【課題】撮像素子基板上に集光機能を有するカラーフィルタを効率的に作製する。
【解決手段】撮像素子基板20上に、光電変換素子毎に対応する開口22aを有する格子状の分離壁22を形成し、その開口２２aにカラーレジスト42を塗布、露光および現像してカラーフィルタを作製する。カラーレジスト42の露光は、所定のマスク開口52を有するフォトマスク50を用いた縮小倍率ｒの縮小投影露光により行う。また、フォトマスク50は、分離壁22の開口22aの面積をＳとしたとき、マスク開口52の開口面積Ｓｍが、Ｓｍ＜Ｓ／ｒであるものを用い、分離壁22の表面位置57におけるカラーレジスト42の露光面積が分離壁22の開口22aの面積以下となるように、露光光Lを分離壁22の表面位置57よりも上方位置56で集光させる。 （もっと読む）

【課題】色ずれの抑制を図ることができる固体撮像素子を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る固体撮像素子は、複数の光電変換部が設けられた基板と、前記複数の光電変換部毎に設けられ、特定の波長帯域の光を選択的に透過させるカラーフィルタと、を備えている。そして、前記カラーフィルタは、屈折率の異なる層が積層された積層構造部と、複数の要素が前記特定の波長帯域および光の入射角度に応じて異なる周期で設けられた周期構造部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】偽色の発生の抑圧及び高解像度化が可能な単板式のカラー撮像素子を提供する。
【解決手段】水平及び垂直方向に配列された光電変換素子からなる複数の画素上に、所定のカラーフィルタ配列のカラーフィルタが配設されてなる単板式のカラー撮像素子である。このカラー撮像素子のカラーフィルタ配列は、Ｒ、Ｇ、Ｂの全ての色のフィルタが、水平及び垂直方向の全ラインに配列された所定の基本配列パターンＰを含み、この基本配列パターンＰが水平方向及び垂直方向に繰り返して配置されている。特にＧフィルタは、基本配列パターン内において、水平、垂直、及び斜め（ＮＥ，ＮＷ）方向の各方向（４方向）にそれぞれ２以上隣接する部分が含まれるように配置されており、これらの隣接するＧフィルタに対応するＧ画素の画素値により、４方向の輝度の相関度を最小画素間隔で判断することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化可能な光学センサー及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０に位置するフォトダイオード用の不純物領域３１、３２と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の波長を制限するための光バンドパスフィルター６１、６２と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の入射角度を制限するための角度制限フィルター４１、４２と、を含む。光バンドパスフィルター６１、６２は、フォトダイオード用の不純物領域３１、３２と角度制限フィルター４１、４２の間に位置し、角度制限フィルター４１、４２は、半導体プロセスによって形成された遮光物質（光吸収物質または光反射物質）によって形成される。 （もっと読む）

【課題】微小な傾斜構造体を製造する。
【解決手段】基板の上方に犠牲膜を形成する工程（ａ）と、犠牲膜の上方に第１の膜を形成する工程（ｂ）と、第２の膜であって、基板に接続された第１の部分と、第１の膜に接続された第２の部分と、上記第１の部分及び上記第２の部分の間に位置する第３の部分と、を含む第２の膜を形成する工程（ｃ）と、犠牲膜を除去する工程（ｄ）と、工程（ｄ）の後に第２の膜の上記第３の部分を曲げて、第１の膜を基板に対して傾斜させる工程（ｅ）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 オンチップレンズとフォトダイオードとの間で発生する混色を低減できるようにする。
【解決手段】 撮像素子は、光を受光するフォトダイオード部と、フォトダイオード部の少なくとも一部と対向する第１のカラーフィルタと、第１のカラーフィルタと対向する第２のカラーフィルタとを含む第１の単位画素を備え、第１のカラーフィルタと第２のカラーフィルタとは離間している。本技術は、撮像素子または撮像装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】分光感度のバラツキや色滲みのなく高感度・高解像性であるとともに、隣接する画素部への光の混入を防ぐことができる構成の固体撮像装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１０１の内部には、複数のフォトダイオード１０２が内部に形成されている。配線層１０３は、絶縁膜１０５と配線１０４との積層構造を有し、半導体基板１０１の上に形成されている。複数のカラーフィルタ１０６は、配線層１０３の上方において、複数のフォトダイオード１０２の各々に対応して形成されている。カラーフィルタ１０６の上には、平坦化膜１０７とマイクロレンズ１０８が順に積層されている。固体撮像装置１では、カラーフィルタ１０６の各々において、平坦化膜１０７よりも屈折率が高いとともに、Ｚ軸方向の上面が凹形状である。 （もっと読む）

【課題】 モジュールのサイズを縮小する。
【解決手段】本実施形態の固体撮像装置は、第１の面と前記第１の面に対向する第２の面を有する半導体基板１０と、半導体基板１０内に設けられ、第２の面側のレンズを介して照射された光を光電変換する画素３と、第１の面上の素子７を覆う絶縁膜９２，９６上に設けられ、溝６９を有する支持基板１９と、絶縁膜９２，９６上に設けられ、支持基板１９の溝６９内に格納されるデバイス６０と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】リーク電流が低減された高効率及び高速な光電変換を実現しつつ、製造工程も簡素化すること。
【解決手段】このフォトダイオード１は、半導体又は金属から成る基板２と、基板２上に形成された埋め込み絶縁層３と、埋め込み絶縁層３上の所定領域に沿って並んで形成されたｐ型半導体層６及びｎ型半導体層７を含む半導体層５，６，７と、半導体層５，６，７上に形成されたゲート絶縁層８と、ゲート絶縁層８上に配置され、平面状の金属膜９ａに直線状の貫通溝９ｂが等間隔に形成された回折格子部９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロレンズアレイの下面から受光部までの厚さを小さくして、クロストーク発生や感度低下を防止した固体撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】平坦化層上に緑色フィルタ用の感光性材料を塗布し、角部を切り欠いた矩形のパターンを有する緑色フィルタ用フォトマスクを用いて露光、現像して、非孤立的な矩形の緑色フィルタを形成する工程と、赤色フィルタ用の感光性材料を塗布し、角部にサブパターンをもつ矩形のパターンを有する赤色フィルタ用フォトマスクを用いて露光、現像して、孤立的な矩形の赤色フィルタを形成する工程と、角部にサブパターンをもつ矩形のパターンを有する青色フィルタ用の感光性材料を塗布し、青色フィルタ用フォトマスクを用いて露光、現像して、孤立的な矩形の青色フィルタを形成する工程と、によりカラーフィルタを形成する。 （もっと読む）

【課題】高感度及び広ダイナミックレンジを実現するとともに、画像の時間的なずれの発生を抑制する。
【解決手段】本発明に係る固体撮像装置は、２次元状に複数の画素ブロック８０が配置されている画素アレイ２を備える固体撮像装置１０１であって、複数の画素ブロック８０の各々は、第１の色の光を第１の色信号に変換する第１色信号画素と、第１の色と異なる第２の色の光を第２の色信号に変換する第２色信号画素と、可視光を第１輝度信号に変換する第１白色画素とを含み、第１白色画素は、透過率を電気的に制御可能な光減衰フィルタ１６と、光減衰フィルタ１６を透過した可視光を受光し、受光した可視光を第１輝度信号に変換するフォトダイオード１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】光利用効率が高く、十分な光感度を有すると共に、色ごとのずれが発生せず、回路やプログラム等からなる補完機構を設ける必要のない、動画カメラや静止画カメラ等に用いることができるカラー撮像素子を提供する。
【解決手段】カラー撮像素子１は、２次元配列された複数の集光レンズ２と、各集光レンズ２を透過する光を複数の波長成分に分離する回折格子３と、各集光レンズ２及び回折格子３を透過する光が概ね集光される位置に前記各波長成分に対応する複数の受光素子４ａ〜４ｃからなる１つの受光部４が配置されるように２次元配列された複数の受光部４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】別光源から発せられた光に由来する情報を取得する際に、通常光源に起因する外乱ノイズの影響を緩和する。
【解決手段】電磁波エネルギレベルが他の波長よりも低い特定波長と対応した波長の特定波長波を物体に照射し、物体で反射した特定波長波を固体撮像素子３１４で検知し、得られた検知情報に基づき特定波長波に由来する情報を取得する。特定波長を中心とする狭帯域のバンドパス特性を持つ光学バンドパスフィルタ５０２を撮像光学経路上に配置する。特定波長波の物体反射光を検知すれば特定波長成分が通常光源の成分に埋もれずに検知される。特定波長波を物体に照射したときとしないときの各検知情報を比較して通常光源に起因する外乱ノイズの影響が緩和された特定波長波に由来する情報を取得する。光学バンドパスフィルタ５０２を併用すれば、特定波長成分だけを検知でき、通常光源の光量が強い場合でもその影響を受けず、飽和の問題を回避できる。 （もっと読む）

【課題】表面位置の低い画素部とその周囲の高い多層配線部とが段差を有する高感度の固体撮像素子の画素部上に形成するカラーフィルタにおいて、枠色ムラや剥がれ等の品質不良のない正常な膜形成領域を広く確保するための構成を提供すること。
【解決手段】固体撮像素子において、画素部の受光面側表面が多層配線部の上面より低い位置となるように両部の境界付近に段差が形成され、画素部の受光面側表面に各光電変換素子に対応して複数色を平面配置したカラーフィルタが形成されており、カラーフィルタの第１色が上下２層の積層構成であり、上下２層の積層構成が、画素部の有効領域に略一致して形成された一方の層と該層の領域を含んで前記段差にいたる段差部に連なって形成された他方の層とからなる。 （もっと読む）

【課題】入射される光子をフォトダイオードの中央部分に屈折させるフォトダイオードを備えるバックサイドイルミネーションＣＭＯＳイメージセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】単位画素は、第２導電層１１０、第２導電層１１０上の第１層間絶縁層１２０、第１層間絶縁層１２０上の第１導電層１３０、及び第１導電層１３０上の第２層間絶縁層１４０を備える。第２層間絶縁層１４０の上部に、フォトダイオードＰＤ１、ＰＤ２が配置される。フォトダイオードＰＤ１、ＰＤ２は、第２層間絶縁層１４０との接触面は平らであるが、光を受信する上部面は一定した曲率を有する。 （もっと読む）

【課題】膜界面での光反射を極力なくすと共に、マイクロレンズから受光部までの距離をより短くして受光部への入射光の光量低下を抑制する。
【解決手段】階調マスクを用いて下地段差上に透明絶縁膜材料（現像溶解性を有した感光性のポジ型高屈折率材料）を用いて層内レンズ７を形成し、別の階調マスクを用いてその上に直にカラーフィルタ（現像溶解性を有した感光性のネガ型材料）を形成するため、従来のように受光部２〜カラーフィルタ８の間に２層の平坦化膜がない分だけ、異種膜界面の数が減り、界面で起こる光反射を抑制でき、さらにマイクロレンズ１０〜受光部２までの距離が短くなる。 （もっと読む）

【課題】色純度、耐熱性、耐光性に優れ、薄層でも高発色の着色層を形成可能な着色硬化性組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｍ）で表される色素化合物、又は、下記一般式（Ｐ）で表される繰り返し単位を含む色素化合物と、重合性化合物と、を含有する着色硬化性組成物。






（Ｄは下記一般式（１）から水素原子を取り除いた残基を表す。）


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【課題】反射回折光によるゴーストの発生を効果的に抑制可能な撮像素子を実現する。
【解決手段】撮像素子１０の第１画素１０１においては、アレイレンズ１６の一部である第１マイクロレンズ１６１が厚く、入射光Ｌの反射光路長が長い。これに対し、第２、第３画素１０２、１０３では、アレイレンズ１６の第２、第３画素領域１６２、１６３が第１マイクロレンズ１６１よりも薄いため、入射光Ｌの反射光路長が短い。このように反射光路長差を設けることにより、画素間で生じる回折光のコントラストを低下させ、反射回折ゴーストによる画像劣化を抑える。 （もっと読む）

【課題】画素サイズが微細になっても、高感度を実現できる固体撮像装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】複数の画素が配列され、入射光を電気信号に変換する受光部を前記画素毎に備える固体撮像装置であって、対応する前記画素における前記受光部の上部に形成され、第１および第２のカラーフィルタ部からなるカラーフィルタを備え、前記第１カラーフィルタ部は、前記画素の面方向における前記カラーフィルタの中心部に形成され、前記第２のカラーフィルタ部は、前記画素の面方向における前記第１のカラーフィルタ部の周辺部に形成され、前記第１のカラーフィルタ部と略同じ分光特性を有し、前記第１のカラーフィルタ部の屈折率は、前記第２のカラーフィルタ部の屈折率よりも高い。 （もっと読む）

【課題】画像の色再現特性がよく、薄膜のカラーフィルタを有する固体撮像素子を提供する。
【解決手段】光電変換部とマイクロレンズの間に、フィルタ層を備えた固体撮像素子であって、
前記フィルタ層は、該フィルタ層より前記光電変換部側に曲率の中心を有する凸型形状を備え、該曲率の中心からの角度が一定となるように１次元または２次元の周期で配列された格子を有する構成とする。
その際、前記曲率の中心と前記マイクロレンズの焦点位置とが一致しており、また、前記マイクロレンズと前記光電変換部の間に、入射光に対して凸型形状の絶縁膜を有し、該絶縁膜上に前記フィルタ層が形成されている構成とすることができる。 （もっと読む）