【課題】環境制御型透過型電子顕微鏡（ETEM）において、活性雰囲気下でサンプルを評価研究する際に、発生するサンプルのドリフトが取得画像の解像度の制限因子とならないようにする。
【解決手段】ドリフトを避けるため、または抑制するため、サンプルを所望の温度で不活性ガスに暴露し、その後不活性ガスを活性ガスに置換する。光、X線、または走査型プローブ顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

【課題】超高真空化が不要で、試料表面の破壊を引き起こすことなく、試料表面のコンタミを安定して防止できる電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー、およびそれを用いた試料加熱方法を提供する。
【解決手段】発熱体として、正温度計数(PTC)サーミスタを備えることを特徴とする、観察・分析中のカーボンコンタミネーションの成長と熱ドリフトの抑制能力に優れた、電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー。 （もっと読む）

【課題】試料を加熱しながらガス雰囲気を吹き付けて、ガスとの反応過程を観察する機能を有し、一度吹き付けたガスが再び試料に戻らずに、一定の温度と濃度のガス雰囲気で試料の反応過程を観察できる電子顕微鏡用の試料ホルダを提供する。
【解決手段】
電子ビームを通過させるための開口４３が形成された試料支持フレーム４２と、前記開口４３のほぼ中央を横切るように張架された試料支持ワイヤ１６と、前記試料支持ワイヤ１６の両端に接続された接続線３３，３４と、前記試料支持ワイヤ１６にガスを吹き付ける試料支持フレーム４２に前記試料支持ワイヤ１６に対向するように取り付けられた導管１７Ａを備え、前記導管１７先端のノズル１７Ｂから発生し前記試料支持ワイヤ１６を通過したガスを受ける連結フレーム４２Ｃの面に、前記ガスの進行方向に対して後退する斜面と共に平行な複数の溝を設けたことを特徴とする電子線装置及び電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダ。 （もっと読む）

【課題】 微小検体を基台に移す際、静電気による吸着力、原子間力または分子間力等に打ち克って確実に基台上に固定する。
【解決手段】 上面１１が親水性を有する基台１０上に、開口部３１を有する撥水膜３０を形成する。加熱冷却ステージ２０を冷却モードにして基台３０を冷却すると開口部３１内に水滴１１０が結露する。微小検体１１２を水滴１１０の近傍に移動すると、メニスカス力により微小検体１１２が水滴１１０に取り込まれる。この後は、加熱冷却ステージ２０を加熱モードに切り換え、水滴１１０を揮発させると、水滴１１０の凝集力により微小検体１１２が基台１上に固定される。 （もっと読む）

【課題】精密機器が配設されたブース内の圧力の変動を防止して測定精度の低下を抑制しつつ、省エネをも実現できる温調装置を提供する。
【解決手段】精密機器Ｆが配設されたブース１内に温調用空気Ｐを供給して温調する温調手段２の運転を制御する制御手段３を備えた温調装置Ｅにて、ブース１内の圧力Ｋ₁を検出する圧力検出手段９をブース１内に備え、温調手段２が温調用空気Ｐをブース１内に送り込む送風手段４を備え、制御手段３が、送風手段４を運転させてブース１内に温調用空気Ｐを送り込みブース１内の圧力Ｋ₁を大気圧Ｋ₀よりも大きな圧力にし、精密機器Ｆの運転開始時ｔ１又は運転開始前に圧力検出手段９によりブース内１の圧力Ｋ₁である基準圧力Ｋ_1aを検出させ、送風手段４の運転を制御して、精密機器Ｆの運転開始時ｔ１から運転停止ｔ２までの間、ブース１内の圧力Ｋ₁を基準圧力Ｋ_1aに維持する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム・システム用の環境セルを提供すること。
【解決手段】荷電粒子ビーム・システム用の環境セルは、Ｘ−Ｙステージ上に取り付けられたセルと集束カラムの光軸との間の相対運動を可能にし、それによってセル内に副ステージを配置する必要性を排除する。後退可能な蓋などの柔軟なセル構成は、ビーム誘起プロセスおよび熱誘起プロセスを含むさまざまなプロセスを可能にする。荷電粒子ビーム・システム内において光電子のガス・カスケード増幅を使用して実行される光子収率分光法は、セル内の材料の分析およびセル内の処理の監視を可能にする。後退可能な鏡を使用してルミネセンス分析を実行することもできる。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる数μｍ程度の有機微小異物をＳＥＭ中で高感度に分析できる質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ＳＥＭチャンバ内に、微小試料を加熱するための加熱機構、気化した試料を分析するための質量分析計を取り付ける。こうすることにより、ＳＥＭ中で観察した異物をＳＥＭの真空チャンバから取り出すことなく、そのまま微小有機異物の質量分析が可能となる。またＥＤＸとの併用で無機／有機異物ともに同定可能となり、異物分析を高スループットに行うことができる。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡において、加熱しても試料を連続観察することができ、かつ試料とヒーターの温度差を減らすことができる試料ホルダーおよび試料観察方法を提供する。
【解決手段】試料を載置するための試料膜が固定された加熱部を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料とガスの反応が観察可能な電子線装置用試料保持装置を提供することにある。
【解決手段】上記の課題の一つを解決するため、本発明では、電子線装置用試料保持手段に、ガス雰囲気と試料室の真空を隔離，試料周囲の雰囲気を密閉したセルを構成するために、試料の上下に隔膜を配し、さらにセル内にガスを供給するガス供給手段、および排気する排気手段を備え、前記排気手段はセル内に設けたガス排気管と、セルと貫通するように試料保持手段の側壁に設けられた開閉可能な排気孔を設けた。隔膜の材質は電子線が透過可能なカーボン膜，酸化膜，窒化膜などの軽元素で構成される非晶質膜とした。 （もっと読む）

検査用サンプルホルダ及び加熱のアセンブリを含む、サブミクロンスケールの特性検査用装置である。アセンブリは、サブミクロン検査器具と電気機械式トランスデューサとのアセンブリに結合するように構成されたホルダ底部を含む。アセンブリは、ホルダ底部と結合した検査用サンプルステージをさらに含む。検査用サンプルステージは、ホルダ底部から熱的に分離される。検査用サンプルステージは、検査用サンプルを受けるように構成されたステージ検査用サンプル表面と、ステージ検査用サンプル表面を固定するステージプレートを含む。ステージプレートは、ステージ検査用サンプル表面の下にある。検査用サンプルステージは、ステージ検査用サンプル表面に隣接する加熱エレメントをさらに含み、加熱エレメントは、ステージ検査用サンプル表面で熱を発生させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】電子顕微鏡において温度制御デバイスを用いる方法。デバイス構造の温度を制御して、以前は取得することができなかった反応及びプロセスに関する情報を抽出することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡における試料の検査方法を提供する。
【解決手段】試料キャリア500は、パッド505,508と接続する電極504,507を有する。領域A上に試料は設けられる。前記試料を前記試料キャリア上に設けた後、前記試料上に伝導性パターンが堆積される。それにより前記試料の特定部分に電圧又は電流を印加することが可能となる。前記試料上への前記パターンの堆積は、たとえばビーム誘起堆積又はインクジェットプリントによって行われて良い。前記試料内での電子部品-たとえばレジスタ、キャパシタ、インダクタ、及びFETのような能動素子-の構成についても教示する。 （もっと読む）

【課題】安価で、使い易く、例えば教室のテーブル上に置くことのできる十分に小さな寸法とすることができる走査型電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、薄い隔膜でもガス雰囲気を保持した状態で試料とガスの反応が高分解能で観察可能な電子線装置および電子線装置用試料保持装置を提供することにある。
【解決手段】
上記の課題の一つを解決するため、本発明では、鏡体の電子線照射部と試料室および観察室を別個に排気する機能を備えた電子線装置において、試料保持手段に、試料にガスを供給するガス供給手段、および排気する排気手段を備え、ガス雰囲気と試料室の真空を隔離，試料周囲の雰囲気を密閉したセルを構成するために、試料の上下に隔膜を配し、さらに、前記試料室内部に、前記隔膜の外側にガスを噴射する機構を備えた。隔膜の外側に噴射するガスは、電子線散乱能が低いガス、例えば水素，酸素，窒素などを用いた。隔膜の材質は電子線が透過可能なカーボン膜，酸化膜，窒化膜などの軽元素で構成される非晶質膜とした。 （もっと読む）

【課題】イオンビームの照射により断面を露出させた試料を作製するため試料をイオンビームに対する所定位置に保持する試料作製装置において、イオンビームによる試料の加工中にイオンビームを遮断する遮蔽板のイオンビームに接近する方向への移動を防止し、良好な断面が現れた試料を作製する。
【解決手段】基端側を支持され先端側が自由端である第１の支持部材２と、第１の支持部材２の先端側に基端側を支持され先端側が第１の支持部材２の基端側に向けた自由端である第２の支持部材９と、第２の支持部材９に支持された遮蔽板１０と、第２の支持部材９に取り付けられた加熱ヒーター１３を備え、第２の支持部材９は加熱ヒーター１３により加熱せられて前記第１の支持部材の基端側方向に膨張する構造となされ、遮蔽板１０の第１の支持部材２の先端側に向かう一側縁をイオンビームＢの照射位置として保持し、遮蔽板１０によりイオンビームＢが遮蔽される位置に設置された試料１０１の遮蔽板１０の一側縁より露出した箇所への加工を行う。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡で試料の加熱時のガスとの反応過程をリアルタイムで観察する際に起こる、ガスによる鏡体内の真空の悪化や、加熱によるヒーターの伸びからくる試料ドリフトを解決し、高分解能観察を可能にする。
【解決手段】試料へのガス供給手段に対向してガス排気手段を設け、真空低下を最短時間にとどめた。また、試料を付着させたヒーターをガス導入管内に設け、ガスの鏡体への流出を抑制した。ヒーターの伸びの低減策として、電子線装置用試料ホルダーもしくは電子線装置に、ヒーターの張力調整手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】真空度の影響を受けずに効率的に試料を加熱し、安定した電子像を得る。
【解決手段】走査型電子顕微鏡１０は、鏡筒部１２と試料室２２から構成される。試料室２２には、検出器２６，試料フォルダ３０，ガス導入口５０，排気口５２が設けられる。試料フォルダ３０の加熱室３１は、電子銃１４から照射された電子線を通過させる開口部３２，試料台４２に設置された試料４０を加熱する赤外線光源３６，赤外線を試料４０に集光する反射板３８を備えている。前記試料台４２には、試料４０の近傍に微量ガスを導入するためのキャピラリーチューブ４４が接続されている。試料室２２内を低真空雰囲気下でガス置換することで、加熱した試料と各種ガスとの反応を観察する。また、キャピラリーチューブ４４で微量ガスを導入すると、一時的や局所的に試料４０周辺のガス濃度やガス雰囲気を変更して状態変化を確認できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子顕微鏡内で熱電効果を発生させ、それに伴う発生磁場を可視化することにより、ナノレベルの熱電材料組織と熱電特性を同時に評価できる装置およびそれを用いた熱電材料を観察する方法の提供を目的とする。
【解決手段】磁場解析が可能な透過型電子顕微鏡用の試料ホルダであって、in-situで熱傾斜をかけることができる試料ホルダ。 （もっと読む）

直接連続して、サンプル表面の各部分を荷電粒子ビームに露光させるステップを含み、前記サンプル表面の前記各部分は、第１の方向に列を形成し、前記荷電粒子ビームが前記サンプル表面において平均スポットサイズｆを有し、前記各部分は、それぞれ隣接部分から、第１方向に少なくとも距離ｄだけ離れており、比率ｄ／ｆは２以上であることを特徴とする方法を開示する。 （もっと読む）

【課題】従来の冷却技術の欠点を解消する。
【解決手段】サンプル１の冷却に適した超急速冷凍装置１００は、基板チップ１０と、少なくとも一のサンプル担持体２０と、を備える。基板チップ１０は、サンプル１の冷却に適している。少なくとも一のサンプル担持体２０は、サンプル１の収容に適していると共に少なくとも一の加熱可能支持体２１を備える。少なくとも一のサンプル担持体２０は、基板チップ１０に少なくとも一の加熱可能支持体２１を通じて取り付けられている。好ましくは、少なくとも一のサンプル担持体２０は、懸架状態で基板チップ１０に取り付けられている。さらに、サンプル１を超急速冷凍する方法が記載される。少なくとも一のサンプル担持体２０を、基板チップ１０に対して温度勾配が形成される加熱状態と、基板チップ１０に対して熱平衡が形成される冷却状態との間で切り替え可能である。 （もっと読む）