【課題】荷電粒子ビーム引出し用電極の電極棒を交換する際の作業効率を改善する。
【解決手段】引出し用電極は、スリット状開口部４を有するスリット電極１により構成される。スリット電極１は電極枠体２および電極棒５より構成される。電極枠体２は一体構造であり、荷電粒子ビームを通過させる開口部３、及び溝状の電極支持部を有している。電極棒５は、開口部３を跨いで電極枠体２上に配列され、両端を電極支持部により支持されて、スリット状開口部４を形成する。 （もっと読む）

【課題】放出電流が安定で低雑音の電子顕微鏡用の冷陰極電界放出型電子源を提供する。
【解決手段】冷陰極電界放出型エミッタ先端５０３の後方に配置された開口５５４を有するエミッタ包囲電極５５２と、引出電極５０８とにより閉空間を形成し、閉空間の内部に配置された円形フィラメント５３０を加熱する事により放出される電子５２０による衝撃と熱的励起により、引出電極５０８とエミッタ包囲電極５５２の吸着物質５２２、５２６を離脱させ、ギャップ５６０より排気し除去する。 （もっと読む）

【課題】コレクター電極、これを備えた電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射処理装置において、特別な機構を付加することなく安定した動作を有する装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射装置において、導電体から成る筒状のコレクター電極及びコレクター電極に巻装された高周波誘導コイルを備え、コレクター電極は側面に開口部を有し、開口部が高周波誘導コイルの高圧側端部に対応して配置されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】コレクター電極、これを備えた電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射処理装置において、特別な機構及び処理を施すことなく安定した動作を有する装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射装置において、非磁性のニッケル系合金からなる筒状のコレクター電極及び前記コレクター電極に巻装された高周波誘導コイルを備えるように構成した。 （もっと読む）

【課題】電子源の昇華量を削減するとともに、ビームの放出角度を小さくして長期間安定に使用することのできる電子銃及び電子ビーム露光装置を提供すること。
【解決手段】電子銃は、電子源２０と、加速電極２５と、電子放出面から電子を引き出す引き出し電極２１と、電子源の側面からの電子放出を抑制するサプレッサー電極２４と、電子放出面に電界を印加して放出させた熱電界放出電子による電子ビームを収束させる電子ビーム収束部とを有する。電子ビーム収束部は、引き出し電極２１と加速電極２５との間に配置され中央に開口部を備えた静電レンズ電極２６であり、静電レンズ電極２６に電圧を印加して電子ビームを収束させる。静電レンズ電極２６は加速電極側に拡がるテーパを有することが望ましい。電子放出材料の先端面は基板物質が露出しており、側面は仕事関数の大きな物質で被覆されている。電子放出先端部の外周部が面取りもしくは丸められていてもよい。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム発生装置及びこれを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明による電子ビーム発生装置方法は、カソード；カソードが一側開口部に結合されて内側に共振空洞が設けられたハウジング；及び、カソードとハウジングとの間に設けられ、カソードとハウジングとの間の結合強度に応じて圧縮され、共振空洞を外部と遮断するガスケット；を含む。前記共振空洞は、互いに連結されている第１の共振空洞と第２の共振空洞を含み、前記第１の共振空洞と前記第２の共振空洞は、前記カソードで発生された電子ビームが放出される方向に配列される。 （もっと読む）

【課題】カソードが高温になっても、ピンとカソード保持リングが融着しない電子銃を提供する。
【解決手段】電子銃１０は筺体１１を有しており、筺体１１の内部には、カソード部材３１と、発熱装置３２と、アノード電極３が配置されている。カソード部材３１は、カソード電極１と、三個以上（ここでは４個）のピン１５と、保持部材５を有している。カソード電極１はタングステンであり、保持部材５の保持側孔７０の内周面には、タングステンより融点が高いカーボン、グラファイト、又はタンタルカーバイトが露出されており、カソード電極１が発熱装置３２により加熱されたときに輻射や熱伝導によって孔の内周面は融解せず、孔の内部に配置されたピン１５は固着しない。また、ピン１５と保持部材５が熱膨張したときに摩擦によるピンが抜けなくなる現象の発生が少なく、カソード電極１の位置ずれがおきない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、荷電粒子源から放出される一次荷電粒子を長時間安定させ、荷電粒子線装置の安定した稼動を可能にすることを目的とする。
【解決手段】本発明は、荷電粒子源と、荷電粒子源から荷電粒子線を引き出す引出電極と、を有し、内部を排気するポンプに接続された荷電粒子銃であって、当該荷電粒子銃は、前記荷電粒子線を通す開口を有し、前記荷電粒子源と当該開口を結ぶ領域に、障壁を設けることを特徴とする。
【効果】本発明によれば、真空度の低い下流側の真空室に存在する分子が、開口を通って荷電粒子源に吸着することを防ぎ、電流ノイズの低減を図ることができる。これにより、荷電粒子線装置の安定した稼動を可能にすることができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生の機能が低下しない、簡単な構造でなる電子源を提供する。
【解決手段】プラズマ生成室１の内壁９とコレクター電極３との間に設けられた内部構造材４により、プラズマ生成室１の内壁９に導電性の物質が堆積することを防ぐことができる。従って、高周波アンテナ２からの高周波電界が遮蔽されないので、この高周波電界により容量結合型の初期プラズマを発生させることができる。また内部構造材４に導電性の物質が堆積して高周波電界が遮蔽された場合でも、堆積物は内部構造材４のコレクター電極３側に堆積するので、内部構造材４からプラズマ生成室１内への高周波電界は遮蔽されるが、内壁９から内部構造材４への高周波電界は遮蔽されない。内部構造材４と内壁９との間には距離ｄが設けられているので、内部構造材４と内壁９との間の領域で、高周波電界により容量結合型の初期プラズマを発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】活性雰囲気で長時間の使用が可能な、簡単な構造でなる電子源、及びこの電子源が用いられた処理装置を提供する。
【解決手段】アノード電極１及びカソード電極２間に電圧が加えられ、カソード電極２から電子が放出される。主にカソード電極２の磁気ギャップ６の近傍から放出された電子は、磁気ギャップ６での磁界の作用によりホール運動を行う。この電子がガス導入部３により導入されたガスの分子に衝突することで、ガスの分子が効率よく電離される。これにより磁気ギャップ６の近傍でプラズマ１６が発生する。発生したプラズマ１６内にある電子は、アノード電極１及びカソード電極２間の電界により、アノード電極１の方向へ加速され、スリット４を介して照射対象物に照射される。つまり、アノード電極１及びカソード電極２間に電圧が加えられることで、プラズマ１６の発生と電子の加速及び照射とが共に行われる。 （もっと読む）

【課題】ピアス式電子銃の円盤状のカソード２を、カソード２より大径の外周リング２１に３本以上の支持ロッド２２を介して支持させるカソード支持構造において、カソード及び支持ロッドの熱膨張により支持ロッドの座屈を生ずることを防止できると共に、カソードからの熱引けを効果的に抑制できるようにする。
【解決手段】各支持ロッド２２を、カソード２と外周リング２１との間に、支持ロッド２２の軸線が該軸線と外周リング２１の内周面との交点とカソード２の中心とを結ぶ直線Ｌに対しカソード２の周方向一方に傾むくように配置する。また、支持ロッド２２の軸線に合致する直線とこの直線に平行でカソード２の中心を通る直線とをカソード２の軸線に直交する平面に射影したときの２直線間の距離を偏心量δとして、δが全ての支持ロッド２２で等しくなるようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子銃から放射される電子ビームの集束特性を向上させることと、集束用の磁界生成装置の部品点数を削減して装置コストを下げることを目的とする。
【解決手段】 本発明の電子銃３０は、開口を有すると共に内部に空間を有し、この空間内の円弧状の側面に凹溝３２ｃが形成されたカソード３２と、凹溝３２ｃに配設され、通電による加熱によって電子を放出するフィラメント３４と、このフィラメント３４から放出されて電子をカソード３２との間で加速するアノード３６とを備える。凹溝３２ｃを挟んで上下に円弧状に形成される上側カソード３２ｆ及び下側カソード３２ｇを、上側カソード３２ｆの円弧辺の曲率半径Ｒ１が、下側カソード３２ｇの円弧辺の曲率半径Ｒ２と異なるように形成した。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム装置の保守が容易で、連続排気用の真空ポンプを作動させないで真空チャンバ内の真空度を上げる電子加速方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム放射窓２４を清浄な空気環境に制御された場所内で真空チャンバ４６に気密にろう付け、溶接または接着結合して密封して連続排気用の真空ポンプを作動させないで持続的に真空を維持する真空チャンバ４６を設け、真空チャンバ内に配置した電子発生器３１で電子を発生し、電子発生器をハウジング３０により囲み、このハウジングは、電子発生器と電子ビーム放射窓間に開口が形成され、ハウジングと電子ビーム放射窓２４間に電圧が供給されたときに、電子を電子発生器３１から電子ビームにして電子ビーム放射窓２４の外に加速し、真空チャンバ内の分子をイオン化し、真空チャンバ内にイオン化された分子を捕獲して真空チャンバ内の真空度を上げる電子加速方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子放射陰極を安定に把持し、微小ビームを長期間安定に取り出すことが可能な電子源構造体及び電子源構造体駆動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る電子源構造体は、少なくとも、ダイヤモンドからなる電子放射陰極と、前記電子放射陰極を把持する一対の導電性支柱と、前記導電性支柱を貫通して前記電子放射陰極を把持する応力を発生させるための金属ネジ及びナットと、前記金属ネジおよびナットが貫通し、前記金属ネジおよびナットと前記導電性支柱との間の電気的絶縁を保つための絶縁碍子と、前記導電性支柱を固定するための一対の電極端子と、前記端子を具備する絶縁体と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】放熱や伝熱による熱損失を低減して、電子銃全体の系の熱的安定性を保つ。また、フィラメント電流を低減してフィラメント寿命の短命化を抑制し、フィラメント寿命を延ばす。
【解決手段】熱電子放出型電子銃１は、フィラメント１１の加熱により熱電子を放出する熱電子放出型電子銃であり、フィラメント周辺部を構成する筒体２の端部に設けたアノードアパーチャ１３と、レンズ系を収納する金属筒４との間に断熱材料からなる外筒３を備える。外筒３を断熱材料により形成することで、フィラメント周辺部から金属筒への熱伝達を断熱し、フィラメント周辺部から熱伝達で放出される熱量を低減し、金属外筒の放熱面積を減らし、系全体が熱平衡の達するまでの時間を短縮すると共に、フィラメント電流の電流量を抑制し、フィラメントの寿命を延ばす。 （もっと読む）

【課題】ビーム形成器の腐食や溶融による損傷を回避する電子ビーム銃を提供する。
【解決手段】ビーム形成器（１０４）から離れるように熱を導く質量の大きな陰極ブロック（１０３）の一体部品として形成した湾曲形状のビーム形成器と、改善された整合のために陰極ブロックに装着されたフィラメント（１０９）と、を備えた電子ビーム銃。 （もっと読む）

【課題】 引出し電極の熱変形を防止しつつ、照射幅方向における電子線量分布の偏りを防止する。
【解決手段】 この電子線照射装置は、Ｘ方向に搬送される被照射物２２に向けて電子線を照射する電子線照射装置である。電子を放出する複数のフィラメントに対して平行に配置され、フィラメントから放出された電子を電子線としてＺ方向に引出す板状の引出し電極２４を備える。この引出し電極２４は、互いに同電位のものがＺ方向に１段以上配置されている。Ｚ方向最下流側の引出し電極２４が、Ｙ方向に複数の電極片２４ａ〜２４ｃに分割されている。一の電極片２４ａ〜２４ｃとこれに隣接する他の電極片２４ａ〜２４ｃとの間に、Ｙ方向及びＸ方向のいずれにも交差する方向に第１の隙間σ₁ が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 装置の運転中に、生産を中断することなく、ピアス式電子銃から発せられる電子ビームの状態をリアルタイムでモニタし、その結果を電子ビームの状態を適正なものに改善や維持するためにフィードバックすることで、優れた効率性と安定性のもとに、基板の表面に蒸着被膜を形成することができる、電子ビーム蒸着装置、当該装置を用いて行う基板の表面への蒸着被膜の形成方法、ビーム状態のモニタが可能なピアス式電子銃、および、ピアス式電子銃のビーム状態のモニタ方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の電子ビーム蒸着装置は、電子ビームに起因乃至由来する電子を捕捉するためのセンサがビームパスの近傍に設置され、センサによって捕捉された電子に基づく電流および／または電圧を検出することで、ビーム状態をモニタするようにしたピアス式電子銃を備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）