【課題】 より低い加速電圧により高いエミッション電流を出力することによって、蒸着材料の蒸発に必要な電力量を得ることができる蒸着用電子銃を実現する。
【解決手段】 電流が流れて加熱することにより熱電子を放出するフィラメント１０として、素材がタングステンであり、巻き数が10〜30ターン、線径が0.55〜0.8mmおよび巻き外径が３〜５mmであるものを用いる。フィラメント１０より放出された熱電子を集束して電子線束を生成する、電子線束の射出側の開口がテーパ状に形成され内部にフィラメント１０が配設される孔部２１を有するウェーネルト２０を用いる。ウェーネルト２０により生成された電子線束を加速する、グランド電位に保たれるアノード１２０を用いる。 （もっと読む）

【課題】コレクター電極、これを備えた電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射処理装置において、特別な機構を付加することなく安定した動作を有する装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射装置において、導電体から成る筒状のコレクター電極及びコレクター電極に巻装された高周波誘導コイルを備え、コレクター電極は側面に開口部を有し、開口部が高周波誘導コイルの高圧側端部に対応して配置されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】コレクター電極、これを備えた電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射処理装置において、特別な機構及び処理を施すことなく安定した動作を有する装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射装置において、非磁性のニッケル系合金からなる筒状のコレクター電極及び前記コレクター電極に巻装された高周波誘導コイルを備えるように構成した。 （もっと読む）

【課題】カソードの消耗を抑制し、寿命を延ばす。
【解決手段】中央部が空けられたフィラメント６０´（カソード）、グリッド７及びアノード８を有する電子銃５からの電子ビームを蒸発物質３に当て、蒸発粒子を基板上に膜状に付着させる様に成した電子ビーム蒸着装置であって、電子銃５の中心軸Ｏ′上に、その先端面が、アノード８から見て、フィラメント６０´（カソード）の中央部空間内に位置する様にイオンコレクタ２０を設け、更に、アノード８から見てフィラメント６０´（カソード）側とは反対側に金属板２１を設け、スパッタリングによって生じたイオンコレクタ２０からのチタン粒子を金属板２１上に堆積させ、電子銃５周辺内の酸素ガスを堆積したチタンに吸着させる様に成した。 （もっと読む）

【課題】 放電原因解消のための電力遮断回数を最小にする。
【解決手段】 直流高圧発生装置１６、電子銃５、電子銃５のフィラメント６とアノード８間の電圧から放電を検出する手段、放電検出手段からの放電信号が特定時間続いているか否かを検知する検知回路、検知回路からの信号に基づきトリガ信号を発生するトリガ発生回路２４、フィラメント６とアノード８間の電流を遮断する遮断手段１８ａ、両電極間の電流遮断状態を非遮断状態に戻す正常復帰信号発生回路２０を備え、トリガ発生回路２４からのトリガ信号に基づいて前記両電極間の電流を遮断状態にし、トリガ信号に基づいて正常復帰信号発生回路２０により遮断状態を遅延して非遮断状態に戻す様に成しており、非遮断状態に戻した時に検知回路から発生される信号又はトリガ信号をカウントし、カウント値に応じて正常復帰信号発生回路２０により遮断状態を非遮断状態に戻す際の遅延時間を設定する様に成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は真空蒸着用電子ビーム装置に関し、電子ビーム形状を向上させることを目的としている。
【解決手段】１２０度以上電子ビームを偏向し、るつぼ内に貯留されている蒸着材料に対して電子ビームを照射し、該蒸着材料からの蒸気を基板表面に蒸着させるようにした真空蒸着用電子ビーム装置において、熱電子を放出するカソード３１の面を電子線放出方向に対して垂直となるようにすると共に、カソード３１の有効な熱電子放出面に対して、カソード保持部３２ａを除くその他のカソード面若しくは周囲面が、カソード３１の有効な熱電子放出面に対して９０度以内に存在しないようなカソード断面を有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】カソードが高温になっても、ピンとカソード保持リングが融着しない電子銃を提供する。
【解決手段】電子銃１０は筺体１１を有しており、筺体１１の内部には、カソード部材３１と、発熱装置３２と、アノード電極３が配置されている。カソード部材３１は、カソード電極１と、三個以上（ここでは４個）のピン１５と、保持部材５を有している。カソード電極１はタングステンであり、保持部材５の保持側孔７０の内周面には、タングステンより融点が高いカーボン、グラファイト、又はタンタルカーバイトが露出されており、カソード電極１が発熱装置３２により加熱されたときに輻射や熱伝導によって孔の内周面は融解せず、孔の内部に配置されたピン１５は固着しない。また、ピン１５と保持部材５が熱膨張したときに摩擦によるピンが抜けなくなる現象の発生が少なく、カソード電極１の位置ずれがおきない。 （もっと読む）

【課題】 加熱して温度を上げたときのフィラメントの腐食および自重による撓みを抑制する。
【解決手段】 このフィラメント４は、通電加熱されて熱電子を放出するフィラメント部６と、フィラメント部６が貫通していてそれからの熱によって加熱されて熱電子を放出する筒状の熱電子放出部８とを備えている。熱電子放出部８を構成する材料の方がフィラメント部６を構成する材料よりも熱電子放射電流密度が大きく、剛性率はフィラメント部６を構成する材料の方が大きい。 （もっと読む）

【課題】ピアス式電子銃の円盤状のカソード２を、カソード２より大径の外周リング２１に３本以上の支持ロッド２２を介して支持させるカソード支持構造において、カソード及び支持ロッドの熱膨張により支持ロッドの座屈を生ずることを防止できると共に、カソードからの熱引けを効果的に抑制できるようにする。
【解決手段】各支持ロッド２２を、カソード２と外周リング２１との間に、支持ロッド２２の軸線が該軸線と外周リング２１の内周面との交点とカソード２の中心とを結ぶ直線Ｌに対しカソード２の周方向一方に傾むくように配置する。また、支持ロッド２２の軸線に合致する直線とこの直線に平行でカソード２の中心を通る直線とをカソード２の軸線に直交する平面に射影したときの２直線間の距離を偏心量δとして、δが全ての支持ロッド２２で等しくなるようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子銃から放射される電子ビームの集束特性を向上させることと、集束用の磁界生成装置の部品点数を削減して装置コストを下げることを目的とする。
【解決手段】 本発明の電子銃３０は、開口を有すると共に内部に空間を有し、この空間内の円弧状の側面に凹溝３２ｃが形成されたカソード３２と、凹溝３２ｃに配設され、通電による加熱によって電子を放出するフィラメント３４と、このフィラメント３４から放出されて電子をカソード３２との間で加速するアノード３６とを備える。凹溝３２ｃを挟んで上下に円弧状に形成される上側カソード３２ｆ及び下側カソード３２ｇを、上側カソード３２ｆの円弧辺の曲率半径Ｒ１が、下側カソード３２ｇの円弧辺の曲率半径Ｒ２と異なるように形成した。 （もっと読む）

【課題】カソードおよびアノード間の異常放電の発生率を十分に低下させる。
【解決手段】熱電子を放出するカソード２２と、カソード２２から熱電子が放出されている状態においてカソード２２との間に印加されているグリッド電圧の電圧値に応じた量の電子を放出するグリッド２３と、カソード２２との間にアノード電圧が印加されて電子を加速させるアノード２４と、加速された電子を集束して電子ビームＥＢを生成する集束部２５とを備えた電子ビーム蒸着装置用の電子ビーム照射装置６であって、アノード２４は、カソード２２に対向配置されたフランジ部（鍔状部）２４ａと、熱電子を集束部２５に向けて案内する筒状部２４ｂとが一体形成されて構成されると共に、フランジ部２４ａにおけるカソード２２側の一面２４ｓの算術平均粗さＲａが２．０μｍ以上７．３μｍ以下の範囲内となるようにショットブラスト加工されている。 （もっと読む）

【課題】カソードおよびアノード間の異常放電の発生率を十分に低下させる。
【解決手段】熱電子を放出するカソード２２と、カソード２２から熱電子が放出されている状態においてカソード２２との間に印加されているグリッド電圧の電圧値に応じた量の電子を放出するグリッド２３と、カソード２２との間にアノード電圧が印加されて電子を加速させるアノード２４と、加速された電子を集束して電子ビームＥＢを生成する集束部２５とを備えた電子ビーム蒸着装置用の電子ビーム照射装置６であって、カソード２２は、アノード２４側の一面２２ｓの十点平均粗さＲｚが０．１０μｍ以上０．２８μｍ以下の範囲内となるように研磨されている。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って安定して動作するパルス電子ビーム発生装置およびこの装置を用いたパルス電子ビーム成膜装置を得る。
【解決手段】パルス状の電子ビームを発生するためのパルス電子ビーム発生部（８a）と、絶縁材料で構成された中空のチューブであって、パルス電子ビーム発生部（８a）に連結され、発生させた電子ビームをターゲット表面に案内するためのガイドチューブ（８ｂ）とを備えるパルス電子ビーム発生装置（８）において、ガイドチューブ（８ｂ）の側面に、その長手方向と交差する方向に高さを有する絶縁材料のフィン（８ｃ）を、ガイドチューブ側面をほぼ一周するように設ける。 （もっと読む）

【課題】フィラメントと融着することなく、フィラメントを十分に固定することのできるフィラメント固定機構を提供する。
【解決手段】フィラメントの端部４ＡＴを挟んで対向配置された第１および第２の部材２０，３０と、フィラメントの端部４ＡＴと共に第１および第２の部材２０，３０の間に挟まれた押さえ板４０と、第２の部材３０を第１の部材２０に締結するボルト５０とを備える。第１の部材２０は、ボルト５０の締め付け方向と交差する方向に支柱部２１から突き出した腕部２２，２３を有する。第２の部材３０は、平板部３１の両端部に立設する鉤部３２，３３を有する。ボルト５０を締め付け方向に回転させることで、腕部２２，２３と鉤部３２，３３とが当接したのち、押さえ板４０と支柱部２１の接触領域２１Ｓとによってフィラメントの端部４ＡＴが十分強固に把持される。 （もっと読む）

【課題】位相制御素子の故障を検出することのできる電子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】交流電力の導通角を制御する位相制御手段３と、前記位相制御手段により位相制御された交流電力を昇圧整流し直流電圧に変換する昇圧整流回路４，５と、前記直流電圧が加速電圧として供給される電子銃８と、前記加速電圧を検出した検出信号に基づいて加速電圧が一定になるように前記位相制御手段を制御する制御回路１５とを備えた電子ビーム発生装置において、前記加速電圧を検出した検出信号に基づいて加速電圧の脈動分の増加を検出する異常検出回路を設けた。 （もっと読む）

【課題】 単一の電子銃の本体部を用いつつ特定の構成要素のみを交換することにより異なるニーズにそれぞれ対応することが可能な蒸着用電子銃を実現する。
【解決手段】 単一の電子銃の本体部１０を用い、磁性体からなる立設のポールピース１１ａ，１１ｂが固定された、磁気回路を形成する磁性体からなる回路形成部材１５ａ，１５ｂおよび非磁性体からなる上部カバー１３と、磁性体からなる横設のポールピース２１ａ，２１ｂおよび本体部１０内より射出された電子ビームの軌道を微調整する磁性体からなるビーム軌道調整部材２３ａ，２３ｂが固定された、磁気回路を形成する磁性体からなる回路形成部材２２ａ，２２ｂおよび非磁性体からなる上部カバー２４とのいずれも本体部１０の上部に装着可能とする。 （もっと読む）

【課題】ビーム形成器の腐食や溶融による損傷を回避する電子ビーム銃を提供する。
【解決手段】ビーム形成器（１０４）から離れるように熱を導く質量の大きな陰極ブロック（１０３）の一体部品として形成した湾曲形状のビーム形成器と、改善された整合のために陰極ブロックに装着されたフィラメント（１０９）と、を備えた電子ビーム銃。 （もっと読む）

【課題】フィラメントの寿命の長い電子銃および電子ビーム発生装置を提供すること。
【解決手段】電流が流れて加熱することにより電子を放出するフィラメント４０と、フィラメントを収容し電子が通過する開口１６の形成されたカソード１０であって、フィラメントの開口側に配置されフィラメントを覆う覆い１４と、フィラメントから離隔した位置で開口に向けて形成された突部２０とを有するカソード１０と、カソードの開口を通過した電子を加速するアノード３０とを備える電子銃１。上記の電子銃と、電子銃に電圧を供給する電源とを備える電子ビーム発生装置。 （もっと読む）

【課題】２つの熱イオン電子源を用いて耐用年数を向上させ、またこれらの熱イオン電子源を迅速かつ効率的に交換することが可能な、低価格で小型高性能の電子銃を提供する。
【解決手段】電子銃１０は、主熱イオン電子源４４、副熱イオン電子源５８及び集束電極６２を備える第１のハウジング１２と、アノード及び集束コイル８６Ａ、８６Ｂを備える第２のハウジング１４と、偏向コイル１０４Ａ、１０４Ｂを備え、第２のハウジング１４に接続し、かつ第１のハウジング１２の反対側に位置する第３のハウジング１６と、を備えるアセンブリからなる。電子銃１０は、耐用年数を向上させるために２つの熱イオン電子源４４、５８を用いる。電子銃１０の寸法は、この電子銃１０の出力定格を制限することなく２つの熱イオン電子源４４、５８を容易に交換できるように小型になっている。これにより、長寿命、低価格、かつ汎用性の高い電子銃１０が得られる。 （もっと読む）

【課題】 装置の運転中に、生産を中断することなく、ピアス式電子銃から発せられる電子ビームの状態をリアルタイムでモニタし、その結果を電子ビームの状態を適正なものに改善や維持するためにフィードバックすることで、優れた効率性と安定性のもとに、基板の表面に蒸着被膜を形成することができる、電子ビーム蒸着装置、当該装置を用いて行う基板の表面への蒸着被膜の形成方法、ビーム状態のモニタが可能なピアス式電子銃、および、ピアス式電子銃のビーム状態のモニタ方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の電子ビーム蒸着装置は、電子ビームに起因乃至由来する電子を捕捉するためのセンサがビームパスの近傍に設置され、センサによって捕捉された電子に基づく電流および／または電圧を検出することで、ビーム状態をモニタするようにしたピアス式電子銃を備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）