【課題】 移動フレームの上に水を貯留させたトラフを炉長方向に沿って設けなくても、駆動用支柱を挿通させるように炉床に設けた各貫通部を通して、加熱炉内の雰囲気ガスが外部に漏れ出したり、外気が加熱炉内に侵入したりするのを簡単に抑制できるようにする。
【解決手段】 炉床10に設けた貫通部13を通して炉床の上方に突出された駆動用支柱21の上に炉長方向に沿った駆動ビーム22を設け、この駆動ビームを上下及び炉長方向に往復移動させるウォーキングビーム式加熱炉１において、炉長方向に沿ったシールプレート14を上記の貫通部を挟むようにして炉床の下に設け、少なくとも片側のシールプレートから対向する他方のシールプレートに向けて、炉長方向に沿ったライン状に水を噴出させ、対向するシールプレート間に水膜Fを形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】加熱炉内のクリーン度（米国連邦規格２０９Ｄ）をクラス１０レベルに高く保つことができるローラーハースキルンに関する技術を提供すること。
【解決手段】金属製ケース内に断熱材を充填した断熱壁で天井部３・床部４・左右側壁部５を構成した炉内空間にワーク搬送用の低発塵性ローラー６を備えた本体部１と、該本体部全体を覆う外殻２を有し、該本体部の左右側壁部に形成されたローラー貫通孔１２を貫通した低発塵性ローラー６を、外殻に設けた低発塵性ローラー駆動部７で支持し、炉内空間には、低発塵性ヒータ８を備える。 （もっと読む）

【課題】シングルモードタイプの加熱炉において、リング状の大型試料を加熱（焼結、焼鈍）する際の加熱ムラを抑制する。
【解決手段】被加熱体５が収容される内部空間を有する加熱部１３と、前記内部空間へマイクロ波を照射するマグネトロン１とを備えたマイクロ波加熱炉において、前記加熱部１３は、金属製の円筒形状の外側導体３と、前記内部空間を介して前記外側導体３の内部に設けられた金属製の円柱又は円筒形状の内側導体４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リファイナーで連続焼鈍炉の炉内低露点化を図る場合、熱量の追加投入無しでは炉内温度の局所的低下を防ぎ得ないため、炉内の局所的炉内温度の低下を抑えつつ、炉内雰囲気の低露点化を図る方法を提供する。
【解決手段】炉内雰囲気の一部であるガスを炉外に設けたリファイナー８に取り込んで脱湿・脱酸した後、再び炉内へ吹き込む、連続焼鈍炉の炉内雰囲気調整方法において、リファイナー８を出た脱湿・脱酸後のガスを、炉外に設けた熱交換器７にてリファイナー８に取り込むガスと熱交換させ、次いで、炉内に設けた炉内熱交換器１１にて炉内雰囲気と熱交換させた後、炉内へ吹き込む。 （もっと読む）

【課題】 基板を高温で処理する場合においても、熱によるチャンバーの変形を有効に防止することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】 熱処理装置は、チャンバー１と、第２チャンバー２と、フレームカバー３とを、この順序で順次外側に配置した三重構造を有する。そして、チャンバー１内には、基板１００を加熱して処理するためのホットプレート４が配設されている。第２チャンバー２は、いずれも金属板から構成される上蓋２１、本体２２およびフード２６と、これらの上蓋２１、本体２２およびフード２６の内面に配設された断熱材２３とを備える。この第２チャンバー２は、チャンバーベース２７とともに、チャンバー１を囲う断熱領域ＴＩを形成する。すなわち、チャンバー１と第２チャンバー２との間には、外部との空気の流通が制限された空気断熱層から構成される断熱領域ＴＩが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 焼入室から流入する大気エアで熱処理室の雰囲気が害されることのない熱処理方法を提案する。
【解決手段】 熱処理室３において非減圧下で熱処理した被処理体２を焼入室４において冷却する熱処理方法において、焼入済みの被処理体２を前記焼入室４から取り出す際に、前記熱処理室３から前記焼入室４へのガス導入のための連通を遮断する。これにより、焼入室４側から熱処理室３側へとエアが流入することがなくなるので、熱処理室３の雰囲気が害されることがない。 （もっと読む）

【課題】十分なシール性能を発揮するとともにランニングコストを低く抑えることができる。
【解決手段】熱処理対象の金属ストリップＳを炉開口１１から炉内へ通過させるようにした熱処理炉において、金属ストリップＳの表裏板面に対向する炉開口１１の炉壁にそれぞれ、金属ストリップＳ板面に対し循環風を吹き付けて炉開口部に相対的に高圧のガスシール雰囲気を形成する第１吹出し口２３Ａ,２３Ｂを設けるとともに、これら第１吹出し口２３Ａ,２３Ｂを挟んで炉壁の内外位置にさらに、ガスシール雰囲気に向けて金属ストリップＳ板面に対し循環風を吹き付ける第２吹出し口３１Ａ,３１Ｂを設け、かつ第１吹出し口と第２吹出し口の間の炉壁に吸込み口４１Ａ,４１Ｂを設けて、当該吸込み口から吸引した循環風を再び第１吹出し口と第２吹出し口へ供給する循環風流路３Ａ，３Ｂを設ける。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板用熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
炉体内部に配設したヒータで被処理物を加熱する熱処理装置において、前記ヒータは発熱体よりなるヒータ本体を、中空金属製のケース状の熱板中に収納して構成すると共に、熱板の両端間に熱板よりも熱膨張率の小さい金属製の緊張手段を介設することにより熱板にテンションを掛けるべく構成してなる熱処理装置である。また、炉体内部に配設したヒータで被加熱物を加熱する熱処理装置において、前記ヒータは、発熱体よりなるヒータ本体を中空金属製のケース状の熱板中に収納して構成すると共に、補強材の立上げ壁を熱板に貫通し、補強材の一側端部を炉体フレームに固定し、他側端部には熱膨張を吸収可能な熱膨張吸収機構を設けたことを特徴とする熱処理装置である。 （もっと読む）

【課題】可及的安価な構成で、且つ、吸気した清浄な空気を熱効率よく加温することのできる熱処理炉を提供する。
【解決手段】炉内に設けた加熱室３の空気を炉外へ排気しつつ、清浄な空気を前記加熱室に供給１２して同加熱室内を換気する熱処理炉において、前記加熱室に面する炉壁内に前記加熱室の空気を排気するための流路５を形成し、同流路を経た排気との熱交換によって加温した前記清浄な空気を前記加熱室に供給することとした。また、前記排気と前記清浄な空気との熱交換を行う熱交換器２５を前記炉内に設けたこと、前記清浄な空気を前記熱交換器に導く配管２６の少なくとも一部を前記炉内に配設したこと、前記炉内に前記加熱室を多段状に複数設け、各加熱室からの排気を前記流路に集合させたことにも特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加熱、焼成する製品の加熱温度や雰囲気条件等に関係なく使用することができる加熱炉用ヒーターを提供する。
【解決手段】加熱炉用ヒーター１０の第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８はカバーパイプ３０と第１保持体３２と第２保持体３４を有している。第１保持体３２にはガス通路３２Ａと水通路３２Ｂが貫通形成され、第２保持体３４にはガス通路３４Ａと水通路３４Ｂが貫通形成されている。カバーパイプ３０の中間部には発熱体としてのカーボン体４２が配設されている。また、カバーパイプ３０の内部にはガス通過隙間４３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】加熱炉の複数箇所の開口部から吸引する雰囲気ガスの流量比を容易に調整できる雰囲気ガスの流量調整機構を提供する。
【解決手段】加熱炉の複数箇所の各開口部に接続される複数の吸引口を有する分岐配管と該分岐配管の下流側端部に接続される単一のブロアとを備え、該分岐配管の少なくとも１つ以上の吸引口に、雰囲気ガスが通過する穴が形成された流量調整板を取り付け、流量調整板の穴の面積を変えることにより、加熱炉の複数箇所の開口部から吸引される雰囲気ガスの流量比を調整し、ブロアの出力を変えることにより吸引ガスの総量を調整する。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ波を応用して良質な炭素繊維や黒鉛繊維などを生産することができ、かつ、構成簡単にして電気エネルギーの省力化に適する加熱装置を提案すること。
【解決手段】 加熱炉本体１１にマイクロ波電力を導入するマイクロ波供給手段と、前記加熱炉本体１１の入口部１１ａと出口部１１ｂに設けてマイクロ波電力の漏洩を防ぐフィルタゾーン１２ａ、１２ｂと、マイクロ波発熱材で中空体として形成し、前記加熱炉本体１１の入口部１１ａと出口部１１ｂとの間に配設した加熱釜１５と、前記加熱炉本体１１の内部１１ｃと、前記加熱釜１５内の空間とを分離し、かつ、前記加熱釜１５を保持するマイクロ波吸収の少ない断熱材１６、１７とを備え、前記入口部１１ａから供給した線状のワーク１８を、前記加熱釜１５内を通し、前記出口部１１ｂより排出し、前記加熱釜１５内で加熱する構成としてある。 （もっと読む）

【課題】炉内のリード線と外部に露出する電極棒とを炉外で着脱することができる熱処理炉とそのヒータ交換方法を提供する。
【解決手段】被処理物１の加熱処理を行う熱処理炉１０で、被処理物を内部に収容すると共に、断熱部材によって構成された、中空の加熱室２０と、断熱部材内に組み込まれた抵抗加熱式のヒータ２２と、加熱室と間隔を隔てて前記加熱室を囲む中空の炉体１２と、炉体の内部と連通するように炉体に設けられたノズル１６と、ノズルの外方端部に着脱可能に取り付けられ、ノズルから電気的に絶縁された電極棒３０と、ヒータのリード線２３と電極棒とを電気的に接続する可撓性の導線３２とを備え、導線３２は、電極棒３０をノズル１６から分離した状態においてノズル１６の外部で電極棒３０と着脱可能で、電極棒をノズルに取り付けた状態でノズル内面に接触しない長さを有する。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって使用した場合にも発光管の破損が生じない長寿命のハロゲンヒータランプユニットおよび熱処理装置を提供することにある。
【解決手段】熱処理装置は、ワークを加熱する熱処理空間を取り囲む、断熱材からなる断熱筐体１１と、当該断熱筐体の上壁に形成された挿入孔１５に挿通されるよう配設された筒状体３０と、ワークを加熱する熱源として、水平部およびその両端から垂直方向に伸びる垂直部よりなるＵ字状の発光管を備え、発光管内における少なくとも水平部２１Ａにフィラメントが配設されたハロゲンヒータランプ２０とを備える熱処理装置であって、当該ハロゲンヒータランプが、当該ハロゲンヒータランプの発光管の各々の垂直部が前記筒状体内に当該垂直部の外周面と前記筒状体の内周面との間に間隙を介する状態で挿通されるよう配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】工業炉設備（特に真空炉設備）において使用される少なくとも１つの真空ポンプを効率的に制御するための方法及び工業炉設備を提供する。
【解決手段】本発明は、制御／調節装置に組み込まれたポンプコントローラを用いて、圧力の経時的変化に応じて、熱処理プロセスの段階ごとに、真空の要否に基づいて、真空ポンプを駆動または停止（Ｐａ）させ、工業炉設備内において熱処理プロセスが実行中であるか否かを問い合わせるステップ（Ｓ１）、熱処理プロセスの現在の段階において真空ポンプが必要か否かを問い合わせるステップ（Ｓ２）、熱処理プロセスの将来の段階において真空ポンプが必要となるか否かを問い合わせるステップ（Ｓ３）及び／または、次に真空ポンプの使用を必要とするまでの時間（Ｔ１）が真空ポンプの所要準備時間（Ｔ２）よりも長いか否かを問い合わせるステップのうちの、少なくとも１つを有するプログラムを使用することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】別個の装置を必要とせず、簡単な構成で軸受を冷却することが可能であり、設備コストおよび運転コストの削減を可能とした熱処理装置を提供する。
【解決手段】この発明の熱処理装置１は、熱処理炉２、攪拌翼４、軸受５，６、および回転翼７を備える。熱処理炉２は被処理物を収容する。攪拌翼４は、熱処理炉２の炉壁を貫通して熱処理炉２の内部と外部とにわたって配置される駆動軸１８の先端に取付けられ、炉内の雰囲気ガスを攪拌する。軸受５，６は、熱処理炉外に軸受保持部材１４，１６を用いて取付けられ、駆動軸１８を軸承する。回転翼７は、駆動軸１８に固定される。この構成において、駆動軸１８により回転翼７が回転されることにより生ずる空気流により軸受保持部材１４，１６および軸受５，６が冷却される。 （もっと読む）

【課題】余分なスペースや追加の熱源を要さずに雰囲気ガスを予熱して、被処理物に接触するガスの温度と流量分布を均一化し、熱処理ムラの抑制を実現できる熱処理装置を提供する。
【解決手段】雰囲気ガスを供給するガス供給管２０を、ガス供給管２０の内部空間を複数の領域に空間的に分離する分離板２３と、複数のガス通過領域の間を連通する連通口２６と、ガスを炉内に噴出する噴出口２８とを備えるように構成することにより、炉体外部からガス供給管内部に導入した雰囲気ガスが、各ガス通過領域を通過する間に炉内温度によって予熱され、かつ均一な流量で炉内に噴出される。その結果、均一な温度の雰囲気ガスが均等に被処理物１１に供給される。 （もっと読む）

【課題】余分なスペースや追加の熱源を要さずに雰囲気ガスを予熱して、被処理物に接触するガスの温度を均一化し、熱処理ムラの抑制を実現できる熱処理装置を提供する。
【解決手段】雰囲気ガスを供給するガス供給管１９を、ガス噴出口３０を有する内側管２７と、内側管２７の外側に設けられた、ガス噴出口３１を有する外側管２８とを備え、ガス噴出口３０の輪郭を外側管２８の内壁面に垂直投影したときの投影図がガス噴出口３１と干渉しないように構成することにより、炉体外部から内側管２７に導入した雰囲気ガスが、内側管２７の内部と、内側管２７と外側管２８との隙間を通過する間に炉内温度によって予熱される。その結果、均一な温度の雰囲気ガスが被処理物１１に供給される。 （もっと読む）