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Fターム[5C001AA06]の内容

電子顕微鏡 (2,589) | 構造 (935) | 平面内回転 (86)

Fターム[5C001AA06]に分類される特許

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【課題】オペレータのスキルによらず、荷電粒子線装置で取得された画像の回転を自動的に補正する。
【解決手段】測長対象であるパターン形状の特徴やパターン配列上の特徴に着目して試料の回転量を検出し、当該検出量に基づいて作業画面上で表示される取得画像の回転角を画像処理により自動的に補正する。または、測長対象であるパターン形状の特徴やパターン配列上の特徴に着目して試料の回転量を検出し、当該検出量に基づいて試料回転機構の回転角を自動的に補正し、その後、測長対象のパターンを再取得する。 (もっと読む)


【課題】ウェハ検査において異物や欠陥を見つけた場合に、これら異物等の発生原因を探求するための電子顕微鏡を用いたウェハエッジ観察に関する好適な方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェハを保持する試料ステージ24と、半導体ウェハに電子線を照射する電子光学系と、電子線の照射により得られる二次電子あるいは反射電子を検出する検出器15,23と、電子線の照射により半導体ウェハから発生するX線を検出する検出器34,35と、傾斜角度が可変のカラム16とを備え、試料ステージ24により、半導体ウェハのエッジの欠陥位置にカラム16の撮像視野を移動し、カラム16を傾斜させた状態で、半導体ウェハのエッジに電子線を照射する。 (もっと読む)


【課題】直交に配置された2つの荷電粒子ビーム鏡筒を有する装置において、試料ステージ移動の操作性向上を図る。
【解決手段】集束イオンビーム鏡筒4と、それと直交する電子ビーム鏡筒5と、試料11を移動させる試料ステージ2と、試料11を観察する光学顕微鏡14と、集束イオンビーム像及び電子ビーム像並びに光学顕微鏡像を表示可能な表示部9,10と、各像の座標系に合わせて試料ステージ2を移動させるステージ制御部3と、を有する複合荷電粒子ビーム装置を用いる。 (もっと読む)


【課題】走査型電子顕微鏡で表示された観察画面に設けられた仮想点を中心に試料を回転させるローテーションユーセントリック動作において、回転誤差を補正し、画面上の回転中心の位置変動を低減させるステージ装置を実現する。
【解決手段】試料もしくは試料ホルダもしくは回転テーブルに位置と方向が測定可能なマーカーを設け、所定の動作パターンに従ってステージの回転・並進移動を行いそのときのマーカーの位置と方向とを測定し、その結果から回転テーブルの回転中心を同定し、かつ、回転誤差を補正する回転角補正量と回転中心の位置変動を補正する並進補正量とを求め回転角に対する補正量テーブルを作成し、入力された回転角指令値もしくは実回転角に対応した補正量を補正量テーブルから取得して入力された回転・並進指令値もしくは検出された回転角・並進位置を補正してステージを制御する。 (もっと読む)


【課題】複数の自由度を備える試料ステージにおける試料の交換を簡単な手順で迅速に行う。
【解決手段】試料設置装置は、試料室17内に配置され、電子ビームの照射対象となる試料が載置される試料ステージ40と、試料室17に取り付けられ試料室の壁面に形成されたポート21から試料ステージ40に向け外部から試料を移送する試料移送装置80と、を備えている。試料ステージ40及び試料移送装置80は、一体となってY方向への移動及び傾斜駆動される共に、試料ステージ40は、X方向、Z方向への移動及び水平回転駆動され、試料の設置、交換に際して、位置合わせを簡単にした。 (もっと読む)


【課題】試料交換回数を減らし装置の稼動率を向上することで、試料作製の経済性を向上したイオンビームエッチング装置を実現する。
【解決手段】試料テーブル100は、試料104を取りつける受容機構106とマスク105及び、少なくとも1つの位置決めユニット101、102、103を備えている。試料104はマスク105に対して相対的に位置決め可能である。試料テーブル100は、1つの試料104がイオンビームにさらされている間、残りの位置決めユニット101、102、103がイオンビームから回避される様に配置し、回転機構により試料104を順次エッチング加工する事ができる。 (もっと読む)


【課題】2つのコラムを用いて、試料の加工や解析、検査をする際の焦点調整を容易化する。
【解決手段】第1粒子ビームコラム2と第2粒子ビームカラム3とを有する粒子ビーム装置1に於いて、試料キャリア24は、第1ビーム軸21との間に第2角度W2を、また、第2ビーム軸22との間に第3角度W3を成す回転軸25を有し、それぞれのカラムに対応した第1位置と第2位置の間で回転可能である。第1ビーム軸21と第2ビーム軸22は一致点23で公差し、試料表面が第1位置にあるとき、一致点23と第1粒子ビームコラム2との距離は、試料表面と第1粒子ビームコラム2との距離より大きく、又、試料表面が第2位置にあるとき、一致点23と第2粒子ビームコラム3との距離は、試料表面と第2粒子ビームコラム3との距離よりも大きい。 (もっと読む)


【課題】簡単で直感的な操作で試料を所望の姿勢及び位置に移動する。
【解決手段】走査電子顕微鏡10の多軸ステージ40を水平回転、傾斜、水平移動させるに際して、二次電子検出器20の信号から得られるSEM像から指定用画像を作成して画像表示装置61に表示しつつ、マウス62で指定用画像を回転、傾斜、水平移動させる操作を行う。座標生成手段52は現在の多軸ステージ40の座標を操作後の指定用画像に基づいて変換し、多軸ステージ駆動制御手段53は変換後の座標により多軸ステージ40を駆動する。 (もっと読む)


【課題】真空ロボットによる試料搬送時の位置ずれを補正するための簡単な機構を備えた検査装置を提供する。
【解決手段】試料ステージのロードポジション(XL,YL)及びアンロードポジション(XU,YU)と、プリアライナの回転角(θL)を保存する。プリアライナ上のウエハを基準方位に対して回転角(θL)だけ回転させるプリアライメントを実行し、更に、プリアライナに対するウエハの偏心量(Δx1,Δy1)を測定する。この偏心量(Δx1,Δy1)に基づいて、試料ステージのロードポジション(XL,YL)を補正する。 (もっと読む)


【課題】透過電子顕微鏡の3次元分析のための3軸駆動が可能な試片ホルダーを提供すること。
【解決手段】本発明は単一の試片または複雑な内部構造を分析するために3方向以上から高い精度の観察が行えるホルダーに係り、試片を支持するクラドルが回転できるだけではなく、前後および左右に移動できるようにして試片の方向を自由に変更して試片を一層正確に3次元的に分析できるようにした透過電子顕微鏡の3次元分析のための3軸駆動が可能な試片ホルダーに関する。 (もっと読む)


【課題】
試料へのダメージが少なく加工効率に優れたイオンミリング装置、更には平面加工および断面加工にも柔軟に対応できる処理能力の高い装置を提供する。
【解決手段】
個別に制御可能な複数のイオン銃3を一つ試料室5に設け、このイオン銃3に対応して複数の試料1を試料ステージ8に設置する。複数のイオン銃3および試料ステージ8は制御装置9によって個別に制御可能であり、複数のイオン銃3を同時に作動させ、試料ステージ8をスイング又は傾斜・回転するすることで、複数の試料を同時に平面加工もしくは断面加工する。 (もっと読む)


【課題】透過型電子顕微鏡法(TEM)研究に適した材料試料(TEM「薄片」)、特にHRTEM薄片(HR=高分解能)、その製造プロセス、及び当該プロセスを実行する装置。
【解決手段】TEM薄片を製造するプロセスは、厚さを有する板状基板を支持体に取り付けるステップ(S1)と、第1ストリップ状凹部を基板の第1面に、支持体に対して第1角度で、粒子ビームを用いて製造するステップ(S3)と、第2ストリップ状凹部を基板の第2面に、支持体に対して第2角度で、粒子ビームを用いて製造するステップ(S5)であって、第1ストリップ状凹部第2ストリップ状凹部が、薄肉の重なり領域を形成するようにする。薄片は、厚肉のリム領域及び薄肉の中央領域を有し、第1ストリップ状凹部を薄片の第1の平坦面に、第2ストリップ状凹部を薄片の第2平坦面に有し、第1凹部及び第2凹部は、相互に鋭角又は直角を形成する。 (もっと読む)


【課題】回転による視野の変化を試料台の位置に依らず一定にして変化の把握を容易にする。
【解決手段】内部空間を中空状として減圧可能な試料室を構成する胴部と、胴部の開口端を開閉自在に閉塞し、試料室を気密状態に維持可能な蓋部と、試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、胴部を回転させるための回動手段と、試料室内に設置され、観察対象の試料を載置するための試料載置面を有する試料台33と、試料台33をXY方向に線状移動させるためのXY移動機構75と、試料台33をXY面と直行するR軸を中心として回転移動させるためのR軸回転機構76とを備え、R軸回転機構76は、XY移動機構75による試料台33の位置に依らず、回転中心であるR軸を電子線撮像手段による観察視野中の所定位置とするR軸維持機構77を備える。 (もっと読む)


【課題】試料ステージの可動範囲を狭めることなく振動の影響を防止し荷電粒子発生部と試料ステージとの相対変位を抑制可能な荷電粒子装置を実現する。
【解決手段】荷電粒子装置1は上部に長筒状のカラム2を備えカラム2の下部には内部が空洞の試料室3がある。試料室3は水平方向の振動よりも垂直方向の振動が大きい試料室上部3aと水平方向の振動が大きい試料室底部3bに分かれている。カラム2は荷電粒子銃及び試料検出系を備える。カラム1と試料ステージ5を支持する試料ステージ支持体4とが共に試料室上部3aに支持され、カラム1の中心軸と試料ステージ支持体4の中心軸とが一致若しくは互いに平行となるように構成されている。環境音がカラム2や試料室3に加わってもカラム2と試料ステージ5が共に試料室上部3aに固定され、互いに一体となって振動するので、荷電粒子発生部と試料との間に相対変位が生じにくい。 (もっと読む)


【課題】試料台を任意の方向に大きな角度でも容易にユーセントリックに傾斜させる。
【解決手段】電子顕微鏡100は、その試料ステージ1として、X,Y,Z方向に自在に移動可能な基体ステージ10、基体ステージ10上に回転自在に配設される回転ステージ20、回転ステージ20上にX,Y方向に自在に移動可能に配設される球体駆動ステージ30、試料台42がその表面上方にその表面に平行に取付けられた試料傾斜駆動球体40などを備える。制御装置70は、試料台42を傾斜させる方向角と傾斜角と試料傾斜駆動球体40の半径とに基づき、球体駆動ステージ30のX,Y方向の移動量を算出し、その算出した移動量だけ球体駆動ステージ30を移動させ、さらに、試料台42の傾斜に伴い試料80の観察対象領域が移動するX,Y,Z方向の移動量を算出し、その算出した移動量だけ、その移動方向とは反対方向に、基体ステージ10を移動させる。 (もっと読む)


【課題】ディスク媒体に同心円状に形成されたトラックのパターンを、回転ステージの回転同期軸振れの影響を受けることなく、適正に検査できるようにする。
【解決手段】本発明のパターン検査装置1は、レジスト膜への電子ビーム照射によりパターン描画されているとともにパターン描画が周方向への回転動作を利用して行われたディスク媒体4のトラックのパターンを検査するものであって、ディスク媒体4が載せられる回転ステージ14と、この回転ステージ14に載せられたディスク媒体4に対して電子ビームを照射する照射光学系2と、この照射光学系2による電子ビームの照射によって回転ステージ14上のディスク媒体4から発生する電子を検出する電子検出器3とを備え、回転ステージ14は、ディスク媒体4にパターン描画するときに当該ディスク媒体を回転動作させるために用いた回転ステージと同一の回転ステージで構成されている。 (もっと読む)


【課題】
観察試料と対物レンズ等の試料室内の構造物の接触を未然に、かつ確実に防止することが可能な、使い勝手の良い走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
走査電子顕微鏡の試料室内壁近傍から非接触で観察試料の有無を検出する物体検出手段を設け、観察試料を試料室へ導入する際に、試料移動機構制御手段により試料移動機構を自動的に水平及び垂直方向に移動させつつ、物体検出手段による物体検出情報に基づいて観察試料の高さを自動的に算出し、手動操作入力手段から移動指示に応じて試料移動機構の移動する際には、先に算出した観察試料の高さの情報に基づいて試料移動機構の移動量に制限を加える。 (もっと読む)


【課題】気体イオンビーム装置とFIBとSEMを用いて、効率よくTEM試料作製ができる複合荷電粒子ビーム装置としての構成方法を提供する。
【解決手段】FIB鏡筒1と、SEM鏡筒2と、気体イオンビーム鏡筒3と、ユーセントリックチルト機構とユーセントリックチルト軸8と直交する回転軸10とを持つ回転試料ステージ9と、を含む複合荷電粒子ビーム装置であり、集束イオンビーム4と電子ビーム5と気体イオンビーム6とは、1点で交わり、かつFIB鏡筒1の軸とSEM鏡筒2の軸はそれぞれユーセントリックチルト軸8と直交し、かつFIB鏡筒1の軸と気体イオンビーム鏡筒3の軸とユーセントリックチルト軸8とは一つの平面内にあるように配置する。 (もっと読む)


【課題】 高精度のEBSD解析が可能な電子顕微鏡用試料台を提供する。
【解決手段】 電子顕微鏡用試料台31は、試料ステージ5に装着可能な試料ホルダ9に取付けられる台座33と、台座33に対して垂直に固定された軸35と、本体内部の軸方向に延びる中空部37aが形成されるとともに、本体胴部側面に少なくとも1つの貫通孔41が形成され、中空部37aを介して軸35に対して挿入され、軸35に挿入された状態で軸35の円周方向に回転可能な中空部材37と、貫通孔41に挿入され、軸35と中空部材37とを支持することにより、中空部材37と軸35との相対的な位置を固定する固定部材39とを備える。中空部材37の上面には、試料3が取付けられる。 (もっと読む)


【課題】それぞれ直交に配置された集束イオンビーム鏡筒と電子ビーム鏡筒を有する複合荷電粒子加工観察装置において、試料ステージを、誤操作なく操作性の良い動作をさせる。
【解決手段】観察像を見て観察位置を動かす際、集束イオンビームと電子ビームの像表示部のそれぞれの座標系で指定した試料ステージ2の移動方向に対して、一つの試料ステージ2をそれぞれの座標系に対応した方向に移動する。 (もっと読む)


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