Fターム[4M106DE08]の内容
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検査装置及び検査方法
【課題】
試料の温度調整を局所的に行うことにより、試料ドリフトを抑制することができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】
半導体試料118を保持する試料ステージ109と、半導体試料118上の半導体素子の電気特性測定に用いる複数のプローブ106と、プローブ106に前記プローブに電圧及び/又は電流を印加する電源と、前記プローブが接触した前記試料上の半導体素子の電気特性を測定する検出器と、半導体試料118の測定対象箇所に電磁波を照射する電磁波照射機構とを備える。
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