Fターム[4M104BB17]の内容
Fターム[4M104BB17]に分類される特許
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多層配線構造
【課題】 金属配線の微細化とエレクトロマイグレーションの抑制との両立を図ることができる多層配線構造を工程数の増加を招くことなく実現する。
【解決手段】 第1の金属配線13の一端部13aと第2の金属配線15の一端部15aとは第1のプラグ16を介して接続されており、第1の金属配線13の他端部13bと第3の金属配線17の一端部17aとは第2のプラグ18を介して接続されている。第1、第2及び第3の金属配線13、15、17の配線幅は、互いに等しいと共に第1及び第2のプラグ16、18の径ともほぼ等しい。第1の金属配線13の他端部13bの配線幅は、第1の金属配線13の一端部13a及び第3の金属配線17の一端部17aの配線幅よりも大きい。第2の金属配線15の一端部15aの配線幅は第1の金属配線13の一端部13aの配線幅よりも大きい。
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