【課題】 シリコン結晶中の不純物窒素濃度を高精度に測定することが可能な窒素濃度測定方法を提供する。
【解決手段】 ＮＮＯ_２複合体に対応する吸収ピークが消滅する条件で、シリコン結晶を準熱平衡状態に至るまで加熱する（第１の工程）。シリコン結晶の赤外線吸収スペクトルを測定し、吸収スペクトルから、ＮＮペアに対応する第１の吸収ピークの強度及びＮＮＯ複合体に対応する第２の吸収ピークの強度を求める。第１の工程の加熱温度より高い温度で加熟し、シリコン結晶を準熱平衡状態に至らしめる（第２の工程）。シリコン結晶の赤外線吸収スペクトルを測定し、吸収スペクトルから、ＮＮペアに対応する第３の吸収ピークの強度及びＮＮＯ複合体に対応する第４の吸収ピークの強度を求める。第１乃至第４の吸収ピークの強度に基づき、ＮＮペア及びＮＮＯ複合体の密度を算出する。ＮＮペア及びＮＮＯ複合体の密度に基づき、シリコン結晶中の窒素濃度を求める。 （もっと読む）