【課題】 半導体素子のテストトレイへの着脱を単純化させ、一回にテスト可能な半導体素子の数を増大させ、多様なピッチのテストソケットを有するテストボードを選択的に装着可能にして互換性を向上させた、半導体素子用のテストハンドラを提供する。
【解決手段】 被テスト半導体素子のローディング部１０、アンローディング部２０、半導体素子を一時的に固定する複数のキャリアを備えたテストトレイＴ、テストトレイの移動ユニットを備える。また、移動ユニットは、キャリアに半導体素子を着脱させる交換部３０、複数のテストソケットが形成されたテストボードが装着され半導体素子のテストを行うテスト部７０、ローディング部・アンローディング部・交換部の間で半導体素子を搬送しテストトレイのキャリアに半導体素子を着脱する素子搬送ユニット、及び交換部とテスト部の間にテストトレイを搬送するトレイ搬送ユニットとを備える。 （もっと読む）