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Fターム[5C030AA07]の内容

電子源、イオン源 (2,387) | ビーム制御 (294) | 軸合せ (104) | 検出系 (29)

Fターム[5C030AA07]に分類される特許

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【課題】荷電粒子線の状態が変化しても、容易に光軸の調整を可能とする荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置の調整方法を提供する。
【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、光学素子に対して軸調整を行うアライメント偏向器を備えた荷電粒子線装置において、前記光学素子の条件を少なくとも2つに変化する手段と、前記アライメント偏向器の条件を少なくとも2つの状態に変化させたときに、それぞれのアライメント偏向条件にて、前記設定手段によって前記光学素子の条件を変化させたときに得られる2つの画像内のパターン間のずれを検出する手段と、前記少なくとも2つのずれと、前記アライメント偏向器の偏向条件との関係に基づいて、前記アライメント偏向器を調整する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子線の特性の維持に有利な描画装置を提供する。
【解決手段】この荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置は、荷電粒子線源2、40と、荷電粒子線源2、40から放射された荷電粒子線の一部を通過させる開口30が形成された開口部材11と、開口部材11に設けられ、開口部材11の開口30以外の領域に向かう荷電粒子線が入射する複数の熱電変換素子32と、開口部材11に配置されて複数の熱電変換素子32の出力を検出する検出部34と、検出部34の出力に基づいて、荷電粒子線源2、40から放射された荷電粒子線の特性に関する制御を行う制御部6(35)とを有する。 (もっと読む)


【課題】容易に荷電粒子ビームの軸合わせができる荷電粒子ビームの軸合わせ方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームの軸合わせ方法は、試料上における荷電粒子ビームの入射方向での焦点位置、第1アライメントコイルの励磁電流、および第2アライメントコイルの励磁電流を制御して、少なくとも第1〜第6画像データを取得する画像データ取得工程(S10)と、少なくとも前記第1〜第6画像データから、荷電粒子ビームの軸合わせのための第1アライメントコイルの励磁電流値および第2アライメントコイルの励磁電流値を算出する演算工程(S11〜S13)と、を含む。 (もっと読む)


【課題】少なくとも三段の多極子に対する荷電粒子線の軸合わせ方法、及び当該軸合わせが可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】少なくとも3つの非点場を発生し、隣接する前記非点場の軸ずれによる同次数且つ同種の非点収差が相殺されるように、各前記荷電粒子線の軌道および各前記非点場の分布のうちの少なくとも1つの群内のそれぞれを、前記光軸に垂直な方向に沿って同時に平行移動する。 (もっと読む)


【課題】光軸合わせ作業を簡単且つ迅速に行うことができるX線発生装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係るX線発生装置は、電子ビームを発生する電子源1、電子源1に対向配置され電子ビームの衝突によりX線を発生するターゲット4、前記電子源1と前記ターゲット4との間に配置され電子ビームの通過範囲を制限する絞り孔7aを有する絞り手段7、前記電子源1と前記絞り手段7との間に配置され電子ビームを偏向する複数の偏向手段2、前記ターゲット4で発生されたX線量を検出するX線検出手段20、前記X線検出手段20で得られたX線検出データに基づいて前記偏向手段2を制御する制御手段21を備える。制御手段21は偏向信号にスキャン信号を重畳して各偏向手段2を走査制御し、そのとき表示手段には前記X線検出手段20で得られたX線検出データに基づいて電子ビームプロファイル、例えばエミッションパターンが表示される。 (もっと読む)


【課題】試料ステージが傾いている場合や試料表面にうねりを有するような場合に起こり得る弊害を解消し、正確な画像を取得することができる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置において、試料8表面の傾きを検出する傾き検出手段28、29と、検出された試料8の傾きに応じて、照射荷電粒子線を試料8表面に垂直に照射させ、同時に照射光学系の光軸中心および結像光学系の光軸中心に荷電粒子線軌道を合わせる電界と磁界を重畳させたE×B偏向器5とを具備する。 (もっと読む)


【課題】電子源の交換後、蛍光板上で電子線の位置を確認することができないような光軸のずれがある状態でも光軸の自動調整が可能な電子顕微鏡を提供する。
【課題手段】蛍光板の電流を測定して電子線が蛍光板に照射されているか否かを判断し、照射されていない場合は、偏向器を制御して電子線が蛍光板に照射されるように電子線を移動させ、照射されている場合は、当該電流の大きさが極大であり、かつ蛍光板に照射されている電子線の画像から得られる輝度の大きさが極大となるように、偏向器を制御するものである。 (もっと読む)


【課題】高効率且つ高精度にビーム軸の位置ずれを検出して補正する荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビームのビーム軸の位置ずれ補正方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム描画装置1は、電子ビームを照射する電子銃2と、電子ビーム15のビーム軸の下流方向に順次配置されたアライナ14と、ブランキング電極6と、偏向器7と、第1成形アパーチャ11とを有する。第1成形アパーチャ11上には、位置ずれ検出電極13が設けられている。ブランキング電極6と偏向器7を駆動して電子ビーム15の軌道を制御し、電子ビーム15を位置ずれ検出電極13に照射する。位置ずれ検出電極13を構成する各電極部に流れ込む電流量から電子ビームのビーム軸の位置ずれに関する情報を取得する。この情報は、アライナ14にフィードバックされて電子ビームのビーム軸が補正される。 (もっと読む)


【課題】本発明は透過型電子顕微鏡のアライメント装置に関し、高精度でかつ自動的にアライメントを行なうことができる透過型電子顕微鏡のアライメント装置を提供することを目的としている。
【解決手段】透過型電子顕微鏡において、透過電子線が蛍光板14に投影された場合、その像を取り込む像取得装置16と、該像取得装置16を回転させる回転手段と、前記像取得装置の回転を制御する回転制御手段と、像取得装置16で得た像信号を記憶する記憶手段21と、該記憶手段21に記憶された像情報を演算処理する演算手段20とを有し、自動でアライメントを行なう際、前記像取得装置16を予め決められた回転角に回転させることにより、アライメント偏向器の移動方向と像の移動方向を一致させ、得られた像を取得・演算処理し、全てのアライメント偏向器の適切な設定値を自動で算出するように構成される。 (もっと読む)


【課題】本発明は冷陰極電子銃の自動入射軸合わせ方法に関し、電子ビームのアノード電極A2に対する入射軸を自動で最適化することができる冷陰極電子銃の自動入射軸合わせ方法を提供することを目的としている。
【解決手段】集束レンズ群と、対物レンズ群と、中間レンズ群と、投影レンズ群と、1個以上の対物絞りを備え、電子銃の第1のアノード電極A1及び第2のアノード電極A2に電界を印加することによってエミッタから電子ビームを発生させる冷陰極電子銃を備え、該電子銃のアノード電極A2に対する機械的位置を調整するためのモータを備えた透過型電子顕微鏡において、前記モータを駆動して電子銃を機械的に走査させ、環状のアノード電極A2の開口に対する電子ビームの入射軸を調整し、アノード電極A2の開口を通過する電流量が最大となる時の前記電子銃の最適な機械的位置を自動的に取得するように構成する。 (もっと読む)


【課題】描画中の電流密度分布の自動調整が可能な荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法を提供する。
【解決手段】本発明の荷電粒子ビーム描画方法は、荷電粒子銃より荷電粒子ビームを照射し、荷電粒子ビームを第1のアパーチャで第1の成形を行い、第1の成形がなされた荷電粒子ビームを、第2のアパーチャのエッジのいずれかに所定の面積がかかるように照射することにより第2の成形を行い、第2の成形がなされた荷電粒子ビームの電流値を測定し、第2の成形および電流値の測定を、複数のエッジについて同様に行うことにより得られた各電流値より、荷電粒子ビームの中心位置のズレ情報を取得し、ズレ情報に基づき、アライメント調整を行う。 (もっと読む)


【課題】本発明は、人為的な判断基準を定量化し、当該定量化された判断基準に基づいて、荷電粒子線の軸調整の要否判断を行う荷電粒子線の光軸調整方法、及び装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、荷電粒子線を調節する光学素子の調整条件を変化させ、当該異なる調整条件にて複数の画像を取得し、取得された複数の画像の中から、その画質を許容できる画像、或いは許容できない画像を選択し、選択された画像に基づいて第1の画質評価値を取得し、当該取得された第1の画質評価値と、前記荷電粒子ビームの走査によって得られる画像から求められる第2の画質評価値とを比較し、当該第2の画質評価値が、第1の画質評価値以下、或いは当該第1の画質評価値を下回ったときに、光軸調整を行う方法、及び装置を提案する。 (もっと読む)


荷電粒子源(2010)及び荷電粒子光学コラム(2040)を含む荷電粒子光学系において荷電粒子ビーム(2100)を位置合わせするシステム(2000)及び方法であって、コラムの少なくとも1つの電極(2050、2060)が、複数のセグメントを含み、セグメントの少なくとも若干に異なる電位を印加して、荷電粒子源(2010)の傾斜誤差及び/又は変位誤差を補正し、またコラム(2040)の軸線(2045)に沿って粒子ビーム(2100)を位置合わせする、システム(2000)及び方法を開示する。代替的に、磁界発生素子が位置合わせに用いることができる。
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【課題】
本発明の目的は、帯電や試料傾斜等の存在によらず、装置の状態をモニタするのに好適な走査電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】
上記課題を解決するために、電子ビームを試料に到達させない状態で、得られた情報に基づいて、装置コンディションをモニタする機能を備えた走査電子顕微鏡を提案する。より具体的な一例として、試料に負の電圧を印加することで、電子ビームを試料に到達させないで反射させる状態とすると共に、アライメント用の偏向器に所定の信号を供給したときに得られる上記反射した電子の検出位置の変化をモニタする。上記所定の信号が、アライメントが適正に行われている状態のものであるとすると、上記電子の検出位置の変化は、軸ずれを反映したものとなる。 (もっと読む)


【課題】
アノードの位置を変化しても光軸のずれを効果的に抑制できる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】
荷電粒子を放出する荷電粒子源を備えたカソードと、放出された荷電粒子に電界を加えるアノードと、アノードを通過した荷電粒子線の軌道を偏向させる荷電粒子線偏向器と、荷電粒子が照射された試料からの荷電粒子線を検出する荷電粒子線検出器と、を備え、前記荷電粒子源から放出される荷電粒子量に対応して前記カソードと前記アノードとの間の距離が変更される距離変更機構と、前記変更された距離において荷電粒子線を偏向させて走査された前記試料から検出される荷電粒子線量が所望の大きさになる前記偏向器の条件を検出し、前記条件に基づいて試料測定時の前記偏向器の偏向を制御する偏向量制御機構とを備えたことを特徴とする荷電粒子線装置である。 (もっと読む)


【課題】イオン源装置のセンタリング調整を容易に効率よく行うこと。
【解決手段】本実施の形態では、ソースヘッドと引出電極の中心軸が一直線となり、イオンビーム軸と同軸になっているか否かをレーザビームによって確認する。このため、イオンビーム軸上にレーザビームを発射する発光部55をソースヘッドの代わりにハウジング5に取り付け、一方、引出電極3には、このレーザビームを反射する反射部56を取り付ける。発光装置22は、レーザビームを発光する機能のほかに、レーザビームを検出する機能も備えており、反射部56で反射したレーザビームを検出してその強度を制御装置41に出力する。イオン源6は、ハウジング5の端面で位置決めされるため、レーザビームの強度が最大となるように引出電極3を位置調整することにより、イオンビーム軸をイオン源6と引出電極3の中心軸と一致させることができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は荷電粒子ビーム装置の自動軸合わせ方法及び荷電粒子ビーム装置に関し、画像データの分割をせずに高精度な軸合わせを行なうことを目的としている。
【解決手段】荷電粒子ビームの一部をプローブとして試料に照射する荷電粒子ビーム装置において、対物レンズの軸ずれを補正するために適切な観察倍率とエミッタ先端電位変化量とを選択し、エミッタ先端の電位を変化させた時の荷電粒子ビーム走査像の、エミッタ先端の電位を変化させる前の荷電粒子ビーム走査像に対する移動量を算出し、算出された移動量から対物レンズの軸ずれ量を算出し、対物レンズ前方に置かれた偏向器に対して対物レンズの軸ずれを補正するようにフィードバックをかけるように構成する。 (もっと読む)


【課題】
光学条件を変更した場合や、装置の状態変化によって荷電粒子線のビーム中心軸が移動した場合において、容易にビーム中心軸の調整を可能とする荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
本発明は、一次荷電粒子線のビーム中心軸調整を偏向器(アライナー)で行う際に、前記アライナーの感度を計測する処理ステップ(1)と、前記一次荷電粒子線の中心と前記対物絞りの中心とのずれを検出する処理ステップ(2)を設け、前記処理ステップ(1)で計測したアライナー感度と前記処理ステップ(2)で検出したずれ量を用いて、前記一次荷電粒子線が前記対物絞りの中心を通過するように前記アライナー設定値を決定し、このアライナー設定値を用いてアライナーを制御する手段を設けていることを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】ノイズの影響を排除し、高精度、高再現性があり、大規模加速器における複数のビーム位置計測手段を設置する場合に、それぞれのビーム位置計測信号の同期を確保することができる加速器のビーム位置計測装置を提供する。
【解決手段】アナログ信号処理回路21は、恒温槽401を信号処理回路と温度センサー403を収納した信号処理部恒温槽407と発熱体402を収納した温度調整恒温槽408とに分割し、温度調整恒温槽408を信号処理部恒温槽407と距離を置いて配置し、この両者の恒温槽を管路409Aと409Bで接続し、管路上に送風装置410を配置し、そして電源404と発熱体スイッチ405と温度制御回路406とを恒温槽401の外部に配置した構成となっている。また、温度センサー403からの温度モニタ信号は温度制御回路406に入力し、温度制御回路406から発熱体スイッチ405へ開閉指令を出力する構成とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は走査型電子顕微鏡における電子レンズの自動軸調整方法及び装置に関し、電子レンズの軸調整を高精度で高速に自動で行なうことができる電子顕微鏡における電子レンズの自動軸調整方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子線2を発生させる電子線源1と、発生された電子線2の電流量を制御するコンデンサレンズ4と、前記電子線2をコンデンサレンズ4の軸に合わせるコンデンサレンズ用軸補正偏向器3と、電子線2を観察試料12上に2次元方向に走査する偏向器7と、電子線2を対物レンズ11の軸に合わせる対物レンズ用軸補正偏向器8と、電子線2を細かく絞って観察試料12に照射する対物レンズ11と、観察試料12から発生した信号或いは観察試料12に吸収される電流を検出して観察試料12の走査信号画像を取得する画像取得手段と、取得した走査信号画像を画像処理する手段とを有して構成される。 (もっと読む)


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