【課題】本発明は、加熱、焼成する製品の加熱温度や雰囲気条件等に関係なく使用することができる加熱炉用ヒーターを提供する。
【解決手段】加熱炉用ヒーター１０の第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８はカバーパイプ３０と第１保持体３２と第２保持体３４を有している。第１保持体３２にはガス通路３２Ａと水通路３２Ｂが貫通形成され、第２保持体３４にはガス通路３４Ａと水通路３４Ｂが貫通形成されている。カバーパイプ３０の中間部には発熱体としてのカーボン体４２が配設されている。また、カバーパイプ３０の内部にはガス通過隙間４３が設けられている。 （もっと読む）

【目的】処理品を１０００℃以上の高温に急速加熱し且つ均一に焼成するためのバッチ式焼成炉の焼成方法を提供する。
【構成】炉内に、棒状またはパイプ状の加熱用ヒーターを並設してなる棚構造を上下方向に複数段配置し、炉の内壁面または内壁面近傍に補助ヒーターを配設したバッチ式焼成炉で、前記棚構造上に処理品を積載したセッターを載置して処理品を加熱、焼成する方法において、補助ヒーターとして中央部に発熱部長の１０〜２５％の長さの非発熱部を設けたヒーターを使用し、補助ヒーターとセッターとを３ｄ〜１０ｄ（但し、ｄは補助ヒーターの直径）の距離離間して加熱、焼成を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって使用した場合にも発光管の破損が生じない長寿命のハロゲンヒータランプユニットおよび熱処理装置を提供することにある。
【解決手段】熱処理装置は、ワークを加熱する熱処理空間を取り囲む、断熱材からなる断熱筐体１１と、当該断熱筐体の上壁に形成された挿入孔１５に挿通されるよう配設された筒状体３０と、ワークを加熱する熱源として、水平部およびその両端から垂直方向に伸びる垂直部よりなるＵ字状の発光管を備え、発光管内における少なくとも水平部２１Ａにフィラメントが配設されたハロゲンヒータランプ２０とを備える熱処理装置であって、当該ハロゲンヒータランプが、当該ハロゲンヒータランプの発光管の各々の垂直部が前記筒状体内に当該垂直部の外周面と前記筒状体の内周面との間に間隙を介する状態で挿通されるよう配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】素線の膨脹の累積を防止した、素線のコイル状ヒーター要素を含む電気炉用のインサートを提供する
【解決手段】断熱シェルおよびコイル状ヒーター要素を含む電気炉用のインサートであって、ヒーター要素（２）が、折り曲げ部（１０）およびセクション（Ｓ_i、Ｓ₂）同士が共通の素線のループを形成するように、素線の折り曲げ部（１０）を介して相互接続している少なくとも２つのセクションからなる素線を含むインサート。折り曲げ部（１０）に直接接続しているセクション（Ｓ_i、Ｓ₂）中の素線が、締結部材（１１）を超えて膨脹するのを妨げるように、締結部材（１１）が断熱シェル中に固定され、折り曲げ部（１０）の領域内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】熱処理ゾーンにおいて周方向あたりの温度のばらつきを低減することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置１０は、炉床１２および炉本体２０内に、円筒状の熱処理ゾーン２６が設けられる。熱処理ゾーン２６の内周側には、曲面状の内周ヒーター３４が配置される。熱処理ゾーン２６の外周側には、曲面状の外周ヒーター４０が、熱処理ゾーン２６を挟んで内周ヒーター３４に対向するように配置される。内周ヒーター３４の高さ方向に分割された３段の内周ヒーター部分３６ａ、３６ｂ、３６ｃと、外周ヒーター４０の高さ方向に分割された３段の外周ヒーター部分４２ａ、４２ｂ、４２ｃとは、それぞれ対向する。 （もっと読む）

【課題】被加熱物に放射する熱の面分布をより均一化できる加熱装置を提供する。
【解決手段】支持部３により支持されたウェハと対向して平面状に配設された複数の熱源が熱源部２に設けられており、前記熱源が配設される平面と平行な方向において熱源部２と支持部３とが相対的に変位するように、前記熱源部２を旋回運動させる機構部４を有する、前記熱源部２を前記支持部３に対して旋回させることで、各熱源の放射熱がウェハの面上において分散されるため、前記熱源部２と前記支持部３との相対位置が固定されている通常の加熱装置に比べて、ウェハ上における放射熱の面分布のばらつきを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】発熱体の断線等を抑制し、発熱体の自重等による保持体の変形を抑制できる形状を提供する。
【解決手段】加熱室内に設けられ、基板を処理する処理室と、加熱室内を加熱する加熱装置と、を有し、加熱装置は、上下端のそれぞれに山部４２ａと谷部４２ｂとが複数連なるように形成され、両端が固定される発熱体４２と、加熱室の一部を構成し、前記発熱体４２の外周に設けられる断熱体３３と、該断熱体３３に固定され、前記発熱体４２を保持する保持体４１と、を備え、前記発熱体４２の山部４２ａの少なくとも一部が前記断熱体３３側に折り曲げられ、前記断熱体３３は、前記発熱体４２の谷部４２ａに相対する部分が前記発熱体４２側に向って突き出され、前記保持体４１を支持する突出部５１を備える。 （もっと読む）

【課題】今まで固定されていた第三ゾーンの発熱体の位置を外部から可変できる可変温度勾配式マルチゾーン型電気炉を提供する。
【解決手段】本発明は、上記課題を解決するため、発熱体を有する加熱部を有する所謂内熱型の単結晶を合成する電気炉において発熱体が２個以上で構成される電気炉で、加熱源である発熱体の位置を外部から変えることにより、温度分布を変えることができる電気炉の構成とした。 （もっと読む）

【課題】発生ガス量を抑制し、原料の粉体の飛散を防止して反応容器内の充填率を向上できる加熱装置および加熱方法を提供する。
【解決手段】加熱によりガスを放出する粉体のための加熱装置１００であって、粉体の原料Ｐを収容し、ガスを排出可能に形成された容器１１０と、容器の周囲に設けられたヒータ１２０と、ヒータ１２０による容器１１０の加熱位置を所定速さ未満で移動させる加熱位置移動部と、を備えることを特徴としている。このように、容器１１０の加熱位置を所定速さ未満で移動させることで、発生ガス量を抑制し、原料の粉体Ｐの飛散を防止して反応容器１１０内の充填率を向上させることができる。また、原料の粉体Ｐが飛散せず適正な温度履歴を与えることができ、原料に期待した反応を生じさせることができる。また、粉体が飛散しないことから歩留まりが向上する。 （もっと読む）

【課題】 フランジの熱変形による垂れを防止することが可能な加熱装置を提供すること。
【解決手段】筒状のシェル５０と、このシェル５０の内周に吊り下げ支持されると共に基板を加熱するヒーターと、このヒーターをシェル５０に支持する支持金具と、支持金具にヒーターを取り付ける碍子とを備える。この支持金具は固定部３４ｘを介してこのシェル５０の内周側にフランジ３４ｆを突出させるように固定される。フランジ３４ｆは、各支持金具間及び各碍子取付部３４ｂ間にスリット３４ａ，３４ｗを有しているので熱膨張長は吸収される。また、各碍子取付部３４ｂに固定部３４ｘを有しているので、過熱による熱変形は抑制される。 （もっと読む）

【課題】 発熱時の軟化によっても基本形状を維持でき、しかも取付の容易な電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに電気ヒーターを備えた炉を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する絶縁体２０とを備える。この発熱体１０のうちスリットに沿う幅方向Ｘに位置する一対の幅方向端部１３，１３で絶縁体２０に支持される。発熱体１０は一対の幅方向端部１３，１３の間で下側へ凸となる円弧状を呈する。幅方向端部１３を略鉛直方向Ｚに向かって絶縁体２０に形成した溝２３に挿入し、溝２３内で幅方向端部１３を絶縁体２０に係止してある。 （もっと読む）

【課題】 略鉛直方向に配置した発熱体の発熱時の軟化による発熱体全体の変形を抑制して基本形状を維持することの可能な電気ヒーター及び電気ヒーターを備えた炉を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する絶縁体２０とを備える。発熱体１０は、スリットに沿う幅方向Ｗに位置する一対の幅方向端部１３，１３間で加熱空間Ｓ側に向かって凸状を呈する。幅方向Ｗが略鉛直方向に沿うように一対の幅方向端部１３，１３を絶縁体２０にそれぞれ固定することで発熱体１０を支持する。発熱体１０の中間部１０ｍに接当することでこの中間部１０ｍが絶縁体２０側に近接することを防ぐ支持部３０を備えている。 （もっと読む）

相互間に充填列が配置されて互いに間隔を離された第１および第２の吊りレンガ列と、複数の電気ケーブルを含んだケーブルシステムとを有する高温工業炉の炉蓋システムである。充填列は、熱源を伴った少なくとも１つの着脱自在な加熱モジュールを有する複数の充填要素を含んでいる。ケーブルシステムは、熱源を作動させうるように電力源と接続すると共に、着脱自在な加熱モジュールが、それぞれの熱源を作動させうるように電力源と接続されたままで、それぞれの充填要素に対して着脱されることを可能とする。
（もっと読む）

【課題】加熱能力を効果的に高めることのできる金属ストリップの横型連続焼鈍炉を提供する。
【解決手段】金属ストリップ２０の横型連続焼鈍炉１０において、加熱室１２の上部にセラミックスから成る支持板３６を横設して、支持板３６の上面に電熱線から成る電気ヒータ４４Ｃを横向きに寝た状態且つ波打形状をなす状態に設置し、電気ヒータ４４Ｃで加熱された支持板３６からの輻射熱を、下方を通過する金属ストリップ２０に当てて加熱するようにする。 （もっと読む）

【課題】少ない時間及び費用で加熱炉にヒータを設置することが可能な加熱炉へのヒータ設置方法を提供する。
【解決手段】焼鈍炉の炉壁１０は、炉内側に配された内側金属板１１と、炉外側に配された外側金属板１２と、これら両金属板１１，１２の間に介在する耐火物１３と、で構成されている。この炉壁１０に炉内と炉外を連通する貫通孔１５を形成し、内側鍔部２３Ａと外側鍔部２３Ｂとの間に耐火材２５が取り付けられた円筒状部材２１を、炉外側から挿通する。次に、外側鍔部２３Ｂを外側金属板１２に溶接等の慣用の固着手段で接合して、貫通孔１５を封止した後に、円筒状部材２１の内部にヒータ２０を収容する。 （もっと読む）

【課題】鋳造欠陥の発生を抑制でき、健全な大型の鋳塊を製造することができる鋳塊の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ＣＣＩＭ法で、溶解原料３を供給しつつ、るつぼ底１を下方に引き抜いて鋳塊６を製造する方法において、水冷銅製るつぼ２を構成する銅製セグメント７間に形成されているスリット８の下端位置を、高周波コイル４の下端位置より下方に配置すると共に、溶湯プール５と鋳塊６との凝固界面が水冷銅製るつぼ２の内面に接する位置が、高周波コイル４の下端位置と高周波コイル４の高さの半分の高さ位置の間に収まるようにして鋳塊６を製造する。 （もっと読む）

【課題】作動温度においても均一に放熱し、応力のないヒーターエレメントを提供する。
【解決手段】本発明のヒーターエレメントは、連続的な平面状の帯状体と、複数の取り付け要素と、を備える。連続的な帯状体の第１の端部から第２の端部までの経路は、曲がりくねっており、複数の繰り返しのサイクルを備え、各繰り返しのサイクルは、複数の第１の直線状の部分と、複数の第２の直線状の部分と、複数の丸みをつけた部分と、を備える。第１の直線状の部分の長さは、第２の直線状の部分の長さよりも長く、曲がりくねった経路のうちの１つのサイクルの角度の合計は、３６０度よりも大きい。このヒーターエレメントは、例えば半導体処理装置用のヒーター組立体に組み込むことができる。 （もっと読む）

【課題】加熱効率に優れるとともに、製造コストが比較的低く、さらに大型に作製しても不都合がない加熱装置。
【解決手段】加熱装置Ｄ１は、上下一対の基板半体からなるアルミニウム合金製基板１を備えてなる。すなわち、基板１は、一対の基板半体の一方としての上部基板２と、基板半体の他方としての下部基板３とからなる。加熱装置Ｄ１はさらに、基板１を加熱することで、上部基板２に載置された被処理物を加熱するための加熱管（ヒーター）５０と、基板１を冷却することで、上記被処理物を冷却するための冷却管（冷却用ガス流通管）６０とを備えている。ヒーター５０を嵌め込むための溝２ａ，３ａとヒーター５０との間隙およびガス流通管６０を嵌め込むための溝２ｂ，３ｂとガス流通管６０との間隙は、熱伝導性部材としてのシリコーンゴム製シート５をこれらの間隙に配設することで塞がれている。 （もっと読む）

【課題】従来の加熱炉と同等のメンテナンス性や炉内クリーン度を維持しつつ、炉内の断熱性を向上し、熱効率を改善できる加熱炉を実現するためのヒーターユニットを提供すること。
【解決手段】加熱炉１内に配置され、被熱処理物１１を加熱するヒーターユニット１２であって、該ヒーターユニット１２は、ヒーター４ａ面とその他の面４ｃとが、内部に空間を形成する箱体状の構造を有し、該ヒーターユニット内部に形成された空間に、静止空気の熱伝導率よりも熱伝導率の小さい断熱材４ｄを充填した。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構造で組み立てが簡単でありながら防塵可能な炉の天井構造体及び炉の天井構造体の組み立て方法を提供すること。
【解決手段】 保持部は、発熱体の端部を係止する溝を有する一対の絶縁体を備える。発熱体を一対の絶縁体の溝間でこの発熱体が長手方向に対し円弧状になるように保持してある。天井部材6は複数の第一薄板部材20a〜eを積層し、発熱体に沿って円弧状に形成してある。各天井部材6が少なくとも炉内外を貫く貫通部材14を挿入可能な間隙をおいて並ぶように複数のヒーターユニットを配置してある。この間隙11を第二薄板部材12a,bによって塞ぐことで天井を形成する。この第二薄板部材12a,bは、貫通部材14がクリアランス15をもって貫通する第一貫通孔13を備え、貫通部材14を密接状態で貫通させる第二貫通孔を有する閉塞部材16及びこの閉塞部材16を固定する固定部材17,18によって複数の第一薄板部材20a〜eの間で先のクリアランス15を閉塞する。 （もっと読む）