【課題】略同心輪帯形状を有する集光素子の微細構造を実現可能にする。
【解決手段】本発明の位相シフトマスクは、略円形または略同心輪帯形状の遮光部１０１と、略円形または略同心輪帯形状の光透過部１０３と、略円形または略同心輪帯形状の位相シフト部１０２と、遮光体フレーム１０４で構成され、前記光透過部１０３と前記遮光部１０１と前記位相シフト部１０２は交互に配置され、遮光体フレーム１０４は画素の周囲の全部または一部に配置される。 （もっと読む）