【課題】ガラス基板用熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
炉体内部に配設したヒータで被処理物を加熱する熱処理装置において、前記ヒータは発熱体よりなるヒータ本体を、中空金属製のケース状の熱板中に収納して構成すると共に、熱板の両端間に熱板よりも熱膨張率の小さい金属製の緊張手段を介設することにより熱板にテンションを掛けるべく構成してなる熱処理装置である。また、炉体内部に配設したヒータで被加熱物を加熱する熱処理装置において、前記ヒータは、発熱体よりなるヒータ本体を中空金属製のケース状の熱板中に収納して構成すると共に、補強材の立上げ壁を熱板に貫通し、補強材の一側端部を炉体フレームに固定し、他側端部には熱膨張を吸収可能な熱膨張吸収機構を設けたことを特徴とする熱処理装置である。 （もっと読む）

【課題】ヒータの本体部分のみならず端部における防爆対策をも併せ持った二重管式ヒータの防爆構造を提供する。
【解決手段】フィラメント１２が封入された石英管１３を、冷却流体が供給される外側管１４の内部に封入して二重管式ヒータとし、その端子部にリード線収納用のチューブ１８を取り付け、このチューブ１８の内部にパージエアを供給して炉内ガスの侵入を阻止した。可燃性の有機溶媒蒸気が発生するワークを乾燥する炉の加熱源として適している。 （もっと読む）

【課題】熱交換器等のワークをろう付けするための装置を小型化し、エネルギー消費量が小さく、ワークをろう付け温度に迅速かつ均一に昇温できるろう付け装置を提供する。
【解決手段】ろう付けチャンバ２内を加熱空間２１としてワークＷを配置し、ろう付けチャンバ２の上下に複数の近赤外線ヒータを設置して輻射加熱する一方、ろう付けチャンバ２の側面に窒素ガスの熱風を導入する導入口４１と排出口４２を設けて、加熱空間内に熱風を対流循環させる。輻射加熱と対流加熱を組み合わせて複数の近赤外線ヒータの出力を、温度センサ２４の測定値を基に制御部で制御することで、ワークＷ全体を均一加熱する。 （もっと読む）

【課題】真空炉の内部にてプラズマを用いて金属材料からなる被処理物の浸炭等による表面改質を行うプラズマ処理装置において、プラズマ生成のための電界強度を任意に変更可能とし、これによって多種多様な被処理物の表面改質における自由度を向上させる。
【解決手段】真空炉１の内部にてトレーＴに載置された被処理物Ｘを処理するために、第１給電部１４は導電性の綱部材１４ｂを被処理物ＸあるいはトレーＴの任意の箇所に接続可能に構成され、第２給電部の綱部材１５ｃは一端がアーク電極等に接続され真空炉１の内部で自由に移動できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】対象物をムラなく均一に高温加熱しながら高精度に計測するため、加熱装置を密閉構造とすることなく、さらに対象物をステージ動作させながらでも、対象物の加熱及び計測を可能とする加熱装置を提供する。
【解決手段】対象物６の上面に計測用に設けた開口部１０を有するプレート型ヒーター５を配置し、前記対象物６の下面には接触式または非接触式の加熱ユニット７と、前記対象物６を支持する支持体１１とで構成された加熱ケース９をステージに搭載し、ステージ動作させながら対象物６の加熱と計測を可能とする加熱装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】鋼板を部分的に異なる温度に加熱する際に、部分的に異なる温度に１回の加熱処理で同時に加熱できるようにする。
【解決手段】ブランク材に密着させられる平坦な加熱面（上面１２ｆ）を有するとともに、多数のシーズヒータ１８ａ〜１８ｍによってその加熱面が複数の加熱領域２０ａ、２０ｂ、・・・に区分して異なる加熱温度に加熱されるホットプレート１２により、その加熱面の複数の加熱領域２０ａ、２０ｂ、・・・の加熱温度に応じてブランク材を部分的に異なる温度に１回の加熱処理で同時に加熱することができる。これにより、例えばセンターピラー用の補強部材のように、ブランク材を部分的に焼き入れ硬化させるために部分的に異なる温度に加熱する場合に、その加熱処理を容易に且つ短時間で行うことができるとともに、一度に加熱するため温度管理が容易であり、高い精度で目的とする温度分布が得られる。 （もっと読む）

【課題】今まで固定されていた第三ゾーンの発熱体の位置を外部から可変できる可変温度勾配式マルチゾーン型電気炉を提供する。
【解決手段】本発明は、上記課題を解決するため、発熱体を有する加熱部を有する所謂内熱型の単結晶を合成する電気炉において発熱体が２個以上で構成される電気炉で、加熱源である発熱体の位置を外部から変えることにより、温度分布を変えることができる電気炉の構成とした。 （もっと読む）

【課題】発生ガス量を抑制し、原料の粉体の飛散を防止して反応容器内の充填率を向上できる加熱装置および加熱方法を提供する。
【解決手段】加熱によりガスを放出する粉体のための加熱装置１００であって、粉体の原料Ｐを収容し、ガスを排出可能に形成された容器１１０と、容器の周囲に設けられたヒータ１２０と、ヒータ１２０による容器１１０の加熱位置を所定速さ未満で移動させる加熱位置移動部と、を備えることを特徴としている。このように、容器１１０の加熱位置を所定速さ未満で移動させることで、発生ガス量を抑制し、原料の粉体Ｐの飛散を防止して反応容器１１０内の充填率を向上させることができる。また、原料の粉体Ｐが飛散せず適正な温度履歴を与えることができ、原料に期待した反応を生じさせることができる。また、粉体が飛散しないことから歩留まりが向上する。 （もっと読む）

【課題】 発熱時の軟化によっても基本形状を維持でき、しかも取付の容易な電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに電気ヒーターを備えた炉を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する絶縁体２０とを備える。この発熱体１０のうちスリットに沿う幅方向Ｘに位置する一対の幅方向端部１３，１３で絶縁体２０に支持される。発熱体１０は一対の幅方向端部１３，１３の間で下側へ凸となる円弧状を呈する。幅方向端部１３を略鉛直方向Ｚに向かって絶縁体２０に形成した溝２３に挿入し、溝２３内で幅方向端部１３を絶縁体２０に係止してある。 （もっと読む）

【課題】加熱能力を効果的に高めることのできる金属ストリップの横型連続焼鈍炉を提供する。
【解決手段】金属ストリップ２０の横型連続焼鈍炉１０において、加熱室１２の上部にセラミックスから成る支持板３６を横設して、支持板３６の上面に電熱線から成る電気ヒータ４４Ｃを横向きに寝た状態且つ波打形状をなす状態に設置し、電気ヒータ４４Ｃで加熱された支持板３６からの輻射熱を、下方を通過する金属ストリップ２０に当てて加熱するようにする。 （もっと読む）

【課題】低温域での昇温リカバリーにおける収束時間を短縮し、ＴＡＴの短縮及びスループットの向上を図る。
【解決手段】制御装置は、処理容器内を初期温度から該初期温度よりも高く且つ１００〜５００℃の範囲内の目標温度にする温度制御を行うため、１つの制御量によりヒータ及び送風機への給電を制御し、正方向の絶対値の増加によりヒータへの給電を増加させ、負方向への絶対値の増加により送風機への給電を増加させるように制御量を準備する工程と、制御量に従って送風機への給電を停止すると共に、ヒータに所定供給量で給電することにより目標温度下の所定温度まで処理容器内を加熱する工程と、所定温度になった時点から、制御量に従って、送風機に所定供給量で給電して冷却空気を送風すると共に、ヒータへの給電を停止することにより処理容器内を目標温度に収束させる工程と、次に制御量に従って、送風機への給電を停止すると共に、ヒータに所定供給量よりも小さい値で給電することにより処理容器内を目標温度に維持する工程とを実行する。 （もっと読む）

本発明は、１箇所で物体を加熱するための、耐火セラミック壁と熱源とを備える炉であって、前記炉がセラミック材料の付着層が主面のうちの１つに被覆された少なくとも１つの金属板を備え、被覆付き板が壁と熱源との間に配置され、前記付着層が熱源に面する、炉に関する。被覆付き金属板は、熱障壁として作用し、熱源の熱効率を改善する。炉は、特に、曲げフレーム上に配置された板ガラスの重力曲げのためのものである。
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【課題】炉内の清掃作業等の煩雑な後処理の追加やランニングコストの増加を招くことなく、開口部の開放時に低温の雰囲気の流入によるシャッタの内側面への昇華物の付着を抑制でき、処理基板の汚損を未然に防止できるようにする。
【解決手段】複数のシャッタ部材２のそれぞれの背面に、ヒータ４を装着した。ヒータ４は、ヒータ素線４１が埋設又は取り付けられた絶縁板４２の両面をマイカ等の耐熱性を有する絶縁材料４３，４４で被覆して構成されている。ヒータ４は、シャッタ部材２の背面に、例えばネジ止めされる。ヒータ４は、例えば１５０℃程度の温度以上に発熱する容量があればよい。 （もっと読む）

【課題】真空室内に配置された被加熱物の接触状態を検出して効率良く加熱する真空加熱装置および方法を提供する。
【解決手段】前記被加熱物に、ヒータ加熱面と温度検知部を接触させ、前記温度検知部から得られた情報に基づいて、加熱初期の被加熱物の温度上昇度を算出し、該温度上昇度が、所定規定値（Ｂ）以上のときは、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が良好であると判別し、所定規定値（Ｂ）未満のときは、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が不良であると、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態を判別し、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が不良であると判別した場合には、前記ヒータ加熱面を前記被加熱物から離したのち、再度、前記ヒータ加熱面を前記被加熱物に接触させてから、前記温度検知部から得られた加熱初期の被加熱物の温度上昇度に基づいて、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態を判別する。 （もっと読む）

【課題】ヒーターの絶縁支持構造の信頼性を向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係る熱処理装置１は、発熱体（ヒーター板Ｈ４）を支持する支持機構Ｓ４において、発熱体を支持する支持部材４０２が金属材料で構成されている。このため、発熱体が炭素系材料のような材料で構成されている場合でも、発熱体と第２の部材との間の熱反応による当該第２の部材の変質あるいは融解を防止できる。また、支持部材４０２は電気絶縁性の絶縁部材４０３を介して金属製の支持軸４０１に支持されているため、発熱体の絶縁耐圧を安定に確保することができる。 （もっと読む）

【課題】熱処理炉の連続稼働時間を飛躍的に長くするとともに、漏電の危険性を低下させることのできる熱処理炉用のヒータ回路を提供する。
【解決手段】ヒータ回路10を、n個のリレー12と（nは、2あるいは2よりも大きい整数）、各リレー12のそれぞれに電気的に接続されたn個のヒータ14と、熱処理炉30の内部温度に応じて、ヒータ稼働基準サイクルタイムAをn等分した時間をヒータ個別稼働サイクルタイムBとしたときにおける「ヒータ個別稼働サイクルタイムB×(n−１)」の時間内で、各ヒータ14が稼働するヒータ個別稼働時間Cを決定してヒータ個別稼働時間信号S3を出力する温度調節回路16と、ヒータ個別稼働時間信号S3を受け、各リレー12に対してヒータ個別稼働サイクルタイムBを空けて順にヒータ個別稼働時間Cだけヒータオン信号HSを出力するオン信号出力回路18とで構成することにより上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】基板と基板支持部の接触面積を増加させることにより、焼成装置の内部温度が上昇及び下降することで、基板支持部が収縮・膨脹しながら、基板にスクラッチを発生させることを防止できる基板焼成装置を提供する。
【解決手段】焼成炉１０内部に熱を供給して基板Ｓを焼成温度で加熱する加熱部２１と、前記基板Ｓが積載されるように内側面に水平に設置される支持フレーム３０a及び前記支持フレーム３０ａの一領域から中央部側へ突出する少なくとも１つの支持ピン３０ｂとを備え、上下方向に一定間隔で設置される石英材質の第１支持部３０、前記第１支持部３０の前記支持ピン３０ｂ上に配置されて前記基板Ｓ下部面の枠と一定領域だけ接触するように設置される石英材質の第２支持部４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】ヒーター表面でのアンモニアガスの分解量を一定にして、炉内の残留アンモニア濃度を安定させ、浸窒焼入れ部品の品質を向上することができる浸窒焼入れ方法、浸窒焼入れ用ヒーター、浸窒焼入れ装置を提供する。
【解決手段】鉄または鉄合金にて構成されるワーク１１をアンモニアが供給される熱処理炉１内に設置し、金属部材にて構成され熱処理炉１内雰囲気に接触するように配置されるヒーター１３により前記熱処理炉１内を加熱することで、前記ワーク１１に窒素を浸透拡散させるとともに焼入れを行う浸窒焼入れ方法であって、前記ヒーター１３の表面における酸化膜の形成範囲を調整することにより、ヒーター１３表面でのアンモニアの分解度合いを制御する。 （もっと読む）

【課題】従来の加熱炉においては、蛇行状ヒータエレメントの湾曲部を炉壁用断熱材に固定しているため、加熱中のヒータエレメントの膨脹及び冷却中の収縮による歪みがヒータエレメントに蓄積し、そのため長期亘って使用しているとヒータエレメントがこれを配置した溝内から飛び出したり、ヒータエレメント同士が接触したり、ヒータエレメントが炉内の被加熱物に接触したり、熱疲労によりヒータエレメントが破断してしまうという欠点があった。
【解決手段】本発明の高温用加熱炉は、炉壁用断熱材と、この断熱材の炉芯側面に上下方向に互いに離間して多段に配置した、夫々上下端で蛇行状に折れ曲がるヒータエレメントと、上下に隣接する上記ヒータエレメントの互いに対向する蛇行部分を連結する、上記断熱材に固定されていない耐熱・絶縁性フックと、上記ヒータエレメントの最上段のものを吊下する手段とより成ることを特徴とする。 （もっと読む）