【課題】カソードの寿命を向上させることのできる電子銃およびその電子銃を使用した電子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】電子を放出するエミッタ１０を有する電子銃において、エミッタ１０を、電子放射特性を有する第１の材料からなる第１の部材１１と、第１の材料より仕事関数が大きい第２の材料からなる、第１の部材１１を被覆する第２の部材１２とを有するように構成し、さらに、第１の部材１１と第２の部材１２との間に溝１５を設ける。溝の長さ（Ｈ＋Ｗ）は５０μｍ以上であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】電子源の昇華量を削減するとともに、ビームの放出角度を小さくして長期間安定に使用することのできる電子銃及び電子ビーム露光装置を提供すること。
【解決手段】電子銃は、電子源２０と、加速電極２５と、電子放出面から電子を引き出す引き出し電極２１と、電子源の側面からの電子放出を抑制するサプレッサー電極２４と、電子放出面に電界を印加して放出させた熱電界放出電子による電子ビームを収束させる電子ビーム収束部とを有する。電子ビーム収束部は、引き出し電極２１と加速電極２５との間に配置され中央に開口部を備えた静電レンズ電極２６であり、静電レンズ電極２６に電圧を印加して電子ビームを収束させる。静電レンズ電極２６は加速電極側に拡がるテーパを有することが望ましい。電子放出材料の先端面は基板物質が露出しており、側面は仕事関数の大きな物質で被覆されている。電子放出先端部の外周部が面取りもしくは丸められていてもよい。 （もっと読む）

【課題】 クロスオーバの輝度均一性の点で有利な電子銃の提供。
【解決手段】 共通の軸に沿って順に配置されたカソードとバイアス電極とアノードとを有する電子銃であって、前記カソードの電子放出面は、前記軸上の点を含む第１領域の曲率半径（第１曲率半径）より該第１領域の外側にある第２領域の曲率半径（第２曲率半径）が大きく、かつ、前記第１領域および前記第２領域がともに前記第１曲率半径を有する場合よりクロスオーバの輝度が均一となる形状である、電子銃とする。 （もっと読む）

【課題】
電流加熱する電子銃を数十個以上のマルチコラムに適用するには、発熱総エネルギーが大きく、電子銃チャンバーの高真空度が維持できない。また電子銃電源の寸法が大きい。さらに伝送ケーブルを伝わる振動が大きいため高精度の露光ができない。従来提案された光で加熱する方法では電子銃陰極の表面積が大きく、熱伝導が大きい保持機構のため、加熱の総エネルギーは大きく、光の軸合わせが容易でなかった。
【解決手段】
半導体レーザーなどの光を、サファイヤなどでできた光導波路の末端部から入射し、先端部に設置したレニウムなどの光で加熱される保持具を介してＬａＢ６などの電子銃陰極を加熱して、熱電子または熱電界放射電子を真空に放射する電子銃を形成する。本電子銃をマルチコラム電子ビーム露光装置に用いると、低エネルギー化と高真空度化、高圧電源回路の小型化・低電力化ができ、露光パターンの高精度化ができる。 （もっと読む）

【課題】寿命を短縮することなく輝度の向上が可能な電子銃用のエミッタ使用方法を提供する。
【解決手段】電子銃用のエミッタ使用方法において、エミッタ１４は、結晶質の金属六硼化物を用いて構成され、形状が円柱体の先端側を円錐台に形成して端面２が平面であるとともに、円錐台端面２が（３１０）結晶面であるように構成されており、そのエミッタを１×１０^−５Ｐａ以下の真空圧力で動作させるようにする。エミッタは、１６５０Ｋ〜１９００Ｋの動作温度で動作させることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】六ホウ化ランタンなどの希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバを耐熱金属支持針に接合して熱陰極電子放出源として使用しようとすると、高温使用過程で生じる、希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバと耐熱金属支持針との接合面における高温化学反応により損傷・劣化を起こして、耐久性・長期間使用可能性の面で問題を引き起こす恐れがある。
【解決手段】少なくとも耐熱金属支持針の希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバとの接合箇所が当該ナノファイバに対して高温でも化学反応しない耐熱材料よりなる熱陰極電子放出源を構成することにより、上記問題を解決する。 （もっと読む）

【課題】電子源あるいはイオン源において、ろう材を使用せず、引き出し電極と絶縁碍子との接合位置精度を向上させた部品を作製し、放出される荷電粒子のアライメントエラーを小さくし、更に、ろう材を使用しないことからコスト面で有利な荷電粒子装置用部品を提供する。
【解決手段】金属製部品と絶縁性部品からなる複数の部品から構成される荷電粒子装置用部品において、金属製部品と絶縁性部品を結合する筒状の嵌合部を有し、該勘合部の外筒が金属であり内筒が絶縁物であって、室温における該外筒の内寸が該内筒の外寸より僅かに小さく、該嵌合部が外筒と内筒を焼き嵌めにより結合されたことを特徴とする前記の荷電粒子装置用部品。 （もっと読む）

本発明は、ＴＥＭ中において超高速時間分解でその場でイメージングする四次元超高速電子顕微鏡（ＵＥＭ）に関する。単電子イメージングが四次元ＵＥＭ技術の要素技術として使用されて、従来の技術では得ることができない高空間および時間分解能が得られる。本発明の他の実施形態は、電子ビームを試料に収束して、三次元での構造的な特徴を時間の関数として測定する収束ビーム型のＵＥＭについての方法およびシステムに関する。また、実施形態によって、試料の四次元イメージングだけでなく、電子エネルギーのキャラクタリゼーションが得られて、時間分解電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ）が実行される。 （もっと読む）

【目的】従来の熱電子放射陰極に於ける陰極チップ把持部での経時的反応消耗を抑えることで、信頼性が高く長時間に渡り極めて安定な電子ビーム特性を維持し、電子顕微鏡や電子ビーム露光装置用として利用効果の大きい熱電子放射陰極を提供する。
【構成】希土類六硼化物からなる陰極チップと、前記陰極チップを把持し加熱するための炭素質材料からなるヒーターとを有する熱電子放射陰極であって、高融点金属薄板からなるコ字形の支持片が前記陰極チップ基部の相対する側面に沿うように反応障壁層を介して焼結固着され、かつ前記支持片の相対する面を介して、前記陰極が前記ヒーターによって把持されていることを特徴とする熱電子放射源。 （もっと読む）

【課題】電子ビームの安定性とともに、カソードの長寿命化を図ることが可能な電子ビーム発生装置、電子ビーム描画装置および電子ビーム描画方法を提供する。
【解決手段】本発明の電子ビーム発生装置は、加熱により電子を放射するカソード１１と、このカソード１１を加熱するための直流フィラメント供給電源１３と、カソードとの間にバイアス電圧が印加されるウェネルト１６と、カソード１１との間に加速電圧が印加され、カソード１１から放射された電子を集束して電子ビームを形成するアノード１９と、直流フィラメント供給電源１３とカソード１１の間に配置され、直流フィラメント供給電源１３の極性を変更する機構１４を備える。 （もっと読む）

【課題】 ビームの位置精度の劣化や遮蔽電極の溶融の問題を解消し、スループットの向上や装置コストの低減が期待できる電子ビーム照明装置及びそれを備えた電子ビーム露光装置を提供する。
【解決手段】 電子源の電子放出表面には電子放射効率の異なる照射有効領域２と照射制限領域１が形成されている。照明有効領域２は電子ビーム露光法において、露光に寄与する有効な電子放射領域であり、照射制限領域１は露光には直接寄与せず、制限されていなければ電子銃またはカラム内のアパーチャ電極で遮蔽される電子ビームを放射する領域である。 （もっと読む）

【課題】十分な量の電子放出を安定して得られる電子放出素子、電子源、及び電子線装置を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡２０に用いられている電子源１０Ａでは、仕事関数が３．０ｅｖ以下であるダイヤモンドを陰極部４２に用いることで、陰極部４２から真空中に電子が容易に電界放出可能となる。また、電子放出部４８の先端５２が、炭化チタンからなる導電層４４により覆われているので、電子放出部４８の先端５２における電圧降下が抑制され、電位が一定に保たれる。したがって、電子源１０Ａでは、十分な量の電子放出を安定して得ることができる。導電層４４は、厚さ２０ｎｍ以下に抑えられており、導電層４４自体に起因する陰極部４２の仕事関数の増加は回避されている。 （もっと読む）

【課題】Langmuir limitを遙かに超える高輝度あるいは超高エミッタンスを得る
【解決手段】平面カソード、ウエーネルト、引き出し電極又はアノードとなる球面引き出し電極電子銃で、カソードとアノード間距離をDacとした時、電子銃電流をIe (mA)をつぎの範囲にする、
0.388/Dac -0.046 ≦ Ie ≦ 92.8/Dac + 9.28、 Dac ≧ 3 mm, あるいは
0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦22/Dac + 32.7、 Dac < 3 mm.
また、凹面形状カソード、引き出し電極又はアノードとなる球面引き出し電極電子銃で、カソード半径をRc(mm)とした時電子銃電流をIe (A)をつぎの範囲にする、
0.733Rc - 0.5 ≦ Ie ≦ 0.159Rc³ + 0.35. Rc ≦ 2.5 mm, あるいは

0.733Rc - 0.5 ≦ Ie ≦ 0.255Rc³ - 1.17. Rc > 2.5 mm. （もっと読む）

【課題】Langmuir limitを遙かに超える高輝度あるいは超高エミッタンスを得る
【解決手段】平面カソード、ウエーネルト、引き出し電極又はアノードとなる球面引き出し電極電子銃で、カソードとアノード間距離をDacとした時、電子銃電流をIe (mA)をつぎの範囲にする、
0.388/Dac -0.046 ≦ Ie ≦ 92.8/Dac + 9.28 Dac ≧ 3 mm あるいは
0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦22/Dac + 32.7 Dac < 3 mm
また、凹面形状カソード、引き出し電極又はアノードとなる球面引き出し電極電子銃で、カソード半径をRc(mm)とした時電子銃電流をIe (A)をつぎの範囲にする、
0.733Rc - 0.5 ≦ Ie ≦ 0.159Rc³ + 0.35 Rc ≦ 2.5 mm あるいは
0.733Rc - 0.5 ≦ Ie ≦ 0.255Rc³ - 1.17 Rc > 2.5 mm （もっと読む）

【課題】端子間抵抗値の上昇を抑制し、安定して通電加熱できる電子放出源を提供する。
【解決手段】本発明は、希土類六硼化物からなる電子放出源チップと、それを把持し加熱するための炭素質部材からなるヒーターを有する電子放出源において、電子放出源チップとヒーターとの間隙の前記電子放出源チップ側の面が導電性物質で被覆されていることを特徴とする電子放出源である。他の発明は、導電性物質がカーボン、レニウム、炭化ホウ素、ホウ素化ジルコニウムの群から選ばれた１種以上を含有する導電性物質であることを特徴とする電子放出源である。 （もっと読む）

【課題】極微量の欠陥や不純物から、高い輝度のCL信号を得、大電流まで制御可能な電子ビームを発生させる電子銃を提供する。
【解決手段】カソードルミネッセンス検出装置の電子ビーム照射系で使用される電子銃であって、６桁のダイナミックレンジを持つ電子ビーム電流制御(6×10^-7マイクロアンペア〜400 マイクロアンペア 以上)及び３桁のダイナミックレンジを有する電子ビームスポット径制御（0.016 マイクロメートル〜100 マイクロメートル 以上）である複数の電子銃を用意し、それぞれの熱電子銃を切り替えて活用するためのハイブリッド接続できる離脱着機構を導入したことを特徴とするカソードルミネッセンス検出装置のための電子銃。 （もっと読む）

【課題】 ウエネルト電極における放電を抑制してＬａＢ₆ 等のエミッタを長期にわたり安定に使用することができ、エミッタの長寿命化及び動作の安定化をはかる。
【解決手段】 荷電粒子を放出するエミッタ１１と、このエミッタ１１を加熱するための加熱電源１５と、エミッタ１１との間に加速電圧が印加され、エミッタ１１から放出された荷電粒子を外部に引き出すための陽極１３と、エミッタ１１からの荷電粒子の放出量が一定となるように、エミッタ１１との間にバイアス電圧が印加されるウエネルト電極１２と、を備えた荷電粒子発生装置において、バイアス電圧の時間的変化率が所望の範囲内となるように、加熱電源を制御してエミッタ１１の設定温度を調整する。 （もっと読む）

【課題】長期動作時においても、高信頼性を維持できる電子源を安定して提供する。
【解決手段】希土類元素の六ほう化物からなる電子放射材料が一対の発熱体によって挟持され、前記発熱体が一対の導電支柱によって挟持されてなる電子源において、前記発熱体の前記電子放射材料および前記導電支柱と接触していない領域に絶縁性被膜が形成されていることを特徴とする電子源であり、好ましくは、前記発熱体が炭素であり、前記絶縁性被覆膜が窒化ほう素からなることを特徴とする電子源である。さらに好ましくは、前記絶縁性被腹膜が熱分解窒化ほう素からなることを特徴とする電子源である。 （もっと読む）