【課題】ウエハスケールレンズおよびウエハスケールカメラモジュールを、ウエハレベルで検査するトレイを用いることによって、検査時間を短縮する方法の提供。
【解決手段】検査装置１００は、遮光筺体１０４内に、検査対象となるウエハスケールレンズ２を保持するウエハトレイ１と、テスト用の被写体１０１と、検査用のマスターチップである受光部１０３と、受光部１０３を保持する保持台１０２とを備えている。検査装置１００は、被写体１０１と、受光部１０３との間に配置されたウエハスケールレンズ２の撮像テストを、ウエハレベルで行う。 （もっと読む）

【課題】
接触式の探針が測定対象を突き刺す深さを簡便に測定することができる探針評価方法及び当該探針評価方法に用いられるチップセットを提供する。
【解決手段】
シリコン単結晶基板と該シリコン単結晶基板上に形成されたシリコン酸化膜層と該シリコン酸化膜上に形成されかつ厚さが既知のＳＯＩ層とを有するＳＯＩチップを準備するＳＯＩチップ準備工程と、前記厚さが既知のＳＯＩ層に探針を接触させて針穴を形成する探針接触工程と、前記針穴が形成された前記ＳＯＩ層をフッ酸で処理するフッ酸処理工程と、前記フッ酸処理された前記ＳＯＩ層における針穴近傍部分の変色の有無から前記針穴の深さを評価する針穴評価工程とからなるようにした。 （もっと読む）

【課題】 校正基板１７をプローバ内の正確な位置に容易に設置して、検査作業を向上させる。
【解決手段】 校正基板用治具１５は、そのベース板１６を検査対象物と同じ形状に形成して、その表面に校正基板１７を設けて構成されている。即ち、校正基板用治具１５は、プローブ１１の電気的特性を検査するための校正基板１７を支持するための治具である。校正基板用治具１５を検査対象物と同じ形状に形成することで、プローバへの設置を容易にした。校正基板１７は校正基板用治具１５の表面に埋め込んだ。校正基板１７には位置決め用マーク２１を備えた。この校正基板用治具１５は半導体ウエハや液晶基板の検査に用いることができる。 （もっと読む）