む。第2工程は、金属材の表層に窒化層が形成される窒化条件の下で有機ガスとともに金属材を熱処理することによって、カーボンナノコイル、カーボンナノチューブおよびカーボンナノフィラメントからなる群から選ばれる少なくとも1種のナノカーボン類を含むナノカーボン炭素膜を金属材の表面に形成するナノカーボン炭素膜形成工程と、ナノカーボン炭素膜の表面にフラーレン類を塗布するフラーレン類塗布工程と、炭素膜が形成された金属材を400℃以上に加熱する焼成工程と、をこの順序で行うことを含む。
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化学気相析出プロセス
【課題】金属塩化物原料を気化させた後、該気化した金属塩化物原料と、水素を含む還元ガスとを反応させて、対象物上にセラミックスを析出させる化学気相析出プロセスにおいて、従来副生物として廃棄されていた低級金属塩化物を回収し、これをもとの金属塩化物に戻して再利用できる化学気相析出プロセスを提供する。
【解決手段】セラミックスの析出反応に伴って排出された排ガス5から、固体又は液体として低級金属塩化物6を抽出する工程と、該低級金属塩化物6を非水溶性の溶媒11に溶解させる工程と、前記低級金属塩化物6が溶解した溶液7を、加熱した後、塩素ガス8を吹き込み、前記低級金属塩化物6を元の金属塩化物10に戻して前記金属塩化物原料1として再利用する工程とをさらに具える。
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ダイアモンド状炭素膜被覆物品
【課題】ダイアモンド状炭素膜被覆物品であって、ダイアモンド状炭素膜の物品本体への密着性に優れているダイアモンド状炭素膜被覆物品を提供する。
【解決手段】少なくとも一部が、アモルファス炭化珪素膜からなる中間層を介して形成されたダイアモンド状炭素(DLC)膜で被覆されているダイアモンド状炭素膜被覆物品W。アモルファス炭化珪素膜は、波長532nmのレーザーを用いるレーザーラマン分光分析においてラマンシフト1400cm-1〜1600cm-1の範囲にスペクトル強度のピークを示す膜である。
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プラズマ処理装置及び成膜方法
【課題】生産コストを低くできるプラズマ処理装置及び基材の表面処理方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るプラズマ処理装置は、チャンバー1と、前記チャンバー内に配置され、基材2を保持する基材ホルダー3と、前記チャンバー1に繋げられ、前記チャンバー内に処理ガスを導入するガス導入経路と、前記チャンバー内に50〜500kHzの高周波出力を供給する高周波電源4と、を具備し、前記高周波電源4から供給された高周波出力により前記チャンバー内に前記処理ガスのプラズマを発生させて前記基材2にプラズマ処理を行うことを特徴とする。
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炭素系物質除去方法及び該除去方法を備えた部品等の製造方法・リサイクル方法
【課題】炭素系素材及び炭素系コーティング膜を表面にもつ部品等の所定部位を選択的にかつ効率的に物質除去し、所定の寸法、形状の除去範囲を獲得する。
【解決手段】グラファイト、グラッシー・カーボン、アモルファス・カーボン(ダイヤモンド・ライク・カーボンを含む)、カーボン・ナノ・チューブ、フラーレン、焼結ダイヤモンド、天然ダイヤモンドのいずれか又はそれを含む炭素系素材又はそれらの炭素系素材からなる部品若しくは部材において、任意に選択した表面部位に、原子状酸素3あるいは活性化酸素あるいは酸素系イオンのいずれか一つ又は複数を同時に、室温以上で処理対象素材の軟化点以下の温度のもとで付与することにより、所定の寸法、形状にまで,上記任意に選択した表面部位の上記炭素系物質を除去する炭素系物質除去方法とする。
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耐欠損性にすぐれたダイヤモンド被覆工具
【課題】ダイヤモンド皮膜がすぐれた耐欠損性を発揮するダイヤモンド被覆工具を提供する。
【解決手段】超硬合金焼結体からなる工具基体表面に、ダイヤモンド皮膜を形成したダイヤモンド被覆工具において、ダイヤモンド結晶粒の結晶方位について、表面研磨面の法線方向に対して<111>、<110>がなす傾斜角の分布および表面研磨面の法線と直交する方向に対して<111>、<110>がなす傾斜角の分布を求めた場合、それぞれが半価幅10度以内のピークを示すような二軸配向ドメインが、ダイヤモンド結晶粒全面積の20%以上存在する。
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中温化学蒸着処理
【課題】本発明は、中温化学蒸着処理を用いて基体をコーティングする方法を提供する。
【解決手段】本発明は、1つ以上の基体を反応室において反応温度まで加熱し、約1〜30%のハロゲン化水素と所定量の炭素窒素源、金属ハロゲン化合物、H2、及び任意のN2とから構成される蒸着処理気体を反応室に導入して、この1つ以上の基体の表面上に浸炭窒化物含有コーティング層を蒸着する中温化学蒸着処理によって、少なくとも1つの基体を浸炭窒化物含有コーティングでコーティングする方法を含む。また、本発明は、蒸着処理気体を反応室に導入する間、反応室における温度勾配を維持する中温化学蒸着処理によって、少なくとも1つの基体を浸炭窒化物含有コーティングでコーティングする実施の形態も含む。
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コーティング装置およびコーティング方法
本発明は、真空排気が可能でありかつ基板(30)を受け入れるように構成される少なくとも1つの受け入れ容器と、その受け入れ容器の中に少なくとも1種の気体状前駆物質を導入するのに用いられる少なくとも1つのガス供給装置と、所定の長さ方向の範囲を有すると共に少なくとも1つの関連する機械的固定装置によって固定される少なくとも1つの加熱可能な活性化要素とを含むコーティング装置に関する。活性化要素には、少なくとも2つの接点要素を介して電流を供給することが可能であり、その接点要素は、受け入れ容器に対して事実上不動であるように固定される。活性化要素は、受け入れ容器に対して可動に配置される。本発明は、さらに、対応するコーティング方法にも関する。
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プラズマ処理装置
【課題】電極への異物の付着に起因する不具合を抑制したプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】基板の表面に膜を形成するプラズマ処理装置のリアクタは、原料ガスを噴射する噴射体を兼ねる噴射体電極と、基板を支持する支持体を兼ねる支持体電極とをチャンバの内部に収容した構造を有する。リアクタには、支持体電極と噴射体電極との対に直流パルス電圧を印加するパルス電源と、噴射体電極に処理ガスを供給する処理ガス供給回路とが接続される。噴射体電極の内部には、処理ガスの噴射孔が形成された対向面から支持面へ向かう方向(下方向)とは反対の方向(上方向)へ延在する側面に沿う冷媒の流路が形成される。冷媒の流路を形成することに代えて側面に冷却機構を取りつけてもよい。対向面を含まない本体と対向面を含む着脱体とに噴射体電極を分離可能とし、チャンバの外部で着脱体を洗浄してもよい。
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炭素膜の形成方法、炭素膜被覆部材及びCMPパッドコンディショナー
【課題】成膜速度が高められるとともに、品質が充分に確保される炭素膜の形成方法、炭素膜被覆部材及びCMPパッドコンディショナーを提供する。
【解決手段】CVD法を用い、基材1の表面1Aに炭素膜2を成膜する炭素膜の形成方法であって、前記表面1Aに、前記基材1と同種の粒子3を分散させる工程と、CVD法により、前記表面1Aと前記粒子3の外周面とにより形成された段部4に種粒子5を捕捉させるとともに、前記種粒子5を核にして炭素膜2を成長させる工程と、を備えることを特徴とする。
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ダイヤモンド被覆工具
【課題】初期切削抵抗が小さく、すぐれた耐摩耗性を発揮するダイヤモンド被覆工具を提供する。
【解決手段】 WC基超硬合金またはTiCN基サーメットからなる工具基体表面にダイヤモンド皮膜が被覆されたダイヤモンド被覆工具であって、上記ダイヤモンド皮膜は、平均結晶粒径0.2〜1.5μmの配向ダイヤモンド結晶粒が、無配向ダイヤモンド結晶粒のマトリックス中に平均面積割合で30〜80面積%分散分布する膜構造を有し、かつ、ダイヤモンド皮膜の厚さ方向に沿ってみた場合、表面側に向かうほど、配向ダイヤモンド結晶粒の結晶粒径及び面積割合は小さな値となり、さらに、前記ダイヤモンド皮膜の結晶粒の(110)面または(111)面の少なくともいずれかの面は、基体表面の法線に対する傾斜角度数分布グラフにおいて、0〜10度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在し、かつ、0〜10度の範囲内に存在する度数合計は、度数全体の30〜60%の割合を占める。
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炭素膜被覆部材、炭素膜の形成方法及びCMPパッドコンディショナー
【課題】炭素膜の基材に対する剥離強度が高められ、剥離を防止できる炭素膜被覆部材、炭素膜の形成方法及びCMPパッドコンディショナーを提供する。
【解決手段】基材と、前記基材の表面1Aを被覆する炭素膜とを有する炭素膜被覆部材であって、前記表面1Aには、連続する曲線状の溝11が形成されていることを特徴とする。
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炭素膜、炭素膜の製造方法及びCMPパッドコンディショナー
【課題】炭素膜と基材との界面における残留応力を抑制し、炭素膜のクラックや剥離を防止し、性能が安定して確保される炭素膜、炭素膜の製造方法及びCMPパッドコンディショナーを提供する。
【解決手段】基材1を被覆する炭素膜2であって、DLCからなる第1炭素膜11と、平均粒径が200nm以下のダイヤモンド粒子からなる第2炭素膜12と、平均粒径が200nmを超えるダイヤモンド粒子からなる第3炭素膜13と、を備え、前記第1、第2、第3炭素膜11、12、13が、前記基材1側からこの順に形成されていることを特徴とする。
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コーティングされた工具およびその製法
本発明は、金属機械加工用の工具およびその製法に関し、該工具は、超硬合金、サーメット、セラミックス、または超硬質材料の基材、およびコーティングを含み、該コーティングは、内側アルミナ層および外側チタンホウ窒化物層を含み、ここで前記層が、アルミナ層以外の酸化物層を含む一以上の層によって分離されている。 (もっと読む)
非晶質炭素被覆部材および金属材料の加工方法
【課題】工具、金型、摺動部品などに好適に用いられ、環境にも配慮した潤滑油を用いても耐久性を向上させることができる被覆部材を提供する。また、その被覆部材を工具あるいは金型として用いて行う金属材料の加工方法を提供する。
【解決手段】被覆部材10は、潤滑油基油に、アミノ基、カルボキシル基、水酸基およびカルボン酸エステル基のうちの少なくとも一種が結合した炭素原子を1以上有する炭化水素系添加剤21を配合してなる潤滑油20の存在下で使用され、基材11と、珪素を含み基材11の表面に形成され相手材と摺接する硬質非晶質炭素膜12と、を備えることを特徴とする。被覆部材10が工具または金型であれば、金属材料と、工具または金型と、の摺接面間に炭化水素系添加剤21を配合してなる潤滑油20を供給して金属材料の加工を行う。
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工具ダイ用の耐摩耗性被覆
未焼成セラミック体を形成するための工具ダイが記載されている。この工具ダイは、基体上に堆積された耐摩耗性被覆を有し、約0.03μmから約0.8μmRqまでの範囲の平均粗さを与える形態を有する外面または自由面を有する。ある実施の形態において、この耐摩耗性被覆は、微細な粒状材料と粗い粒状材料の多数の交互の層を有する。工具ダイおよび耐摩耗性被覆を製造する方法も提供される。
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被覆超硬合金部材
【課題】超硬合金の表面に非晶質炭素膜を被覆してなり、基材の表面を特定の凹凸面とすることで密着性を向上させた新規の被覆超硬合金部材を提供する。
【解決手段】被覆超硬合金部材は、炭化タングステンを含む硬質相12および鉄族金属を含む結合相11からなる超硬合金からなる基材10と、基材10の表面に被覆された非晶質炭素膜2と、を備える。非晶質炭素膜2が被覆された基材10の表面は、硬質相12が消失してなる凹部12−をもつ凹凸面10fであり、WCの平均粒径をX[μm]、凹部の最大深さをY[μm]、凹凸面における前記結合相の面積率をZ[%]としたとき、X、YおよびZの値を所定の範囲内とすることで、アンカー効果により基材10の表面と非晶質炭素膜2との密着性が向上する。
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