【課題】本発明はトップエントリステージの駆動方法及び装置に関し、高倍率での目標物の移動を容易にすることである。
【解決手段】その両端に第１及び第２の切り欠き部１１，１２が、その両端から等距離の点に第３の切り欠き部１３が形成された、その上に試料を載置する円形状の試料ステージ１と、前記第１及び第２の切り欠き部に設けられたＸテコ２，Ｙテコ３と、これらテコを正負両方向に駆動するＸ，Ｙ方向にそれぞれ設けられたＸ，Ｙ駆動モータ２１，２２と、前記第３の切り欠き部１３に設けられた固定ブロック４と、該固定ブロック近傍に取り付けられた試料ステージの所定方向に付勢力を与えるバネ５と、から構成されるトップエントリステージにおいて、前記試料ステージ１をＸ，Ｙ方向に移動させる場合に、移動量が小さい時は、前記Ｘ，Ｙ駆動モータ２１，２２を同時に同じ量だけ動かすように構成する。 （もっと読む）

【課題】Ｚ移動機構を付加することによって、トモグラフィーが可能になる荷電粒子線装置の試料ステージ移動装置を提供する。
【解決手段】回転ディスク２３の３箇所のテーパ面２３ｂに球２５が入っており、ウォームギア２４を介して回転ディスク２３が回転することによって、球２５がテーパ面２３ｂを上り、上部に位置する昇降ディスク２２をＺ方向である上方向に押し上げる。このため、試料ステージ１３がＺ方向に押し上げられる。 （もっと読む）

【課題】 試料を極低温に冷却した状態で前記試料を高傾斜角度に調節できるようにすること。
【解決手段】 荷電粒子線の光軸と同軸のステージ装着孔１９ｂと、上部外周部に設けられた液体ヘリウム充填ポッド１９ａとを有する冷却筒１９と、ステージ装着孔１９ｂの下部に回転可能に支持されたステージ回転軸５３と、ステージ回転軸５３の回転に伴って回転する試料ホルダＨが着脱可能に装着されるホルダ装着部材ＨＳとを備えた試料ステージＳＴと、ステージ回転軸５３に連結されるホルダ傾斜軸３５と、ホルダ傾斜軸３５をその軸回りに回転させるステージ傾斜用回転部材ＫＳと、ステージ回転軸５３が通過する位置に形成された回転軸通過溝２６ａが形成された前記低温シールド２６と、回転軸通過溝２６ａの外側を被覆する可動シールド２７とを備えたトップエントリ式試料ステージ傾斜装置Ｔ。 （もっと読む）

【課題】 冷却した試料の交換操作時に、極低温に冷却された試料ステージ支持部の破損を防止できる試料交換機構の提供を目的とする。
【解決手段】 オペレータが試料交換の時に操作する搬送用グリップ12と試料搬送機構８と一体で動くブロック13の間を、ばね15と一方向のみに移動可能なスライダで連結する。試料ホルダ４が試料ステージ２に接触後、ばねが伸び始め、試料ホルダ４と試料ステージ２の接触面は、ばね15による密着圧力が働く。適切なばね定数を持つばね15を選択し、断熱材の最大許容付加圧力の範囲内でストッパ10がストッパ受け部11に当接するように設定すれば、断熱材３の破損を防止することができる。 （もっと読む）