【課題】力学量の印加により変位する可動部を有し、この可動部の変位量により力学量を検出する力学量センサにおいて、過大な力学量によって可動部が過大変位するのを防止する。
【解決手段】可動部３１が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部３１に対して加速度を加えるアクチュエータ４０を備え、可動部３１は、一方向に駆動振動するとともに角速度が印加されたときに、この駆動振動の方向とは直交する方向に印加されるコリオリ力によって検出振動する角速度検出素子として構成されており、駆動振動の方向に沿って可動部３１が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部３１に対してアクチュエータ４０による加速度の印加を行う。 （もっと読む）