【課題】ＬＳＩ用半導体ウエハやＭＥＭＳ用基板のような微細構造を有する被洗浄物を、洗浄によるダメージを与えることなく、ガス溶解水により効果的に洗浄してこれらの被洗浄物を高度に清浄化する。
【解決手段】洗浄容器内１０で、被洗浄物を、当該洗浄液の液温における飽和溶解度以上の溶存ガスを含む洗浄液（過飽和ガス溶解液）と接触させて洗浄する。洗浄容器に、過飽和ガス溶解液を導入するか、或いは、洗浄容器内に洗浄液を導入した後加圧ガスを導入して洗浄容器内で過飽和ガス溶解液を調製した後、洗浄容器内で被洗浄物を過飽和ガス溶解液に接触させた状態で洗浄容器内を減圧し、過飽和ガス溶解液から発生した過飽和の溶存ガスの気泡で被洗浄物を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】洗浄剤などの薬剤を使用する洗浄処理を完結でき、環境を汚染せず省エネの要請にも応えることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】飽和蒸気圧を超える圧力を維持して流通水を過熱する過熱ラインＨＴと、過熱ラインＨＴの過熱水を、大気開放状態で洗浄対象物に噴射して洗浄対象物に付着した加工油を除去する洗浄部１と、加工油を含有する凝縮水を洗浄部１から受けて、凝縮水から油分を分離する油水分離部３と、を有して構成され、洗浄処理用の薬剤を使用することなく脱脂洗浄処理を完結することができる。 （もっと読む）

【課題】イソプロパノール等に代替する水置換剤であって、後工程での蒸気洗浄性に優れ、安全性に優れ、かつ蒸留再生使用が容易な水置換剤、及びそれを用いた水置換工程を含む蒸気洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄物の蒸気洗浄前に用いる水置換剤、及びそれを用いた水置換工程を含む蒸気洗浄方法であって、水置換剤として、下記一般式（１）で表わされるとともに、下記特性（Ａ）および（Ｂ）を有する親水性溶剤含むことを特徴とする。
（Ａ）２０℃において、水に対する溶解度が５０ｇ／１００ｇ以上の値である。
（Ｂ）沸点が１２０〜２２０℃の範囲内の値である。


（一般式（１）中、Ｒは炭素数１〜４のアルキル基であり、炭素数ｍは２〜５の自然数であり、繰り返し数ｎは１〜２の自然数である。） （もっと読む）

【課題】ＶＯＣの発生を抑制して環境への影響を抑制できると共に、金属表面の付着物の除去力の向上および金属表面の酸化の抑制が可能で、コストの低減が図れる金属線または金属条の表面処理方法ならびに表面処理装置を提供する。
【解決手段】金属線または金属条１０を気液混相流体と接触させて表面処理する表面処理方法であって、前記気液混相流体を構成する液体は、直径が１マイクロメートル以上１００マイクロメートル以下の液滴である。前記金属線または金属条１０は、銅線または銅条である。前記気液混相流体を構成する液体は、水を主成分とする。前記気液混相流体の平均温度は、４０℃以上沸点以下である。前記気液混相流体に含まれる酸素のモル分率は、１百分率以下である。 （もっと読む）

【課題】反応生成物の回収処理や有機還元剤の処理作業が不要で環境の汚染もなく金属ないし銅線を冷却・還元処理することを可能とする方法の提供。
【解決手段】金属１０１の表面に液状流体２０１を接触させることにより金属１０１の表面の酸化膜を還元する表面処理方法であって、前記液状流体２０１が水を主たる成分とし、且つ１体積百分率以上２５体積百分率未満の還元性気体の分子を含む。前記液状流体は、直径１マイクロメートル以上１２５マイクロメートル以下の気泡を含み、該気泡が前記還元性気体からなる。前記金属１０１は、銅である。前記還元性気体は、水素または一酸化炭素である。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤を用いず、過熱水蒸気を用いる方法であって、耐熱性が低い被洗浄材や機械的な強度が低い被洗浄材であっても、長尺な被洗浄材の全表面を、損傷を与えずに均一に連続して洗浄できる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】蒸気ボイラー１で発生させた飽和水蒸気を、過熱蒸気発生装置２で過熱水蒸気として洗浄室８に導入し、被洗浄材としてリール９に巻かれた長尺はんだテープ１１を洗浄室８下側の開口から供給し、上部の開口から取り出し、リール１０に巻き取ることにより、長尺の被洗浄材を被洗浄材の熱容量に応じた所定の速度で下方から上方に通過させる。 （もっと読む）

【課題】アルカリ洗浄液を使用することなく、低コストで鋼板を十分に洗浄できる、鋼板の洗浄方法および装置を提供すること。または、少量のアルカリ洗浄液の使用であっても、低コストで鋼板を十分に洗浄できる、鋼板の洗浄方法および装置を提供すること。
【解決手段】鋼板７に水蒸気と、空気および／または液滴とを吹き付けて洗浄することを特徴とする鋼板の洗浄方法を用いる。液滴が水であることが好ましい。このために、水蒸気を高速で噴出させることが出来る蒸気ノズル２と、蒸気ノズル２内に空気および／または液体を供給する供給管とを備え、該供給管の供給口５から供給された空気および／または液体と前記水蒸気とを蒸気ノズル２内で混合し蒸気ノズル２の噴出口６から噴出することを特徴とする鋼板の洗浄装置を用いる。供給管が、空気を供給する供給管３と、液体を供給する供給管４とからなることが好ましい。 （もっと読む）

洗浄工程で、現場生成されたフッ化水素（ＨＦ）を使用するシステム及び装置を開示する。例示的なシステムは、液相又は気相のハロゲン化供給材料と水素ガスとの現場反応を促進してＨＦを形成するために十分な温度で動作する洗浄レトルトを含む。このシステムは、洗浄レトルトの外部に配置された、液相又は気相のハロゲン化供給材料源と水素ガス源とを含み、それらは、反応すると洗浄レトルト内でＨＦを生成する。洗浄レトルト内に配置されるＨＦスクラバーは、現場反応によって形成された残留ＨＦガスを実質的に除去する。例示的な装置は、洗浄レトルトを含み、洗浄レトルトは、洗浄の必要がある部品を保持できる第１の領域と、ＨＦスクラバーとして動作する第２の領域とを備える。
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【課題】 銅等の金属配線の電気抵抗低減および安定化を実現し、銅等の金属配線の信頼性を向上させることが可能な金属配線膜の抽出洗浄方法、抽出洗浄処理された金属配線およびこの金属配線を有するデバイスを提供することである。また、配線構造を形成する過程で配線あるいはデバイス構成材料中に取り込まれた不純物を除去し、配線膜の比抵抗値の上昇を防止し、信頼性を高めることのできる金属配線膜の抽出洗浄方法、抽出洗浄処理された金属配線およびこの金属配線を有するデバイスを提供する。
【解決手段】 半導体ウエハー上にめっき法あるいは気相堆積法により形成された金属配線膜を常圧より高圧の二酸化炭素または不活性の気体ないし流体中に一定時間曝して処理する金属配線膜の抽出洗浄方法、抽出洗浄処理された配線およびこの配線を有するデバイスとした。 （もっと読む）

【課題】比較的低い温度下で、少なくとも１つの部品及び／又は半田表面から金属酸化物を除去するための経済的かつ効率的な方法を提供する。
【解決手段】基材に接続された該少なくとも１つの部品２５を提供して、該基材が接地電位又は陽電位から成る群より選択された少なくとも１つの電位を有するターゲットアッセンブリを形成すること；還元ガス２７を含んで成るガス混合物を、第１及び第２電極を含んで成るイオン発生器２１に通過させること；該還元ガスの少なくとも一部に付着する電子を発生させて、負に帯電した還元ガスを形成するのに十分な電圧を該第１及び該第２電極の少なくとも一方に供給すること；並びに該ターゲットアッセンブリを該負に帯電した還元ガス２７と接触させて、該少なくとも１つの部品２５上の該金属酸化物を還元することを含んで成る、少なくとも１つの部品２５表面から金属酸化物を除去する方法。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物を容器内に収容して洗浄する場合に、洗浄対象物を効率的に洗浄することが可能な洗浄装置及び洗浄方法を提供すること。
【解決手段】洗浄対象物を収容する容器２０を有し、前記洗浄対象物を前記容器２０内で洗浄する洗浄装置１であって、前記容器２０を支持する支持部材３１、３２と、前記容器２０を振動させる振動源５０と、前記容器２０に洗浄液を供給する洗浄液供給手段６０と、前記容器２０から前記洗浄液を排出する洗浄液排出手段６５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】故障の可能性が低く、安価であり、洗浄の均一性が高い洗浄装置を提供する。
【解決手段】複数のインジェクタ５Ｂ，５Ｌ，５Ｒ，５Ｔは、気泡ＢＢを含む流れを洗浄液７中に発生させることができ、この流れがコンベア３に向かうようにコンベア３の周囲に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 雌ねじ部が形成された加工穴をきれいに洗浄することができる技術を提供する。
【解決手段】 ワーク１２をロボット８によって支持し、ワーク１２に形成される加工穴１４と洗浄ノズル２２を対向させて、洗浄ノズル２２から洗浄流体を噴射する。このとき、洗浄ノズル２２は、加工穴１４の内壁に形成されたねじ溝３６に向けて洗浄流体を斜めに噴射し、加工穴１４の内部にねじ溝３６に沿って旋回する洗浄流体の旋回流を発生させる。 （もっと読む）

【課題】基材表面からの酸化物のコスト効果が高く、効率的な除去方法および装置の提供。
【解決手段】本明細書中に記載されているのは、ターゲット領域内の基材表面から金属酸化物を除去するための方法および装置である。ある特定の態様において、この方法および装置は、導電性ワイヤーによって電気的に接続されている突き出た導電性チップの配列を有し、そして第１の電気的に接続された群および第２の電気的に接続された群に分離されており、導電性チップの少なくとも一部分が、負にバイアスされている直流電源によって活性化されて、ターゲット領域内に存在する還元ガスの少なくとも一部分に付着する電子がターゲット領域内で発生し、処理表面と接触して基材の処理表面上の金属酸化物を還元する負に帯電した還元ガスを生成する、通電電極を有する。 （もっと読む）

【課題】高温部品における冷却孔の周囲に生じた欠陥の補修を、冷却孔を閉塞することなく、且つ補修による変形を生じさせることなく、低コストで実現できること。
【解決手段】高温状態で運転されるガスタービンの静翼１１における冷却孔２０の周囲に生じた欠陥としてのき裂２１を補修する高温部品の欠陥補修方法において、き裂２１の表面に生じた酸化層２３を洗浄により除去する洗浄工程と、冷却孔２０に挿入材２２を挿入して当該冷却孔２０を閉塞する挿入工程と、ろう付け補修材２４を用い拡散熱処理によってき裂２１をろう付け加工するろう付け工程と、挿入材２２を取り出し、静翼１１の表面を仕上げ加工する後処理工程と、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】水を用いた場合でも、再付着がなく洗浄後の乾燥効率も非常に高く、洗浄、乾燥時間を短縮できるベーパー洗浄を可能にする。
【解決手段】洗浄剤１１を蓄えることが可能なベーパー槽２と、ベーパー槽２に連結された、ベーパー洗浄槽２の内部を加減圧する圧力調整手段６及びベーパー洗浄槽２内に洗浄剤１１を供給する洗浄剤供給手段７と、ベーパー槽２を加熱する加熱手段１０を具備し、大気圧の状態で被洗浄物１３を入れた後に密閉状態にしたベーパー槽２内に洗浄剤１１を供給し、洗浄剤１１を加熱するとともに、ベーパー槽２内を真空状態にして洗浄剤１１の沸点を下げて被洗浄物１３をベーパー洗浄し、ベーパー槽２内を大気状態に戻すとともにベーパー槽２内から洗浄剤１１を抜き取り、ベーパー槽２内を再び真空状態にすることで洗浄剤１１の沸点を下げて被洗浄物１３に付着した洗浄剤１１を蒸発させる、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】モータユニットに付着した塵埃や汚染物質を、ユニットが完成した状態でも、軸受などに対して影響を及ぼすことなく効果的に除去することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】ドライアイスを噴出する第１のノズルと、ドライアイスを吸引回収する第２のノズルとが一体になったノズルユニットを、被洗浄物の被洗浄表面に対して相対的にトラバースさせ、被洗浄面に対して第１のノズルからドライアイスを噴出すると共に、第２のノズルから、ドライアイスと共に被洗浄物の表面から剥離した粉粒体または被洗浄物の表面から溶解した汚染物質を吸引回収する。これにより軸受オイルの二次汚染することなく確実に洗浄できると共に、被洗浄物に大きな荷重を与えないので、変形を防止できる。 （もっと読む）

【課題】ボルト穴の洗浄と目視検査と損傷履歴の管理とを一括して行うことができるスタッドボルト穴の洗浄、検査及び損傷履歴管理システムを提供する。
【解決手段】シリンダの主フランジの上面に沿って移動しつつ、スタッドボルトを挿通するためのボルト穴を洗浄、検査、及び管理する本体１００と、本体１００に接続されて自動またはマニュアル操作を行う自動制御部２１０及びマニュアル制御部２３０と、ボルト穴の状態及び履歴管理を行う写真検索部２５０とを有するメインコントローラ２００と、メインコントローラ２００に接続され、マニュアル操作を行うためのペンダントコントローラ３００と、本体１００に接続されて前記ボルト穴へ洗浄水を供給する洗浄水タンク４００と、ボルト穴の洗浄後に異物及び洗浄水を吸引して貯溜する真空洗浄機５００とを備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】構成簡易且つコンパクトで設置に場所をとらず、しかもエアのみを動力源とするために、電源の有無、電源の仕様等に関わりなく使用することができる機械部品の洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】上方から順に洗浄ブース１、濾過室２及び回収タンク３を備えて成るエアのみを動力源とする機械部品の洗浄装置であって、前記洗浄ブース１内には洗浄すべきワーク７０を回転自在に支持するワーク受けが設置され、前記洗浄ブース１は開閉蓋４を有していて、前記開閉蓋４及び／又は前記洗浄ブース１の側面にエアノズル１３と洗浄液ノズル１４とが突設されて、前記ワーク受けに支持されるワーク７０が、前記各ノズルから噴出するエア及び／又は洗浄液によって回転駆動可能にされる。 （もっと読む）

【課題】適合する洗浄仕様が異なる被洗浄物の場合であっても流体噴出ノズルの交換作業を必要とせず１台のマシンで効率よく対応できるようにする。
【解決手段】洗浄流体噴出部４１２が、噴射特性の異なる高圧洗浄ノズル４１７ａと２流体洗浄ノズル４１８ａを備え、被洗浄物の種類に応じて高圧洗浄ノズル４１７ａと２流体洗浄ノズル４１８ａのいずれか一方を選択使用することで、適合する洗浄仕様（高圧洗浄仕様、２流体洗浄仕様）が異なる被洗浄物の場合であってもノズル交換作業を必要とせず１台のマシンで効率よく対応できるようにした。 （もっと読む）