【課題】試料冷却温度とステージ停止位置精度を保ったまま、ステージ移動可能な範囲を広げることができる試料冷却装置を提供する。
【解決手段】真空に維持される試料室と、試料室内に配置される移動ステージと、移動ステージ上に熱的に遮断された状態で取り付けられた試料ホルダ固定台と、前記試料ホルダ固定台上に脱着可能に装着され、試料を保持するための試料ホルダと、移動ステージと周囲の試料室の側壁の間に設けられ、試料を冷却するための冷媒を収容する冷却槽と、前記冷却槽に収容された冷媒と前記試料ホルダ固定台との間で熱交換するための冷熱伝導体と、冷却槽に収容された冷媒を冷却する冷却装置とを備え、前記冷熱伝導体は、試料ホルダ固定台に固定された一端と、自由端である他端を有し、その自由端が冷却槽の開口部を介して冷媒内に浸漬され、前記移動ステージの移動と共に、自由端が冷媒に浸漬されつつ前記開口部内で移動されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】環境制御型透過型電子顕微鏡（ETEM）において、活性雰囲気下でサンプルを評価研究する際に、発生するサンプルのドリフトが取得画像の解像度の制限因子とならないようにする。
【解決手段】ドリフトを避けるため、または抑制するため、サンプルを所望の温度で不活性ガスに暴露し、その後不活性ガスを活性ガスに置換する。光、X線、または走査型プローブ顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

【課題】冷媒により試料を冷却しながら、冷媒を散逸することなく、顕微鏡内で試料を３６０度自在に回転させることができる透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーを提供する。また、試料表面への霜の付着を抑制する試料冷却ホルダーを提供する。
【解決手段】本発明の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーは、冷媒槽と、冷媒槽を貫通し、内壁が円筒状の空洞を有する冷却部と、冷却部の空洞内に、空洞の内壁との間に熱良導性材料層を挟んで移動自在に嵌合する熱伝導棒とを有する。また、この試料冷却ホルダーは、熱伝導棒を内部に収容するパイプ部を備え、熱伝導棒は、先端に、試料を装着する試料装着部を有する。 （もっと読む）

【課題】 微小検体を基台に移す際、静電気による吸着力、原子間力または分子間力等に打ち克って確実に基台上に固定する。
【解決手段】 上面１１が親水性を有する基台１０上に、開口部３１を有する撥水膜３０を形成する。加熱冷却ステージ２０を冷却モードにして基台３０を冷却すると開口部３１内に水滴１１０が結露する。微小検体１１２を水滴１１０の近傍に移動すると、メニスカス力により微小検体１１２が水滴１１０に取り込まれる。この後は、加熱冷却ステージ２０を加熱モードに切り換え、水滴１１０を揮発させると、水滴１１０の凝集力により微小検体１１２が基台１上に固定される。 （もっと読む）

【課題】精密機器が配設されたブース内の圧力の変動を防止して測定精度の低下を抑制しつつ、省エネをも実現できる温調装置を提供する。
【解決手段】精密機器Ｆが配設されたブース１内に温調用空気Ｐを供給して温調する温調手段２の運転を制御する制御手段３を備えた温調装置Ｅにて、ブース１内の圧力Ｋ₁を検出する圧力検出手段９をブース１内に備え、温調手段２が温調用空気Ｐをブース１内に送り込む送風手段４を備え、制御手段３が、送風手段４を運転させてブース１内に温調用空気Ｐを送り込みブース１内の圧力Ｋ₁を大気圧Ｋ₀よりも大きな圧力にし、精密機器Ｆの運転開始時ｔ１又は運転開始前に圧力検出手段９によりブース内１の圧力Ｋ₁である基準圧力Ｋ_1aを検出させ、送風手段４の運転を制御して、精密機器Ｆの運転開始時ｔ１から運転停止ｔ２までの間、ブース１内の圧力Ｋ₁を基準圧力Ｋ_1aに維持する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム・システム用の環境セルを提供すること。
【解決手段】荷電粒子ビーム・システム用の環境セルは、Ｘ−Ｙステージ上に取り付けられたセルと集束カラムの光軸との間の相対運動を可能にし、それによってセル内に副ステージを配置する必要性を排除する。後退可能な蓋などの柔軟なセル構成は、ビーム誘起プロセスおよび熱誘起プロセスを含むさまざまなプロセスを可能にする。荷電粒子ビーム・システム内において光電子のガス・カスケード増幅を使用して実行される光子収率分光法は、セル内の材料の分析およびセル内の処理の監視を可能にする。後退可能な鏡を使用してルミネセンス分析を実行することもできる。 （もっと読む）

【課題】イオンミリング装置において、高い熱伝導性と耐久性とを兼ね揃えた冷却装置を実現する。
【解決手段】
真空外の冷却源と真空内の試料および試料台とを接続する熱伝達手段として、樹脂チューブの内部に、イオン液体を充填した金属製の編み線が設置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】イオンビームの照射による断面加工において，断面に熱によるダメージを与えないイオンビーム加工方法を提供する。
【解決手段】イオンビームを発射するイオン銃２と，加工すべき試料６を載置する試料台７と，イオンビームの一部を遮蔽する遮蔽板８とを備えるイオンビーム加工装置において，試料６の下面に熱伝導部材９を，試料６の上面に熱伝導部材１０を設けるとともに，熱伝導部材１０を遮蔽板の端部８ａより，ずらして突出させて非遮蔽部10ａを形成し，イオンビームをこの非遮蔽部10ａに照射して，試料６の断面加工処理を行う。断面に加工処理による熱が発生しても，熱伝導部材９，１０を経て外部に熱放出され，高熱による試料断面６ａのダメージを回避できる。 （もっと読む）

【課題】イオンビームの照射による断面加工において，断面に熱によるダメージを与えず，加工面に荒れを生じさせないイオンビーム加工方法を提供する。
【解決手段】加工すべき試料６にイオンビームを発射するイオン銃２と，試料６を下面に装着しイオンビームの一部を遮蔽する遮蔽板７とを備えるイオンビーム加工装置において，試料６の断面作成側の側面６ａに，熱伝導部材８を接触して設け、試料の上面６ｃを遮蔽板の端部７ａより、ずらして突出させて被加工部６ｂを形成し，イオンビーム４を，この被加工部６ｂの上面６ｃ，熱伝導部材８の側面近傍の上面８ｂに照射して，試料６の被加工部６ｂを研削し，加工処理を行う。断面に，加工処理による熱が発生しても，熱伝導部材８を経て外部に熱放出され，熱によるダメージで断面に荒れが生じるのを回避できる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、加工や観察を所望する微小領域を急冷しつつ、試料汚染や霜付着を防止することに関する。
【解決手段】本発明は、気体もしくは液体を直接試料に吹き付けることにより、加工・観察を所望する微小領域を急冷することに関する。冷媒の照射量と照射位置を切り替えることにより、試料汚染や霜付着を防止できる。本発明によれば、冷却条件下であっても試料汚染や霜付着を防止できる。これにより、例えば、冷却条件下における試料への保護膜形成を効果的に行うことできる。 （もっと読む）

【課題】 試料に電子線を照射してＸ線分析を行なう電子線装置において、高感度のＸ線検出を行なうと共に、試料とＸ線検出器の装置への脱着を簡易に行なうことのできる試料ホルダを提供する。
【解決手段】 サイドエントリー型の試料ホルダＳＨの先端部に試料台支持部材３１で支持されたシリコンドリフト型Ｘ線検出器を組み込む。Ｘ線検出素子１の上に分析試料Ｓを直接載置する。試料位置移動はレバー３２により試料台支持部材３１を動かすことにより行なう。電子線ＥＢにより試料Ｓから発生した特性Ｘ線は、試料の直下にあるＸ線検出素子１により高感度で検出される。 （もっと読む）

【課題】多様な試料を扱う二次イオン質量分析においても、装置周囲に付着した不純物の影響を排除し、精度のよい分析を行うことができる二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】電子線、放射線及び一次イオンから選ばれる１種以上を固体試料に照射し、該固体試料から発生する、電子、放射線及び二次イオンから選ばれる１種以上を検出して固体試料の分析を行う分析装置に用いられる試料ホルダーにおいて、封入された相変化材料が装着されている。 （もっと読む）

【課題】安価で、使い易く、例えば教室のテーブル上に置くことのできる十分に小さな寸法とすることができる走査型電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、冷却しながらの荷電粒子による加工もしくは観察を効率的に行うことに関する。特に、熱ダメージの影響が懸念されるような材料を冷却した状態で加工観察することに関する。また、荷電粒子を用いた試料加工法による影響を冷却により効果的に軽減することに関する。
【解決手段】本発明は、イオンビーム照射により試料から摘出された試料片を固定できる試料台と、該試料台を所望方向に回転させる回転機構と、を備え、イオンビーム装置と透過電子線顕微鏡装置に装着可能であり、前記試料台と冷却源とを熱的に接続する可動な熱伝達物と、前記試料台と該熱伝達物質を熱的に外界から隔離する隔離物質を有する試料ホールダに関する。本発明により、効率的に冷却しながら荷電粒子線による加工や観察を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】イオンビーム加工中の試料温度を任意の温度に保ちながらイオンビームエネルギーによる試料の温度上昇を抑制して、試料構造変化などのダメージを抑制して清浄な断面作製を実現する。
【解決手段】本発明は、イオンを発生するイオン銃と、試料を搭載する試料台と、試料と前記イオン銃の間に配置されたマスクと、前記イオン銃から放出されたイオンビームにより、前記マスクから突出した試料を削る加工装置において、前記マスクは前記試料の上面に接触し、当該マスクには、冷却機構が接続されていることを特徴とする。この冷却機構は、温度調節機構であってもよい。また、同様に、前記試料台に冷却機構を備えたことを特徴とする。さらに、前記試料台には、振動発生機構が取り付けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は生物試料を含む含水試料の薄膜試料観察システム及び冷却試料ホルダ並びに薄膜試料観察方法に関し、含水試料の薄膜を精度よく作製し、像観察を行なうことができる含水試料の薄膜試料観察システム及び冷却試料ホルダ並びに薄膜試料観察方法を提供することを目的としている。
【解決手段】生物試料に代表される含水試料を冷却凍結状態で薄膜加工するＦＩＢ装置１と、該ＦＩＢ装置１で薄膜加工された試料薄片２０ａを、冷却凍結状態を保ったまま搬送すると、冷却凍結状態を保ったまま前記試料ホルダ１０を用いて搬送されてきた冷却凍結状態の前記試料薄片２０ａのＴＥＭ像又はＳＴＥＭ像を得る試料観察装置とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】従来の低温電子顕微鏡はコストが嵩むことにより、生物試料の低温観察のコストもまた相対的に嵩むため、普及が難しい。
【解決手段】電子顕微鏡の予冷型試料台は試料載置手段と、冷却エネルギー蓄積手段とを備えている。試料載置手段は、液化ガスをその中に貯留する液化ガス貯留空間を備えている。冷却エネルギー蓄積手段は、試料載置手段の下方に配置されることで、試料に持続的に冷却エネルギーを供給し、ひいては電子顕微鏡を用いて試料を観察する時間を延長できる。 （もっと読む）

【目的】耐熱性の低い試料の電子線による分析観察において、電子線照射による試料の温度上昇を低減して試料を変形や変質なく分析観察ができる試料冷却装置を備えた電子線分析観察装置を提供する。
【解決手段】オージェ電子分光分析装置１００には試料冷却装置３０が設置されており、この試料冷却装置３０は試料９の測定箇所の近傍に配置される細線状熱伝導体２０と、熱伝導構造体１７と、熱伝導部材２１と、冷却器１９で構成され、冷却された細線状熱伝導体２０で測定近傍の熱を抜き取りながら分析観察を行なうことで、試料の変形や変質を防止する。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームの切削断面から発生する熱はエポキシ樹脂を介して放熱されるので、放熱効果が小さく、熱損傷のために良好な切削断面が得られなかった。
【解決手段】ＭＥＡサンプル１の両側をケース２内で２つの冷却ブロック３，４によって抑える。冷却ブロック３はケース２に固定され、冷却ブロック４はケース２内で可動とされる。ケース２には集束イオンビーム照射用の窓２ａを設ける。 （もっと読む）