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Fターム[5C001BB03]の内容

電子顕微鏡 (2,589) | 処理機能 (455) | ガス反応、大気圧 (73)

Fターム[5C001BB03]に分類される特許

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【課題】環境制御型透過型電子顕微鏡(ETEM)において、活性雰囲気下でサンプルを評価研究する際に、発生するサンプルのドリフトが取得画像の解像度の制限因子とならないようにする。
【解決手段】ドリフトを避けるため、または抑制するため、サンプルを所望の温度で不活性ガスに暴露し、その後不活性ガスを活性ガスに置換する。光、X線、または走査型プローブ顕微鏡に適用できる。 (もっと読む)


【課題】所定雰囲気ガス圧状態での試料観察を行うことを可能にする。
【解決手段】
電子光学軸上に電子ビーム通過孔が開けられており、その内部にガス供給系からガスが供給されるガス雰囲気容器21と、先端部に試料を保持し,該試料を真空外から前記ガス雰囲気容器21内に導入する試料ホルダ18とを備えた電子顕微鏡における試料観察方法であって、前記試料ホルダ18を前記ガス雰囲気容器21内に導入する前に、圧力測定用素子31が取付られた圧力測定用ホルダ30を該ガス雰囲気容器21内に導入し、該圧力測定用素子31が検出する該ガス雰囲気容器21内の圧力が所定の圧力に成る様に該ガス雰囲気容器21内を前記ガス供給系により調整し、次に、前記圧力測定用ホルダ30に代えて前記試料ホルダ18を前記ガス雰囲気容器21内に導入し、電子ビーム発生手段からの電子ビームを前記試料Sに照射し、該試料Sを透過した電子ビームに基づく試料像を観察する。 (もっと読む)


【課題】試料の周囲を低真空に保持し、且つ、試料の周囲の構造が簡単な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置は、試料を支持する試料ステージと、荷電粒子線源からの荷電粒子線を試料に集束させる荷電粒子線光学系と、該荷電粒子線光学系を収納する荷電粒子線カラムと、前記荷電粒子線カラムに設けられた第1の差動排気用絞りと、該第1の差動排気用絞りを介して前記荷電粒子線カラムに接続するように配置された前試料室と、前記前試料室に設けられた第2の差動排気用絞りと、前記荷電粒子線カラムを真空排気する第1の真空ポンプと、前記前試料室を真空排気する第2の真空ポンプと、を有する。 (もっと読む)


【課題】貫通孔と密封栓を備え、繰り返し開けることができ、試料に必要な気体又は液体を入れ、試料の動態観測時間を延長できる電子顕微鏡用試料ケースの提供。
【解決手段】本発明の電子顕微鏡用試料ケースは、第1基板、第2基板、1つ以上の光電素子、及び金属粘着層を含み、前記第1基板が第1表面、第2表面、第1陥凹部、1つ以上の第1貫通孔を備え、前記第1貫通孔が第1基板を貫通し、前記第2基板が第3表面、第4表面、第2陥凹部を備え、前記光電素子が第1基板及び第2基板間に設置され、前記金属粘着層が前記第1基板と前記第2基板の間に設置されて空間が形成され、試料がその中に収容され、本発明はさらに第1貫通孔を密封できる1つ以上の密封栓を含み、本発明の試料ケースを密封して電子顕微鏡でその場観察を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】超高真空化が不要で、試料表面の破壊を引き起こすことなく、試料表面のコンタミを安定して防止できる電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー、およびそれを用いた試料加熱方法を提供する。
【解決手段】発熱体として、正温度計数(PTC)サーミスタを備えることを特徴とする、観察・分析中のカーボンコンタミネーションの成長と熱ドリフトの抑制能力に優れた、電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー。 (もっと読む)


【課題】試料を加熱しながらガス雰囲気を吹き付けて、ガスとの反応過程を観察する機能を有し、一度吹き付けたガスが再び試料に戻らずに、一定の温度と濃度のガス雰囲気で試料の反応過程を観察できる電子顕微鏡用の試料ホルダを提供する。
【解決手段】
電子ビームを通過させるための開口43が形成された試料支持フレーム42と、前記開口43のほぼ中央を横切るように張架された試料支持ワイヤ16と、前記試料支持ワイヤ16の両端に接続された接続線33,34と、前記試料支持ワイヤ16にガスを吹き付ける試料支持フレーム42に前記試料支持ワイヤ16に対向するように取り付けられた導管17Aを備え、前記導管17先端のノズル17Bから発生し前記試料支持ワイヤ16を通過したガスを受ける連結フレーム42Cの面に、前記ガスの進行方向に対して後退する斜面と共に平行な複数の溝を設けたことを特徴とする電子線装置及び電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダ。 (もっと読む)


【課題】大量に保持体を形成できる試料保持体、同保持体を用いた試料観察・検査方法、及び、試料観察・検査装置を提供する。
【解決手段】開口150bが形成された本体部150aと、開口150bを覆う試料保持膜150cとを備える試料保持体150を用い、支持手段311への接触により支持された状態で、試料保持体150の試料保持膜150cにおける開放された第1の面に保持された試料315に、試料保持膜150cにおいて真空雰囲気に接する第2の面側から、試料保持膜150cを介して、試料観察又は検査のための一次線320が照射可能である。 (もっと読む)


【課題】従来の高真空型荷電粒子顕微鏡の構成を大きく変更することなく、被観察試料を大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置ないし荷電粒子顕微鏡を提供する。
【解決手段】真空雰囲気と大気雰囲気(ないしガス雰囲気)を仕切る薄膜を採用する構成の荷電粒子線装置において、上記薄膜を保持でき、かつ内部を大気雰囲気あるいはガス雰囲気に維持可能なアタッチメントを高真空型荷電粒子顕微鏡の真空試料室に挿入して使用する。当該アタッチメントは、上記真空試料室の真空隔壁に真空シールされて固定される。アタッチメント内部をヘリウムや窒素あるいは水蒸気といった大気ガスよりも質量の軽い軽元素ガスで置換することにより、更に画質が向上する。 (もっと読む)


【課題】大型の試料であっても大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置ないし荷電粒子顕微鏡を提供する。
【解決手段】真空雰囲気と大気雰囲気(ないしガス雰囲気)を仕切る薄膜を採用する構成の荷電粒子線装置において、荷電粒子光学系を格納する荷電粒子光学鏡筒と、当該荷電粒子光学鏡筒から出射される一次荷電粒子線が前記薄膜まで到達するための経路を真空雰囲気に維持する筐体と、上記荷電粒子光学鏡筒と第1の筐体を装置設置面に対して支持する機構とを備え、当該支持機構として、大型試料を搬入するための開放口を有する筐体、あるいは支柱など筐体以外の形状の機構を採用する。 (もっと読む)


【課題】電子ビーム光学鏡筒のオゾン分子ガスによるクリーニングを効果的に行う。
【解決手段】電子銃102により発生された電子ビームを電子光学鏡筒内部を通過させ、電子ビームを整形してターゲット107に向けて照射する。オゾン供給手段114は、電子鏡筒内部にオゾン分子ガスを供給する。記電子鏡筒の電子ビーム通過経路の周辺面に付着する有機物付着量を電気的に計測する付着量計測手段を設ける。付着量計測手段で計測した有機物付着量に応じてオゾン供給手段によるオゾン分子ガスの供給量を制御する。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子ビーム・システム用の環境セルを提供すること。
【解決手段】荷電粒子ビーム・システム用の環境セルは、X−Yステージ上に取り付けられたセルと集束カラムの光軸との間の相対運動を可能にし、それによってセル内に副ステージを配置する必要性を排除する。後退可能な蓋などの柔軟なセル構成は、ビーム誘起プロセスおよび熱誘起プロセスを含むさまざまなプロセスを可能にする。荷電粒子ビーム・システム内において光電子のガス・カスケード増幅を使用して実行される光子収率分光法は、セル内の材料の分析およびセル内の処理の監視を可能にする。後退可能な鏡を使用してルミネセンス分析を実行することもできる。 (もっと読む)


【課題】従来のシリコンの水素化物やハロゲン化物を原料ガスとして用いたデポジションに比べ、高速な半導体膜デポジションが可能な荷電粒子ビーム装置を提供すること。
【解決手段】荷電粒子源1と、集束レンズ電極2と、ブランキング電極3と、走査電極4と、試料9を載置するための試料台10と、荷電粒子ビーム照射により試料9から発生する二次荷電粒子7を検出する二次荷電粒子検出器8と、シクロペンタシランを原料ガスとして収容するリザーバ14と、原料ガスを試料9に供給するガス銃11と、を備える荷電粒子ビーム装置を用いる。 (もっと読む)


【課題】試料表面を荷電粒子により調査及び/又は改変するのを容易且つ費用効率的に可能にし、表面電荷蓄積に関係する問題が克服されるような装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子により試料を調査及び/又は改変する装置、特には走査電子顕微鏡が提供される。この装置は、荷電粒子のビームと、該荷電粒子のビームが通過する開口30を持つ遮蔽エレメント10とを有し、該開口30は充分に小さく、上記遮蔽エレメント10は上記試料の表面20に対して十分に接近して配置されて、上記荷電粒子のビームに対する該表面における電荷蓄積効果の影響を減少させる。 (もっと読む)


【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる試料保持体、及びそれを用いた検査装置、および検査方法を提供する。
【解決手段】試料保持体40は、開放された第1の面32aに液体試料20が保持される膜32を有し、該膜32が2層以上で構成される。また、第2の面32bに接する装置内空間を減圧にし、該減圧空間に設置してある一次線(電子線)照射装置からの一次線を、膜32を介して液体試料20に照射することにより、試料を大気圧に保持したまま観察又は検査が可能となっている。膜32が観察又は検査中にダメージを受けても、該膜を構成する2層以上の膜の内、1層が破れたところを検知した時に装置内空間を大気圧復帰させることで、装置内部の汚染を防止することが可能になる。 (もっと読む)


【課題】試料台とその上に被せられる蓋体を有する試料導入用ホルダーであって、分析の際に、分析装置の外部からの操作を要せずに、蓋を取外して試料を開放することができる試料導入用ホルダーを提供する。
【解決手段】分析用試料を保持する試料台及びこの試料台に被せられる蓋体を有し、前記試料台と蓋体により試料及びガスを包含する空間を形成し、前記空間内と蓋体外部との圧力差が所定値以下では、前記空間内と蓋体外部間が雰囲気遮断状態となるように、試料台と蓋体がかん合しており、かつ前記かん合における試料台と蓋体間の接着力が、前記圧力差が前記所定値を超えたとき前記圧力差により蓋体が試料台上から除去される大きさであることを特徴とする試料導入用ホルダー。 (もっと読む)


【課題】試料の構造を高いコントラストで撮像する。
【解決手段】粒子ビーム装置の試料室に導入した試料4の表面56の特定の位置上にコントラスト剤前駆体51を供給した後、粒子ビーム50および/または光ビーム47を前記特定の位置に供給する。粒子ビーム50および/または光ビーム47とコントラスト剤前駆体51の相互作用によってコントラスト剤層52を試料4の表面56の特定の位置に貼付する。所定時間の間、試料4の表面56上にコントラスト剤層52を残す。所定時間の間、コントラスト剤層52の第1の部分53は試料4内に拡散し、コントラスト剤層52の第2の部分54は試料4の表面56上に残留する。光学装置および/または粒子光学装置および/または粒子ビーム50を用いて試料4を撮像する。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、試料とガスの反応が観察可能な電子線装置用試料保持装置を提供することにある。
【解決手段】上記の課題の一つを解決するため、本発明では、電子線装置用試料保持手段に、ガス雰囲気と試料室の真空を隔離,試料周囲の雰囲気を密閉したセルを構成するために、試料の上下に隔膜を配し、さらにセル内にガスを供給するガス供給手段、および排気する排気手段を備え、前記排気手段はセル内に設けたガス排気管と、セルと貫通するように試料保持手段の側壁に設けられた開閉可能な排気孔を設けた。隔膜の材質は電子線が透過可能なカーボン膜,酸化膜,窒化膜などの軽元素で構成される非晶質膜とした。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、荷電粒子線を照射して観察及び分析する試料を、大気に曝す時間を最小限に抑えて、荷電粒子装置へ挿入可能な試料搬送装置を提供することにある。特に、装置周辺の作業領域が制限されている荷電粒子装置や、試料台をサイドエントリ型試料ホルダに設置するための空間が狭小であっても、作業を可能とする装置を提供することを目的とする。
【解決手段】荷電粒子線を照射して観察及び分析する試料を搬送するための試料搬送装置であって、試料が設置される試料ホルダを内部に収容可能な伸縮部材と、前記試料ホルダを前記伸縮部材の内部で固定する固定部材と、前記伸縮部材内部と接続し試料ホルダが通過する開口部の開閉を行う封止部材を備えたことを特徴とする試料搬送装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】本発明はグリッドを用いた試料ホルダに関し、隔膜型ガス雰囲気試料ホルダの試料の上下に配置する隔膜を貼り付けたグリッドのアライメント調整を容易に行なうことができるグリッドを用いた試料ホルダを提供することを目的としている。
【解決手段】隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料ホルダにおいて、試料36を挟む形で形成された試料の上側及び下側に取り付けられた、その中央部に電子線透過用の複数の孔37が穿たれ、その任意の領域にその回転を規制するための規制手段が設けられたグリッド31と、該グリッド31が試料ホルダ30に位置決めされるために、試料ホルダ30に設けられたくぼみ32と、前記規制手段に嵌り込む位置決め用ガイドピン33と、試料室を周囲の高真空環境からシールするためのOリング35とを有して構成される。 (もっと読む)


【課題】
【解決手段】電子顕微鏡において温度制御デバイスを用いる方法。デバイス構造の温度を制御して、以前は取得することができなかった反応及びプロセスに関する情報を抽出することを可能とする。 (もっと読む)


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