【課題】 電界放出型電子源の寿命を延長するために、拡散補給源であるジルコニアの容積あるいは、重量を増すと、拡散補給源自体やタングステン針にダメージを与えやすくなるという課題がある。更なる課題として、上記課題を避けるために拡散補給源を薄膜で形成することも考えられるが、８，０００時間を越える実用的な寿命を安定して得ることは困難である。
【解決手段】 拡散補給源の欠けや割れがなく、少量の拡散補給源の増量で寿命を延長可能な電界放出型電子源を提供し、８，０００時間を越える実用的な寿命を安定して得ることを明らかにした。 （もっと読む）

【課題】 より低い加速電圧により高いエミッション電流を出力することによって、蒸着材料の蒸発に必要な電力量を得ることができる蒸着用電子銃を実現する。
【解決手段】 電流が流れて加熱することにより熱電子を放出するフィラメント１０として、素材がタングステンであり、巻き数が10〜30ターン、線径が0.55〜0.8mmおよび巻き外径が３〜５mmであるものを用いる。フィラメント１０より放出された熱電子を集束して電子線束を生成する、電子線束の射出側の開口がテーパ状に形成され内部にフィラメント１０が配設される孔部２１を有するウェーネルト２０を用いる。ウェーネルト２０により生成された電子線束を加速する、グランド電位に保たれるアノード１２０を用いる。 （もっと読む）

【課題】カソードの寿命を向上させることのできる電子銃およびその電子銃を使用した電子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】電子を放出するエミッタ１０を有する電子銃において、エミッタ１０を、電子放射特性を有する第１の材料からなる第１の部材１１と、第１の材料より仕事関数が大きい第２の材料からなる、第１の部材１１を被覆する第２の部材１２とを有するように構成し、さらに、第１の部材１１と第２の部材１２との間に溝１５を設ける。溝の長さ（Ｈ＋Ｗ）は５０μｍ以上であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明はエミッタアレイを用いた電子プローブ装置に関し、プローブの径を保持したままでプローブ電流を増加させる電子プローブ装置を提供することを目的としている。
【解決手段】リング状に並べられたＦＥエミッタアレイ１と、該ＦＥエミッタアレイ１のビームを回折面に集束させるためのレンズ２と、回折面に配置された絞り３と、該絞り３の絞り面の縮小像を試料６に照射させるための光学系５とからなり、装置のプローブ径を保ったままでプローブ電流値を増大させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント端子間の短絡を防ぐ。
【解決手段】フィラメント１、カソード２、グリッド３、アノード４を備え、フィラメント１から発生された電子の衝撃に基づいてカソード２から発生した熱電子をグリッド３の電子通過孔３Ｈを介してアノード４方向に加速する様に成し、フィラメント端子部を碍子８０で支持する様に成し、碍子のアノード側表面に、フィラメント端子部を取り囲む円筒状の壁１１を形成し、筒状壁内の空間部Ｓを、壁内の碍子表面とで挟む有底円筒状のカバー１２を壁１１に取り付け、カバー１２の底部にフィラメント端子部が通る孔Ｈ１，Ｈ２を穿つと共に、空間部Ｓにガスを導入する管１３を碍子８０に設けた。 （もっと読む）

【課題】現用のＺｒ／Ｏ／Ｗ電子源よりも電子放出面の仕事関数を減少させ、狭エネルギー幅かつ高電流密度の放出電子が得られ、長寿命な電子源を提供し、高分解能像が短時間に得られる電子顕微鏡や高スループットな電子線描画装置を実現する。
【解決手段】先端を針状にした金属からなる針状電極１０４と、前記針状電極を加熱する発熱体１０３からなる電子源において、前記電子源は前記発熱体により加熱可能な拡散源を有し、酸素を含むバリウム化合物と炭素粒子の混合物を拡散源１０６とする。 （もっと読む）

【課題】処理対象に電子ビームを照射することによって、処理対象の洗浄や研磨、処理対象からの付着物の除去等を行う電子ビーム照射装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射装置１は、負電圧を周期的に発生させる電圧生成器６と、電圧生成器６に接続され、表面が接地された処理対象２に対してインパルスである電子ビーム３を照射するカソード１と、カソード１と処理対象２とを収容可能であり、内部雰囲気を真空に保持可能である真空チャンバ５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は真空蒸着用電子ビーム装置に関し、電子ビーム形状を向上させることを目的としている。
【解決手段】１２０度以上電子ビームを偏向し、るつぼ内に貯留されている蒸着材料に対して電子ビームを照射し、該蒸着材料からの蒸気を基板表面に蒸着させるようにした真空蒸着用電子ビーム装置において、熱電子を放出するカソード３１の面を電子線放出方向に対して垂直となるようにすると共に、カソード３１の有効な熱電子放出面に対して、カソード保持部３２ａを除くその他のカソード面若しくは周囲面が、カソード３１の有効な熱電子放出面に対して９０度以内に存在しないようなカソード断面を有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】時間的にも空間的にも均一な電子ビームを供給する電子源を提供する。さらに、射出面積の小さい電子源を提供する。
【解決手段】射出面４と、加熱されたときに仕事関数の低い粒子を放出する材料のためのリザーバ２と、このリザーバ２から前記射出面４への仕事関数の低い粒子の拡散を可能にするための少なくとも１つの通路７とを有するディスペンサ陰極であって、前記射出面４は、少なくとも１つの射出エリア９と、射出を抑える材料でカバーされ、前記射出エリア９を囲んでいる少なくとも１つの非射出エリア８とを有している。前記非射出エリア８は、少なくとも１つの通路７を有しており、前記通路７は、前記リザーバ２と前記非射出エリア８とを接続し、前記リザーバ２から前記射出エリア９への仕事関数の低い粒子の拡散を可能にするために、射出エリア９から拡散長の距離だけ離れて延びている。 （もっと読む）

【課題】 加熱して温度を上げたときのフィラメントの腐食および自重による撓みを抑制する。
【解決手段】 このフィラメント４は、通電加熱されて熱電子を放出するフィラメント部６と、フィラメント部６が貫通していてそれからの熱によって加熱されて熱電子を放出する筒状の熱電子放出部８とを備えている。熱電子放出部８を構成する材料の方がフィラメント部６を構成する材料よりも熱電子放射電流密度が大きく、剛性率はフィラメント部６を構成する材料の方が大きい。 （もっと読む）

【課題】フィラメントの交換に要するフィラメントとグリッドとの位置調整時間を短縮し、殺菌用の電子線照射装置の運転中断を短くできる電子線照射装置用電子線源を提供する。
【解決手段】下枠板２３と上枠板２４を用い、これらに所定間隔で複数のフィラメント本体３０の保持空間部２６を形成している。下枠板２３と上枠板２４は、各保持空間部２６内にそれぞれフィラメント本体３０の絶縁基板３１部分を配置した状態で連結ボルト２５によって結合している。下枠板２３には、照射穴２８ａを設けたグリット２８を着脱可能に固定し、フィラメント本体３０とグリッド２８を線源ブロック２０として一体に構成している。下枠板２３に螺着する複数個の位置調整ねじ３３を設け、これらを保持空間部２６内の絶縁基板３１の下面に設けた位置決め穴３４にそれぞれ係合させ、フィラメント本体３０とグリット２８間の寸法調節を可能にしている。 （もっと読む）

【課題】フィラメント支持部材間に架け渡すフィラメントの交換作業を経済的に行え、フィラメント支持部材の強度も大きくできる電子線源用フィラメント構造体を提供する。
【解決手段】フィラメント支持部材３２間に、フィラメント３３を架け渡すフィラメント構造体３０は、絶縁基板３１に所定の間隔を保って固定する二つのフィラメント支持部材３２に、グラッシーカーボンを用いている。各フィラメント支持部材３２の先端部に、断面がＵ字状の接合チップ３４を着脱自在に取り付けている。この接合チップ３４を用いて、フィラメント支持部材３２間にフィラメント３３を着脱自在に接続している。 （もっと読む）

電子ビーム殺菌デバイスは、電子発生フィラメント（１１０）と、電圧源に接続されたグリッド（１１４ａ、ｂ）と、ビーム成形器（１２８）と、出力窓（１１８）とを備える。高電圧源が、電子の加速用に電子発生フィラメントと出力窓との間に高電圧を発生させる。本デバイスの利便性は、電子発生フィラメント及び／又はグリッドが、出力電子ビームの電流及び形状の変更用の少なくとも二つの動作部分を備えることによって高められている。
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【課題】電流導入端子などの電気供給部品を交換対象から除外することができ、これにより電気機能体（例えばフィラメントからなる）の交換作業の負担を大幅に軽減できる電気機能体の交換機構と交換方法を提供する。
【解決手段】本体容器５の内部空間５ａに配置され電気が供給されることで機能する電気機能体３を交換するための電気機能体の交換機構であって、本体容器５には、本体容器外部から内部空間５ａへ電気機能体３を通す挿入孔５ｂが形成されるとともに、本体容器５は、挿入孔５ｂを開閉する開閉手段７と、電気を供給するための電気供給端子１１を有し、電気機能体３は、電気供給端子１１に着脱可能に接続され電気供給端子１１から電気を受ける接続端子３ａを有し、挿入孔５ｂから内部空間５ａへ電気機能体３を挿入することで、接続端子３ａを電気供給端子１１に接続できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】Langmuir limitを超える高輝度と高エミッタンスを同時に得る。
【解決手段】円形のカソード、引出し電極又はアノード、及びウエーネルト電極を有し、ウエーネルト電極は円錐台の側面の形状を少なくとも有し、その半径はカソード側で小さく、アノード側で大きく、上記円錐の半角をθｗとし、カソード半径Rcをμmとし、カソードと引出し電極又はアノード間距離をDac (mm)とした時、
75 ≦ Rc ≦ 250,
11 ≦ Dac ≦ 21及び
62 ≦θｗ ≦ 90
の範囲内の値にすると良い。 （もっと読む）

【課題】カソード寿命を改善させることが可能なタレット電子銃及び電子ビーム描画装置を提供すること。
【解決手段】本発明のタレット電子銃は、複数の空気抜き用開口部２０が設けられた円筒型の側部１５１と、この側部の一端に形成され電子ビーム射出用開口部１６が設けられた底部を有するウェネルト１５と、このウェネルト１５の内部に設けられたエミッタ１７と、このエミッタ１７に電流を供給するフィラメント１８を挟み込み、ウェネルトの側部１５１の他端を封止する碍子を備える複数のカソード１４と、複数のカソード１４をそれぞれ保持し、ウェネルト１５の側部の空気抜き用開口部２０においてウェネルト１５との間に所定幅の間隙を有する複数の開口部１３３を側面に備えるバレル１３を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カソードおよびアノード間の異常放電の発生率を十分に低下させる。
【解決手段】熱電子を放出するカソード２２と、カソード２２から熱電子が放出されている状態においてカソード２２との間に印加されているグリッド電圧の電圧値に応じた量の電子を放出するグリッド２３と、カソード２２との間にアノード電圧が印加されて電子を加速させるアノード２４と、加速された電子を集束して電子ビームＥＢを生成する集束部２５とを備えた電子ビーム蒸着装置用の電子ビーム照射装置６であって、カソード２２は、アノード２４側の一面２２ｓの十点平均粗さＲｚが０．１０μｍ以上０．２８μｍ以下の範囲内となるように研磨されている。 （もっと読む）

【課題】高分解能、高スループットのマルチビーム検査装置を実現するために、ラングミュア限界を越える高輝度、かつ高エミッタンスのビームを得る。
【解決手段】電子銃は平面のカソード、引出し電極又はアノード、及び円錐の一部の形状のウエーネルト電極を有し、電子銃電流Ie(mA)をカソード・アノード間距離Dac(mm)との関係により次の範囲とする。0.388/Dac-0.046≦Ie≦92.8/Dac+9.28、Dac≧3mm、あるいは、0.388/Dac-0.046≦Ie≦22/Dac+32.7、Dac＜3mm。又は、電子銃電流Ie(mA)をカソード半径との関係により数値限定（数式省略）する。輝度Ｂとカソード電流密度Ｊｃの関係は、シミュレーション値５７１（破線）と実測値５７２が比較的良く一致し、かつ輝度はラングミュア限界５７３を超えている。 （もっと読む）

【課題】十分な量の電子放出を安定して得られる電子放出素子、電子源、及び電子線装置を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡２０に用いられている電子源１０Ａでは、仕事関数が３．０ｅｖ以下であるダイヤモンドを陰極部４２に用いることで、陰極部４２から真空中に電子が容易に電界放出可能となる。また、電子放出部４８の先端５２が、炭化チタンからなる導電層４４により覆われているので、電子放出部４８の先端５２における電圧降下が抑制され、電位が一定に保たれる。したがって、電子源１０Ａでは、十分な量の電子放出を安定して得ることができる。導電層４４は、厚さ２０ｎｍ以下に抑えられており、導電層４４自体に起因する陰極部４２の仕事関数の増加は回避されている。 （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、長期間安定な電子放出特性を発揮可能な電子放出素子を提供することにある。また、電子放出素子の耐久性を向上させる。
【解決手段】
上記課題を解決する本願発明の特徴点は、電極に接続するワイヤ部分、該ワイヤ部分に接続する針部分、該針部分に接続されたナノチューブ部分を有する電子放出素子であって、該ワイヤ部分、該針部分、さらには該ワイヤ部分と該針部分との接合剤、該針部分と該ナノチューブ部分との接合剤に炭素を主成分とする材料を用いることにある。また、他の本願発明の特徴点は、ワイヤ部分，針部分を有する電子放出素子で、針部分は先鋭化されており、ワイヤ部分と針部分が炭素で一体に形成されていることにある。 （もっと読む）